Untitled document
УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «11» марта 2021 г. №288
Лист № 1
Регистрационный № 81172-21Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Масс-спектрометры МС-200, МС-500
Назначение средства измерений
Масс-спектрометры МС-200, МС-500 (далее – масс-спектрометры) предназначены
для измерения содержания элементного состава многокомпонентных газов в режиме
реального времени.
Описание средства измерений
Масс-спектрометры МС-200, МС-500 относятся к времяпролётным масс-спек-
трометрам типа масс-рефлектрон, принцип действия которых основан на разделении
ионов по массам в зависимости от времени их пролёта в бесполевом пространстве дрей-
фа.
Анализируемый газ, через систему напуска, подается в камеру анализатора, в кото-
рой с помощью турбомолекулярного насоса создается высокий вакуум. В ионизационном
промежутке источника ионов осуществляется ионизация молекул исследуемого газа и
образование положительно заряженных ионов. Ионизация производится пучком электро-
новвыходящим из электронной пушки с энергией до 100 эВ. Под действием электрическо-
го поля, создаваемого импульсом 1200 В от генератора прямоугольных импульсов, про-
исходит выталкивание ионов исследуемого газа в пространство дрейфа.
Источник ионов и детектор работают в импульсном синхронном режиме, осу-
ществляя регистрацию ионов, как в токовом, так и в счётном (с накоплением ионов) ре-
жимах, что позволяет повысить отношение сигнал/шум, и динамический диапазон изме-
рений.
Фокусировка ионных пакетов осуществляется при помощи электростатических по-
лей отражателя ионов. Ионные пакеты преобразуются в импульсы электрического тока
приемником ионов. В качестве приемника ионов используется шевронная сборка микро-
канальных пластин МКП-24. Напряжения и токи, необходимые для работы масс-
анализатора, формируют модуль оптики и модуль генератора, на которые подаются по-
стоянные напряжения от блока электроники.
Полученные с детектора электрические импульсы усиливаются усилителем-
интегратором и поступают на модуль обработки спектра, где происходит их преобразова-
ние в цифровую форму, накопление и первичная обработка. Дальнейшая обработка ин-
формации происходит в компьютере системы управления и отображения данных по за-
данной программе. Процентный состав анализируемого газа отображается на экране мо-
нитора.
Масс-спектрометры МС-200 и МС-500 отличаются метрологическими характери-
стиками, а именно диапазоном измеряемых масс, разрешающей способностью и порого-
вой чувствительностью.
Лист № 2
Всего листов 4
Рисунок 1 – Внешний вид масс-спектрометров
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) предназначено только для работы с масс-
спектрометрамиинеможетбытьиспользованоотдельноотизмерительно-
вычислительной платформы масс-спектрометров.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики
масс-спектрометров не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО ука-
заны в таблице 1.
Значение
«МС»
MC
154
D0528C92
Таблица 1 Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Наименование ПО
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемо-
го кода для версии 154)
Алгоритм вычисления идентификатора ПО
CRC32
12
1 - место для пломбировки от несанкционированного доступа.
2 - место для нанесения знака утверждения типа
Лист № 3
Всего листов 4
Метрологически значимая часть ПО масс-спектрометров «МС» версии 154 и из-
меренные данные защищены с помощью специальных средств защиты от преднамерен-
ных изменений. Уровень защиты ПО масс-спектрометров «МС» версии 154, соответствует
уровню «Средний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики масс-спектрометров приведены в
таблицах 2 и 3. Условия эксплуатации приведены в таблице 4.
150
450
5
5
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
МС-200
от 1 до 500
МС-500
от 1 до 1500
1,33∙10
-8
1,33∙10
-7
Диапазон массовых чисел, а.е.м., не менее
Разрешающая способность на уровне 50% максимальной вы-
соты пика во всем диапазоне масс, t/Δt, не менее
Порог чувствительности по пику Ar, Па, не более
Относительное среднее квадратичное отклонение случайной
составляющей погрешности измерений, %, не более
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Габаритные размеры (длина × ширина × высота), мм, не более
Масса, кг, не более
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В
Потребляемая мощность, В·А, не более
Время установления рабочего режима, ч
Расход анализируемой газовой смеси, мл/мин.
Средняя наработка масс-спектрометров на отказ, ч, не менее
Средний полный срок службы, лет, не менее
Значение
550×400×500
45
220 ± 22
480
1
от 0,1 до 1
2500
5
Таблица 4 – Условия эксплуатации
Наименование характеристики
Рабочий диапазон температур окружающей среды, ºС
Относительная влажность воздуха при температуре +20
С, %
Атмосферное давление, кПа
Значение
от +10 до +35
от 20 до 80
от 84 до 106,7
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель масс-спектрометра в виде наклейки и на титульный лист
руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначение
Масс-спектрометр МС-200, МС-500
Количество
1 шт
Паспорт
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
ИТА 20.00.00.000 ПС1 шт
ИТА 20.00.00.000 РЭ1 шт
ИТА 20.00.00.000 МП 1 шт
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе Масс-спектрометры МС-200, МС-500. Руководство по эксплуата-
ции ИТА 20.00.00.000 РЭ, раздел 3
Лист № 4
Всего листов 4
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-
спектрометрам МС-200, МС-500:
масс-спектрометры МС-200, МС-500. ТУ 7215-050-8774256-2018;
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.