УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «13» августа 2021 г. № 1790
Лист № 1
Регистрационный № 82662-21Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Профилометр оптический WYKO NT9300
Назначение средства измерений
Профилометр оптический WYKO NT9300 (далее – профилометр) предназначен
для измерений линейных размеров элементов рельефа вдоль осей X, Y и Z, параметров
шероховатости поверхности и трехмерной визуализации поверхности твердотельных объ-
ектов с коэффициентом отражения более 1 % оптическим методом.
Описание средства измерений
Принцип действия профилометра основан на интерференции световых пучков,
отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта, регистрации ин-
терференционной картины с помощью ПЗС-камеры и последующего анализа интерферен-
ционной картины для получения количественных данных о параметрах топографии по-
верхности.
Профилометр может работать в трех основных режимах: режим фазово-
сдвигающей интерферометрии (Phase-Shifting Interferometry, PSI), режим вертикальной
сканирующей интерферометрии (Vertical Scanning Interferometry, VSI), режим Intensity.
В режиме PSI используется квазимонохроматический свет и осуществляется сбор
данных об интенсивности в каждой точке изображения. Анализируются несколько интер-
ферограмм (не менее трех), полученных с использованием отражения от референтной оп-
тической поверхности, перемещаемой на дробную часть длины волны
м. Режим PSI используют только для анализа топографии поверхно-
сти с перепадом высот не более 160 нм.
В режиме VSI используется белый свет и определяется положение полосы макси-
мального контраста при перемещении измерительной головки по оси Z. Режим VSI обес-
печивает менее точные измерения, чем PSI, но может использоваться на поверхностях с
перепадом высот, превышающем 160 нм.
Режимы PSI и VSI используются для определения перепада высот и анализа топо-
графии поверхности.
В режиме Intensity не производится перемещение измерительной головки по оси
Z и определение перепада высот. В режиме Intensity используется принцип оптической
микроскопии. Он отличается более высокой скоростью исполнения (в т.ч. при «сшивке»),
используется для определения линейных размеров вдоль осей X, Y.
Профилометр представляет собой напольную автоматизированную многофункци-
ональную измерительную систему и состоит из основного блока и рабочего места опера-
тора. Основной блок включает: турель с комплектом измерительных головок, антивибра-
ционный стол, на котором укреплен блок электроники и системный блок компьютера,
моторизованный стол для перемещения образцов в плоскости XY и панель переключения.
Измерительная головка включает: ПЗС камеру для регистрации интерференционных
изображений, 2 светодиода белого и зеленого излучения, моторизованный стол для пере-
Лист № 2
Всего листов 4
мещения измерительной головки по оси Z. Рабочее место оператора включает рабочий
стол с монитором и клавиатурой.
Для измерений в режиме VSI используется одновременно зеленый и белый свето-
диоды. Для измерений в режиме PSI используется зеленый светодиод с фильтром.
Общий вид профилометра оптического WYKO NT9300 представлен на рисунке 1.
Пломбирование профилометра не предусмотрено. Знак поверки наносится в виде наклей-
ки или оттиска поверительного клейма на свидетельство о поверке.
Рисунок 1
–
Общий вид профилометра оптического WYKO NT9300
Программное обеспечение
Управление профилометром и обработка результатов измерений осуществляется с
помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения
(ПО) «Vision». ПО «Vision» позволяет проводить измерения параметров топографии по-
верхности твердотельных материалов. ПО «Vision» не может быть использовано отдель-
но от профилометра.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица1
ИдентификационноенаименованиеПО
Номерверсии(идентификационныйномер)ПО
ЦифровойидентификаторПО(контрольнаясуммаисполняемого кода)
АлгоритмвычисленияцифровогоидентификатораПО
Vision
4.20ивыше
-
-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Место нанесения знака утверждения типа
Лист № 3
Всего листов 4
Метрологические и технические характеристики
±(1+0,02·L)
Значение
от 2 до 1·10
6
от 2 до 200000
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров вдоль оси Z, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений ли-
нейных размеров вдоль оси Z, нм
(L – линейный размер по оси Z, нм)
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
линейных размеров в плоскости XY, %
±2
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкмот 0,005 до 1
Пределы допускаемой абсолютной погрешностиизмерений
шероховатости по параметру Ra, мкм
±(0,003+0,04·Ra)
от 200 до 240
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон показаний вдоль оси Z, нм
Разрешение вдоль оси Z, нм
Значение
от 0,1 до 3·10
6
0,1
от 0 до 205
от 0 до 55
500
853×794×1609
от +18 до +24
80
Диапазон перемещений моторизованного столика по осям
X, Y, мм
Диапазон перемещений турели с объективами по оси Z, мм
Масса основного блока профилометра, кг, не более
Габаритные размеры основного блока профилометра (ДxШхВ),
мм, не более
Условия эксплуатации:
-температура окружающей среды, ºС
-относительная влажность воздуха, %, не более
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока ча-
стотой 50 Гц, В
Потребляемая электрическая мощность, Вт, не более
Давление в магистрали сжатого воздуха, Па
300
от 2,75·10
5
до 5,5·10
5
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель профилометра в виде наклейки, и на титульный лист экс-
плуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Профилометр оптический
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Обозначение
WYKO NT9300
--
Количество
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе Профилометр оптический WYKO NT9300. Руководство по экс-
плуатации, раздел 2.
Лист № 4
Всего листов 4
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профило-
метру оптическому WYKO NT9300
Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10
-9
до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта
от 29.12.2018 № 2840.
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
параметров шероховатости R
max,
R
z
в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и R
a
в диапазоне от
0,001 до 750 мкм.
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Изготовитель
Фирма Veeco Instruments Inc., США.
Адрес: 2650 East Elvira Road Tucson, Arizona 85756, USA
Тел./факс: (520) 741-1044/(520) 294-1799
E-mail:
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств по-
верхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail:
Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа №RA.RU.311409 от 19.11.2015.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
