Untitled document
Приложение № 16
к сведениям о типах средств
измерений, прилагаемым
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «31» декабря 2020 г. № 2375
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометры OptoTl 60/125
Назначение средства измерений
Интерферометры OptoTl 60/125 (далее - интерферометры) предназначены для
измерений отклонений от плоскостности и отклонений от сферичности поверхностей
оптических деталей.
Описание средства измерений
Принцип работы интерферометров основан на анализе деформации формы
интерференционных полос возникающих в промежутке между эталонной поверхностью
сравнения и поверхностью контролируемой детали в результате интерференции
отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометры построены по вертикальной схеме интерферометра Физо. В качестве
источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм.
Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром
60 мм. После расширителя в зависимости от измеряемой поверхности устанавливают плоские
или сферическиенасадки, формирующие эталонный волновой фронт.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом
контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом,
чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
В результате один волновой фронт – эталонный – формируется при прохождении
через насадку. Другой – предметный – отражается и искажается поверхностью
контролируемой детали. Он возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным.
При этом образуется интерференционная картина.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины
методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с
последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.
В зависимости от комплектации после расширителя может устанавливаться плоская
в виде телескопической системы для измерений плоских поверхностей насадка или
сферическая в виде объективов для измерений сферических поверхностей насадка.
Плоские насадки используют для измерений отклонений от плоскостностии
изготавливают в виде телескопической системы. Плоские насадки в зависимости от
диапазонов диаметров измеряемых плоских поверхностей изготавливают трех типов:
OptoTl-60, OptoTl-120 и OptoTl-125 (таблица 3).
Сферические насадки используют для измерений отклонений от сферичностии
изготавливают в виде объективов. Сферические насадки в зависимости от диапазонов
диаметров и радиусов измеряемых выпуклых и вогнутых сферических поверхностей
изготавливают четырех типов: OptoTl-60-1:0,67CX, OptoTl-60-1:0,8CX, OptoTl-60-1:1,2CX,
OptoTl-60-1:1,8CX, OptoTL-60-1:0,6CX, OptoTL-60/125-1:0,65CX и OptoTL-60/125-1:0,95CX
(таблица 3).
Пломбирование интерферометров не предусмотрено.
Лист № 2
Всего листов 4
Рисунок 1 – Общий вид интерферометров
Цифровой идентификатор ПО
27574DBBE1E1805
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) FastInterf версии
v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы FastInterf расположены в заранее скомпилированных
бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для
пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать
отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
FastInterf
Номер версии (идентификационный номер) ПОv.1.43.0 и выше
72ADBB724304AE87D
ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения
метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить
неавторизованное использование ПО.
Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с
Р 50.2.077-2014.
от 0,08 до 1,26
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики интерферометров
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений отклонений от
плоскостности, мкм
Диапазон измерений отклонений от
сферичности выпуклых и вогнутыхот 0,08 до 1,26
поверхностей, мкм
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений отклонений от±0,04
плоскостности, мкм
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений отклонений от
сферичности выпуклых и вогнутых
поверхностей, мкм
±0,06
Лист № 3
Всего листов 4
Наименование характеристики
OptoTl-
125
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
Модификация
OptoTl OptoTl
-60 -120
OptoTl-
60-
1:0,67CX
OptoTl-
60-
1:0,8CX
OptoTl-
60-
1:1,2CX
OptoTl-
60-
1:1,8CX
OptoTL
-60-
1:0,6CX
OptoTL-
60/125-
1:0,65CX
OptoTL-
60/125-
1:0,95CX
от 5от 5
до 60 до 120
от 5
до 125
--
--
от 38
до 69
от 350
до 3
от 70
до 109
от 350
до 3
--
--
от 5
до 21
от 350
до 3
от 5
до 21
от 3
до 350
от 38
до 200
от 350
до 3
от 38
до 200
от 3
до 350
от 5
до 33
от 3
до 20
от 3
до 490
от 3
до 300
от 5
до 64
от 3
до 43
от 3
до 335
от 3
до 220
от 5
до 93
от 13
до 89
от 3
до 155
от 5
до 150
Диапазон диаметров измеряемых плоских
поверхностей, мм
Диапазон диаметров измеряемых выпуклых
сферических поверхностей, мм
Диапазон радиусов измеряемых выпуклых
сферических поверхностей, мм
Диапазон диаметров измеряемых вогнутых
сферических поверхностей, мм
Диапазон радиусов измеряемых вогнутых
сферических поверхностей, мм
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012
3А
633
4
30
Длина волны лазера, нм, не более
Мощность, мВт, не более
Допустимое значение частоты возмущающих
гармонических вибраций, Гц, не более
Параметры электропитания
Напряжение переменного тока, В
Частота, Гц
Масса, кг, не более
от 200 до 240
от 49 до 51
200
Габаритные размеры, мм, не более
- длина790
- ширина590
- высота 1020
Условия эксплуатации
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность, %
от +20 до +24
от 50 до 80
Лист № 4
Всего листов 4
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Обозначение
OptoTl 60/125
Наименование
Интерферометр
Насадка
Компьютер с ПО
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
МП № 203-42-2020
Количество
1 шт.
от 1 до 6 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП № 203-42-2020 «ГСИ. Интерферометры
OptoTl 60/125. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 18 августа 2020 г.
Основные средства поверки:
- меры отклонений от плоскостности, рег. №
- мера сферическая CaliBall, рег. № 77937-20.
Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне,
но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с
требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
интерферометрам OptoTl 60/125
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений
от плоскостности оптических поверхностей, утвержденная приказом Росстандарта № 2819
от 25 ноября 2019 г.
ЕТВС.58901205.01ТУ «Интерферометры OptoTL 60/125. Технические условия».
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Опто-Технологическая Лаборатория»
(ООО «Опто-ТЛ»)
ИНН 7804578429
Адрес: 194044, г.Санкт-Петербург, Менделеевская ул., д 9, литер В, пом. 4 Н, оф 541
Тел./факс: +7 (812) 347-76-90, +7 (812) 347-76-90
Адрес электронной почты: sales@optotl.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел./факс: +7 (495) 437-55-77, +7 (495) 437-56-66
Адрес электронной почты:
Адрес в Интернет: www.vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 29.03.2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.