Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX, ГРСИ 81285-21
Номер госреестра:
81285-21
Наименование СИ:
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий
Обозначение типа:
VL2000DX
Производитель:
Фирма Lasertech Corporation, Япония
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
SVD0035CH
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «15» марта 2021 г. №320
Лист № 1
Регистрационный № 81285-21Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX
Назначение средства измерений
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX (далее – микроскоп)
предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и
обеспечения трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на использовании конфокальной диа-
фрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и подавляющей поток
фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная
диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем
меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указан-
ную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация
изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном мик-
роскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих
элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить
серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н.
оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное
изображение образца из этих серий.
В микроскопе применена лазерная конфокальная оптическая система, использу-
ющая фиолетовый лазерный диод и высокочувствительный фотоумножитель.
Конструктивно микроскоп состоит из базового блока, блока освещения, блока
питания, блока электроники MC-1000A, пульта управления и персонального компьютера
с программным обеспечением для управления работой микроскопа. Базовый блок, реали-
зующий конфокальную оптическую систему, включает столик образцов с держателем пла-
стин 150 мм, перемещаемый по осям X, Y, Z ручным приводом или автоматически, и из-
мерительную оптическую головку с набором объективов.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место
нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
Лист № 2
Всего листов 4
Место нанесения знака утверждения типа
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с
помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспече-
ния (ПО) «LM-eye». ПО «LM-eye» позволяет проводить измерения линейных размеров
элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме зна-
чение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину
пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика
объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «LM-eye» не может быть
использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица1
ИдентификационноенаименованиеПОLM-eye
Номерверсии(идентификационныйномер)ПО4.09
ЦифровойидентификаторПО(контрольнаясуммаисполняемого кода) -
Алгоритмвычисленияцифрового идентификатораПО -
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответ-
ствует уровню «средний» по Р.50.2.077-2014.
Значение
от 0,2 до 4500
от 20 до 1280
от 10 до 640
от 3 до 320
от 2 до 128
от 1 до 64
±(0,1+0,005∙L)
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY , мкм
- объектив 5х
- объектив 10х -
объектив 20х -
объектив 50х -
объектив 100х
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линей-
ных размеров по оси Z, мкм (где L – измеряемая длина, мкм)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линей-
ных размеров в плоскости XY, мкм (где L – измеряемая длина, мкм)
±(0,3+0,015∙L)
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа конфокального лазерного сканирующего
VL2000DX
Знак поверки наносится в виде наклейки или оттиска поверительного клейма на
свидетельство о поверке.
Лист № 3
Всего листов 4
Значение
механический
100
100
540х345х1030
450х430х105
150х210х45
255х120х65
215х195х90
от +18 до +22
80
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Привод столика образцов
Максимальная высота образцов, мм
Масса, кг, не более
Габаритные размеры (ДxШхВ) основных составных частей, мм, не
более:
- базовый блок
- блок электроники MC-1000A
- пульт управления
- блок освещения
- блок питания
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
-относительная влажность воздуха, %, не более
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока часто-
той 50 Гц, В
Потребляемая мощность, Вт, не trial
от 100 до 240
600
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель базового блока в виде наклейки и на титульный лист экс-
плуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Обозначение
Количество
Микроскоп конфокальный
лазерный сканирующий
VL2000DX
1 шт.
Руководство по эксплуатации
-
1 экз.
Методика поверки
МП 80/072-1-2020
1 экз.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе: «Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX.
Руководство по эксплуатации», раздел 2
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроско-
пу конфокальному лазерному сканирующему VL2000DX
Техническая документация фирмы-изготовителя, Lasertech Corporation, Япония.
Лист № 4
Всего листов 4
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 45559-10 | Микроскоп измерительный | STM6-LM-F35-2 | Фирма "OLYMPUS Co.", Япония | 1 год | Перейти |
| 44570-10 | Микроскоп инвертированный оптический | OLYMPUS GX71F | Фирма "OLYMPUS Co.", Япония | 2 года | Перейти |
| 33468-06 | Микроскоп электронный просвечивающий с рентгеновским спектрометром | Tecnai G2 30 S-TWIN (микроскоп) EDAX (спектрометр) | Фирма "FEI Company", США | 1 год | Перейти |
| 50909-12 | Микроскоп электронно-ионный растровый | JIB-4500 | Фирма "Jeol", Япония | 1 год | Перейти |
| 44976-10 | Микроскоп электронно-ионный растровый | Quanta 200 3D | Фирма "FEI Company", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений