Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
52041-12
Наименование СИ:
Течеискатель гелиевый
Обозначение типа:
HLT-560
Производитель:
Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ MN515404
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 49081
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Течеискатель гелиевый HLT-560
Назначение средства измерений
Течеискатель гелиевый HLT-560 (далее – течеискатель) предназначен для измерения
потоков гелия при контроле герметичности микросхем масс-спектрометрическимметодом.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SmartTest HLT 560» предназначено только для рабо-
ты с течеискателем и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной
платформы течеискателя.
Описание средства измерений
Течеискатель гелиевый HLT-560 представляет собой тестовую камеру из специально об-
работанного алюминиевого сплава, обладающим стойкостью к сорбции атомов гелия в тече-
ние длительного периода. Камера используется с фланцевым фитингом, имеет внутренний
диаметр 150 мм, глубину 75 мм, и съемную крышку с «O»-образным уплотнителем.
Принцип работы течеискателя состоит в масс-спектрографическом детектировании ато-
мов гелия или фторуглерода при создании высокого вакуума в тестовой камере. При наличии
атомов тестового газа в откачиваемой среде делается вывод о негерметичности тестируемого
изделия.
Течеискатель оборудован современными электронными и электрическими компонента-
ми (управляемым микропроцессором). Поэтому все процессы в приборе управляются автома-
тически.
Конструктивно течеискатель выполнен в виде настольного моноблочного прибора. Ор-
ганы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соот-
ветственно. Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1.
***
Рисунок 1 – Общий вид
*) Места для пломбировки от несанкционированного доступа.
**) Места для нанесения наклеек.
(1 - подключение объектов тестирования, 2 - задняя сторона с сетевыми подключениями, ин-
терфейсами, подключениями для дистанционного контроля, зонд течеискателя и вентиляция,
3 - дисплей и контрольный блок, 4 – динамик, 5 - отверстие для притока свежего воздуха, 6 -
отверстие для отвода отработанных газов)
Лист № 2
всего листов 4
Наименование ПО
«SmartTest
HLT 560»
7.50
E628711208C79773A
D6FBCBBAE8
ГОСТ
Р34.11-94
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики те-
чеискателя не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны
в таблице 1.
Таблица 1
Идентифи-
кационное
наименова-
ние ПО
Номер версии
(идентифика-
ционный но-
мер) ПО
Цифровой иденти-
фикатор ПО (кон-
трольная сумма ис-
полняемого кода)
Алгоритм
вычисления
идентифи-
катора ПО
ПО управления течеиска-
телем и обработки резуль-
татов измерений
Метрологически значимая часть ПО течеискателя и измеренные данные достаточно
защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита
ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ
3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики течеискателя приведены в
таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
Наименование характеристики
Режимы работы установки
Значение характеристики
Режим вакуума
Режим анализа
от 5×10
-12
до 1
от 5×10
-10
до 1×10
-2
от 5×10
-8
до 1×10
-2
± 20
от 5×10
-8
до 1
от 5×10
-8
до 1×10
-2
Для режима вакуума
Диапазон измерений утечки газов, м
3
·Па/с:
4
He
3
He
H
2
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
утечки газов, %
Для режима анализа
Диапазон измерений утечки газов, м
3
·Па/с:
4
He
3
He, H
2
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
утечки газов, %
± 15
Таблица 3 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики течеиска-
теля
Наименование характеристики
Габаритные размеры (длина × ширина × высота), мм
Масса, кг
Рабочий диапазон температур окружающей среды, ºС
Относительная влажность воздуха при температуре 20
°
С, %
Атмосферное давление, кПа
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В
Потребляемая мощность, В·А, не более
Значение характеристики
550×460×304
44
от 10 до 35
до 85
от 97 до 105
220 ± 22
400
Лист № 3
всего листов 4
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель течеискателя в виде наклейки и
на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки включает:
- течеискатель гелиевый HLT-560 - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Течеискатель гелиевый HLT-560.
АЕСН.440224.002 ФО. Формуляр; Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 РЭ. Ру-
ководство по эксплуатации) – 1 комплект;
- методика поверки – 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу «Инструкция. Течеискатель гелиевый HLT-560. Методика по-
верки. АЕСН.440224.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»
14.08.2012 г.
Основные средства поверки:
- меры потока (течи гелиевые) Гелит 1, Гелит 2 (значение воспроизводимого потока
при температуре (27 ± 0,5)
0
С, м
3
·Па/с, Гелит 1 (от 7×10
-10
до 2×10
-8
), Гелит 2 (от 3×10
-11
до
7×10
-10
); пределы относительной погрешности воспроизведения потока, Гелит 1 - ± 15 %), Ге-
лит 2 - ± 20 %).
Сведения о методиках (методах) измерений
Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателю
гелиевому HLT-560
1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеи-
скания. Общие требования».
2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-
спектрометрического метода контроля герметичности».
3 Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002 РЭ. Руководство по эксплуата-
ции.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия.
Berliner Strasse 43, 35614 Asslar, Germany
Заявитель
Закрытое акционерное общество «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗАО
«ЗНТЦ»)
Адрес: 124498, г. Москва (г. Зеленоград), проезд 4806, д. 5, стр. 23
Тел/факс: (499)720-69-44/(499)720-69-69 E-mail:
Лист № 4
всего листов 4
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общест-
во «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ
ОАО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail:
Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений
№ 30036-10 от 10.06.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.П.
«____» ________________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 19461-00 | Гелиевый порозиметр | PH 1-22-200A | Фирма "Coretest Systems Inc.", США | 1 год | Перейти |
| 52041-12 | Течеискатель гелиевый | HLT-560 | Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 82139-21 | Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый | ASM 310 | Компания "adixen Vacuum Products by Pfeiffer Vacuum", Франция | 1 год | Перейти |
| 69548-17 | Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый | HLT 570 | Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 19462-00 | Гелиевый порозиметр | PH 1-220 | Фирма "Coretest Systems Inc.", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений