Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы электронные просвечи-вающие Talos F200, ГРСИ 81247-21
Номер госреестра:
81247-21
Наименование СИ:
Микроскопы электронные просвечи-вающие
Обозначение типа:
Talos F200
Производитель:
Фирма Thermo Fisher Scientific, США
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
15.03.2026
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «15» марта 2021 г. №318
Лист № 1
Регистрационный № 81247-21Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200
Назначение средства измерений
Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200(далее – микроскопы)
предназначены для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тон-
копленочных образцов, микро- и наночастиц на пленке-подложке, определения парамет-
ров кристаллической решетки и локального элементного состава методом энергодиспер-
сионной спектроскопии.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопов основан на прохождении пучка ускоренных элек-
тронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на кристаллической ре-
шетке или неоднородностях структуры объекта. В плоскости изображения объективной
линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изоб-
ражение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каж-
дая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофунк-
циональную измерительную систему, в состав которой входят:
- модуль получения изображений,
- источник высокого напряжения,
- блок электроники;
- рабочее место оператора на базе специализированного управляющего компьютера;
- форвакуумный насос;
- система замкнутого водяного охлаждения;
Основным компонентом модуля получения изображений является электронно-
оптическая колонна. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и
систему электронных линз: блок конденсорных линз, объективную линзу, блок промежу-
точных линз и проекционную линзу. Электронная пушка включает источник электронов
типа Шоттки. Объективная линза сконструирована для работы в режиме постоянной
мощности для повышения стабильности работы микроскопа. Объективная линза допол-
нена диафрагмой, положением которой можно управлять. Диафрагмы для конденсорных
линз, для объективной линзы, селективная диафрагма для ограничения области исследо-
вания являются моторизованными.
Регистрация изображения в режиме просвечивающей электронной микроскопии
осуществляется с помощью ПЗС-камеры со скоростью работы до 25 кадров в секунду. Для
реализации СПЭМ – режима используются 4-х канальный детектор электронов. Модуль
получения изображений также включает высокочувствительный энергодисперсионный
спектрометр (опционально), запатентованная конструкция которого использует 4 SDD
детектора.
Лист № 2
Всего листов 5
Вакуумная система микроскопа является полностью безмасляной и реализована
на базе форвакуумного, турбомолекулярного и двух магниторазрядных насосов.
Управляющее программное обеспечение позволяет проводить полное удаленное
управление всеми функциями микроскопа, включая смену диафрагм, перемещение образ-
ца, фокусировку, стигмирование, управление вакуумной системой, контроль и визуализа-
ция изображения видеокамеры.
Микроскопы Talos F200 выпускаются в модификациях: Talos F200C G2, Talos
F200S G2, Talos F200X G2, Talos F200i, которые отличаются в основном типом и соответ-
ственно яркостью электронной пушки, а также типом объективной линзы.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место
нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 и 2 для модификаций Talos F200i и
Talos F200C G2, Talos F200S G2, Talos F200X G2 соответcтвенно.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего Talos F200i.
Место нанесения знака поверки
Лист № 3
Всего листов 5
Рисунок 2 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего Talos F200C G2
(Talos F200S G2, Talos F200X G2).
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с
помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения
(ПО) «TEM user interface». ПО «TEM user interface» позволяет проводить измерения ли-
нейных размеров и параметров кристаллической решетки. ПО «TEM user interface» не мо-
жет быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица1- Идентификационные данные программного обеспечения
ИдентификационноенаименованиеПО
Номерверсии(идентификационныйномер)ПО
ЦифровойидентификаторПО(контрольнаясуммаисполняемого кода)
Алгоритмвычисленияцифрового идентификатораПО
TEM user interface
1.15.1
-
-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Место нанесения знака поверки
Лист № 4
Всего листов 5
Метрологические и технические характеристики
±(0,4+0,03·L)
Значение
от 0,0004 до 30
136
*
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений ли-
нейных размеров при ускоряющем напряжении 200 кВ, нм (L–
линейный размер, нм)
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектромет-
ра на линии Kα марганца при скорости счета менее 10
4
имп/с,
эВ, не более
* - опционально
Значение
0,1
от 4300 до 2200000
от 40 до 200
50
S- FEG либо X-FEG
S- FEG
X-FEG
4·10
8
1,8·10
9
X-TWIN
C-TWIN
4096х4096
SDD
4
От Be до Am
3500
2063х1465х2360
872×859×1618
1612×800×1962
от +18 до +22
80
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Пространственное разрешение по линиям в ПЭМ-режиме и
ускоряющем напряжении 200 кВ, нм, не более
Диапазон регулирования увеличения в ПРЭМ режиме, крат
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ
Максимальный ток электронного пучка, нА, не менее
Тип катода:
- Talos F200i
- Talos F200S G2
- Talos F200X G2, Talos F200C G2
Яркость электронной пушки при ускоряющем напряжении 200
кВ, А/см
2
/ср
- катод S-FEG
- катод X-FEG
Тип объективной линзы:
- Talos F200i, Talos F200S G2, Talos F200X G2;
- Talos F200C G2
Размер матрицы ПЗС для регистрации изображений в ПЭМ-
режиме, пикселей
Тип детекторов энергодисперсионного (EDS) спектрометра
Количество детекторов EDS спектрометра
Диапазон определяемых элементов в режиме энергодисперси-
онного спектрометра
Масса, включая все комплектующие, кг, не более
Габаритные размеры основных составных частей (ДxШхВ), мм,
не более:
- модуль получения изображений
- источник высокого напряжения,
- блок электроники
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
-относительная влажность воздуха, %, не более
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока ча-
стотой 50/60 Гц, В
Потребляемая мощность, не более, Вт
от 110 до 240
11500
Лист № 5
Всего листов 5
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель модуль получения изображений в виде наклейки, и на ти-
тульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Обозначение
Количество
Микроскоп электронный про-
свечивающий
1 шт.
Руководство по эксплуатации
Talos F200 (модификации Talos F200C
G2, Talos F200S G2, Talos F200X G2,
Talos F200i)
-
1 экз.
Методика поверки
МП ДИ20/30-2020
1 экз.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе «Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200. Руковод-
ство по эксплуатации», раздел 30.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроско-
пам электронным просвечивающим Talos F200
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 17777-98 | Весы электронные | College-B | Фирма "Mettler-Toledo Inc.", США | 1 год | Перейти |
| 77584-20 | Устройства электронные интеллектуальные | TOPAZ iSAS | ООО "ПиЭлСи Технолоджи", г.Москва | 4 года | Перейти |
| 36835-08 | Счетчики электрической энергии трехфазные электронные | СЭТ-3 | ЗАО "Завод электрооборудования", г.Москва | 16 лет | Перейти |
| 35697-07 | Микроскопы инструментальные | ИМЦЛ 150х75(2),Б | ФГУП "ПО "Новосибирский приборостроительный завод", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
| 23502-02 | Измерители инвазивные портативные электронные автономные центрального венозного давления и других низких давлений в различных полостях организма человека | ИиНД-500/75-\"Тритон | ООО "Тритон-ЭлектроникС", г.Екатеринбург | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений