Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС, ГРСИ 82668-21
Номер госреестра:
82668-21
Наименование СИ:
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов
Обозначение типа:
ВИК-УЭС
Производитель:
Общество с ограниченной ответственностью "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС"), г. Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
13.08.2026
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «13» августа 2021 г. № 1790
Лист № 1
Регистрационный № 82668-21Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Измерителиудельногоэлектрическогосопротивленияполупроводниковых
материалов ВИК-УЭС
Назначение средства измерений
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов
ВИК-УЭС (далее – измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электриче-
ского сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным
расположением зондов.
Описание средства измерений
Принцип действия измерителей ВИК-УЭС основан на измерении разности потенциалов,
возникающеймежду двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки (устройства
зондового), установленной на поверхности образца полупроводникового материала, при
пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два
других точечных зонда, расположенных на той же поверхности.
Удельное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью ПО,
исходя из измеренных значений силы тока, напряжения и межзондового расстояния
четырехзондовой головкис учетом поправочных коэффициентов на температуру и
геометрические размеры исследуемого образца (диаметр и толщина). Для расчетов УЭС
образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном
токе.
Конструктивно измерители ВИК-УЭС состоят из:
- электронного блока;
- системного блока ПК с встроенным программным обеспечением (ПО);
- манипулятора с четырехзондовой измерительной головкой (устройства зондового).
Электронный блок измерителей ВИК-УЭСобеспечивает автоматический выбор
величины силы тока в зависимости от номинала измеряемого сопротивления.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых
расстояний 1,3 мм.
Лист № 2
Всего листов 5
Общий вид измерителей ВИК-УЭС представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 – Общий вид измерителей ВИК-УЭС
Пломбирование измерителей ВИК-УЭС не предусмотрено.
Металлический шильдик с указанием заводского номеракрепится к задней стенке
электронного блока.
Знак поверки наносится на заднюю стенку электронного блока.
Программное обеспечение
Измерители ВИК-УЭС оснащаются встроенным программным обеспечением.
ПО измерителей ВИК - УЭС позволяет проводить:
- автоматическую проверку работоспособности и настройку электрической части
измерителей ВИК-УЭС;
- обработку результатов измерений УЭС образцов с учетом поправок на толщину и
диаметр измеряемой пластины, а также на температуру измерения (поправки на температуру
введены в ПО для монокристаллического кремния, при измерении других материалов
результаты измерений УЭС будут относиться к температуре измерения);
- сбор результатов измерений УЭС для накопления статистической информации.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Место нанесения
знака поверки
Лист № 3
Всего листов 5
Идентификационные данные программного обеспечения измерителей ВИК-УЭС приве-
дены в таблице 1.
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПО
ПО измерителя удельного электросопротив-
ления ВИК УЭС
rometr.exe
не ниже 1.122
-
C:\rometr\rodrv.dll
Идентификационное наименование основного
модуля интерфейса ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
Идентификационное наименование модуля полу-
чения и обработки данных
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
не ниже 1.122
-
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик
измерителей ВИК-УЭС.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Значение
Диапазон измерений удельного электрического сопротивления, Ом·см
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УЭС, %
от 0,01 до 85 000
±5
Значение
±1
6
10000
150х300х600
400х500х200
400х200х200
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Пределы допускаемого относительного отклонения расстояний между
линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номи-
нальных значений (1,3 мм), %
Средний срок службы, лет, не менее
Средняя наработка на отказ, ч, не менее
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более:
- электронный блок
- системный блок ПК
- манипулятор
Масса, кг, не более:
- электронный блок
- системный блок ПК
- манипулятор
3
5
5
Лист № 4
Всего листов 5
Значение
220 ±22
50±1
Окончание таблицы 3
Наименование характеристики
Параметры электрического питания:
- напряжение сетевого питания, В
- частота питающей сети, Гц
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха ºС
- относительная влажность воздуха, %, не более
23±5
80
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Паспорта» и «Руководства по эксплуатации» типографским спо-
собом или в виде наклейки.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность
Наименование
Обозначение
Количе-
ство
ВИК-УЭС
-
-
-
ПС26.51.45-001-80774784-2020
Измеритель удельного электрического сопро-
тивления полупроводниковых материалов:
- электронный блок
- системный блок ПК
- манипулятор
Паспорт
Руководство по эксплуатации
Руководство пользователя ПО
Методика поверки
РЭ26.51.45-001-80774784-2020
РЭ.ПО.26.51.45-001-80774784-2020
МП 14-223-2021
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в п.2.3 Руководства по эксплуатации РЭ26.51.45-001-0774784-2020
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к измерителю
ВИК-УЭС
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от
30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств
измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от
29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств
измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ТУ26.51.45-001-80774784-2020 «Измерители удельного электрического сопротивления
полупроводниковых материалов ВИК-УЭС. Технические условия»
Лист № 5
Всего листов 5
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Разработка и изготовление измерительных
систем (ООО «РИИС»)
Юридический адрес Изготовителя: Москва, ул. Крымский вал, д.3, корп.1, оф. 507.
Почтовый адрес Изготовителя: 119049, г. Москва, ул. Крымский вал, д.3, корп.1.
Телефон: +7 (495) 955 01 50
р/сч 40702810810000177624
корр/сч 30101810145250000974
БИК 044525974, ИНН 7706655241, КПП 770601001,
ОГРН 5077746675529, Код ОКПО 80774784
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии – филиал Федерального госу-
дарственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт
метрологии им. Д.И. Менделеева» (УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»)
Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4.
Телефон: (343) 350-26-18, факс: (343) 350-20-39.
E-mail:
Регистрационный номер в реестре аккредитованных лиц № RA.RU.311373 от 19.10.2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 59837-15 | Магазины сопротивления постоянному току электронные | МПС2, МПС2-2 | ООО "VXI-Системы", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 37878-08 | Измерители деформации | ТДМ | ГОУ ВПО "СГУПС", г.Новосибирск | 1 год | Перейти |
| 36974-08 | Измерители мощности СВЧ | М3М-18 | ООО "НПФ "МИКРАН", г.Томск | 1 год | Перейти |
| 10711-86 | Измерители оптоэлектронные | МОЭ-1 | П/я В-2387, г.Москва | 1 год | Перейти |
| 80535-20 | Измерители разности фаз | ПрофКиП Ф2-34, ПрофКиП Ф2-35 | Общество с ограниченной ответственностью "ПрофКиП" (ООО "ПрофКиП"), Московская обл., г. Мытищи | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений