Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25, ГРСИ 55118-13
Номер госреестра:
55118-13
Наименование СИ:
Микроскоп сканирующий электронный
Обозначение типа:
EVO MA25
Производитель:
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Межповерочный интервал:
6 месяцев
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 1757
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 52589
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25
Назначение средства измерений
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25 предназначен для измерений
линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип работы микроскопа сканирующего электронного EVO MA25 (далее по тексту
– микроскоп) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта.
Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение
которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах
полязрениямикроскопа,отображаетсясоответствующейточкойнаформируемом
изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно
возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в
данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную
плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально
ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронно-
микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются
друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а
также детектор отраженных электронов.
Микроскоп оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона,
которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать
перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа сканирующего электронного EVO MA25.
Лист № 2
Всего листов 4
Идентификационное
наименование ПО
Алгоритм вычисления
цифрового
идентификатора ПО
SmartSEM
5.06
MD5
Рисунок 2 – Места нанесения маркировки на микроскоп.
Программное обеспечение
Микроскоп имеет автономное программное обеспечение, которое используется для
обработки результатов измерений.
Идентификационныеданныеметрологическизначимойчастипрограммного
обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
Номер версии
(идентификацио
нный номер)
ПО
Цифровой
идентификатор ПО
(контрольная сумма
исполняемого кода)
7B1EE57BEE2FF061
4EF5F8822FB71632
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
уровню «С». Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно
защищены с помощью ограничения прав доступа.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2
Наименование характеристики
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм
Диапазон измерений линейных размеров, нм
Значение
характеристики
2,65 - 19531
50
20 - 2·10
6
Лист № 3
Всего листов 5
22 ± 0,2
40 ± 2
30 ± 0,3
±(4+0,05L
*
)
5-1000000
220 ± 5 %
650
980×774×1700
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров, нм
Диапазон регулирования увеличения, крат
Номинальное напряжение сети питания, В
Масса, кг, не более
Габаритные размеры, мм, не более
Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха,
°
С
Относительная влажность воздуха при 25
°
С, %
Избыточное давление воздуха в помещении относительно
атмосферного давления, Па
* - L – длина измеряемого объекта, нм
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю
панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
Таблица 3
Наименование
Микроскоп электронный сканирующий EVO MA25
Компьютер с сетевым источником питания
Дисплей
Клавиатура
Манипулятор «мышь»
Руководство по эксплуатации
Методика поверки МП 77.Д4-13
Количество, шт
1
1
1
1
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу МП 77.Д4-13 «Микроскоп сканирующий электронный EVO
MA25. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 30 августа 2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Наименование метрологических характеристик
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм.
Значение ширины (b
u
) верхнего основания выступа (8
выступ) в шаговой структуре, нм.
Номинальное
значение, нм
2001
597
Погрешность,
нм
±2
±2
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Руководство по эксплуатации
раздел 2.2.4.
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопу сканирующему
электронному EVO MA25
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м
и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Лист № 4
Всего листов 4
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным
требованиям.
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания.
511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ОПТЭК», (ООО «ОПТЭК»)
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федерального Государственного
УнитарногоПредприятия «Всероссийскийнаучно-исследовательскийинститутоптико-
физических измерений»(ГЦИСИФГУП«ВНИИОФИ»),аттестатаккредитации
государственного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств
измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«___» ________ 2013 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 48090-11 | Микроскоп электронный просвечивающий | JEM-100CX | Фирма "JEOL Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 80322-20 | Микроскоп электронный сканирующий | Quattro S ESEM | Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США | 1 год | Перейти |
| 32881-06 | Адгезиметр электронный | VM\\29905 | Фирма "Selmers D.V.", Нидерланды | 1 год | Перейти |
| 25448-03 | Микроскоп измерительный | TM-500 | Фирма "Mitutoyo Corporation", Япония | 1 год | Перейти |
| 38922-08 | Тахеометр электронный эталонный | TCA2003-01Э | Фирма "Leica Geosystems AG", Швейцария | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений