Приложение № 10
к сведениям о типах средств
измерений, прилагаемым
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «31» декабря 2020 г. № 2375
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный SPECS
Назначение средства измерений
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный SPECS (далее – спектрометр) предназначен
для измерений химического состава сверхтонких поверхностных слоев материалов в соответствии
с аттестованными (стандартизованными) методиками (методами) измерений (при использовании в
сфере Государственного регулирования обеспечения единства измерений).
Описание средства измерений
Принципдействияспектрометра
рентгеновского излучения. При облучении
основан
вещества
на фотоэффекте с использованием
происходит поглощение рентгеновского
кванта, сопровождающееся эмиссией фотоэлектрона с внутренних или внешних оболочек атома.
Значения энергии связи электронов внутренних оболочек специфичны для атома каждого
химического элемента, что позволяет качественно определить состав пробы. Содержание
химического элемента пропорционально величине потока фотоэлектронов.
Конструктивно спектрометр состоит из двух блоков: аналитического устройства и стойки
управления. Аналитическое устройство включает: сверхвысоковакуумную аналитическую камеру,
источник рентгеновского излучения (рентгеновская трубка), а также электронно-оптическую
систему, состоящую из энергоанализатора и блока детектирования (9-ти канальный электронный
умножитель).
Общий вид спектрометра и обозначение места нанесения знака поверки представлены на
рисунке 1.
Лист № 2
Всего листов 5
Пломбирование спектрометра не предусмотрено.
Программное обеспечение
Спектрометры оснащены внешним программным обеспечением (ПО). ПО является
метрологически значимым и выполняет следующие функции:
-
управление спектрометром;
-
определение и хранение градуировочных (калибровочных) коэффициентов;
-
вычисление, хранение, передача результатов измерений;
-
редактирование параметров спектрометра.
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует
уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014. Влияние ПО на метрологические характеристики учтено
при их нормировании.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор
Значение
SpecsLab2
не ниже 2.72
-
Рисунок 1 – Общий вид спектрометра рентгеновского фотоэлектронного SPECS и обозначение
места нанесения знака поверки
Место нанесения
знака поверки
Лист № 3
Всего листов 5
Метрологические и технические характеристики
±0,1
3
1,34
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Значение
от Li до Bi
от 5 до 1200
Диапазон регистрируемых элементов
Диапазон измерений энергий связи, эВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
энергий связи, эВ
Предел допускаемого относительного среднего
квадратического отклонения выходного сигнала, %
Разрешение энергии связи (полная ширина на половине
высоты на линии Cu2p
3/2
)
*
,эВ, не более
Чувствительность, (имп/с)/(%), не менее:
-
Fe (Fe2p
3/2
) 4230
-
Cu (Cu2p
3/2
) 2000
____________
* - при линзовой моде Large Area, постоянной энергии пропускания энергоанализатора Phoibos
150 - 15 эВ, мощности рентгеновского источника (Mg) 220 Вт.
220±22
50/60
2069
2032
1957
1500
10
-7
Значение
10
5
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Скорость счета на максимуме линии Cu2p
3/2
*
, имп/с
Параметры электрического питания:
-
напряжение переменного тока, В
-
частота переменного тока, Гц
2000
600
800
Габаритные размеры, мм, не более
аналитическое устройство:
-
высота
-
ширина
-
длина
стойка управления:
-
высота
-
ширина
-
длина
Масса, кг, не более
от +15 до +30
80
Условия эксплуатации:
-
температура окружающей среды, °С
-
относительная влажность, %, не более
Остаточное давление в сверхвысоковакуумной
аналитической камере спектрометра, Па
____________
* - при линзовой моде Large Area, постоянной энергии пропускания энергоанализатора Phoibos
(150 – 15) эВ, мощности рентгеновского источника (Mg) 220 Вт.
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации методом компьютерной графики.
Лист № 4
Всего листов 5
Комплектность средства измерений
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный
Программное обеспечение
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Обозначение
SPECS
SpecsLab2
-
МП 79-251-2020
Количество
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Спектрометр рентгеновский
УНИИМ – филиалом ФГУП
интервал
значений
Поверка
осуществляетсяподокументуМП79-251-2020«ГСИ.
фотоэлектронный SPECS. Методика поверки», утвержденному
«ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» 12.10.2020 г.
Основные средства поверки:
- стандартный образец состава меди высокой
допускаемых аттестованных значений (99,950-100,000)
чистоты ГСО 10800-2016,
%, границы допускаемых
абсолютной погрешности аттестованного значения ±0,030 % при Р=0,95;
- стандартный образец состава железа высокой чистоты ГСО 10816-2016,
допускаемых аттестованных значений (99,950-100,000) %, границы допускаемых
интервал
значений
абсолютной погрешности аттестованного значения ±0,030 % при Р=0,95.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик спектрометра с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на боковую стенку спектрометра.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационной документации
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к спектрометру
рентгеновскому фотоэлектронному SPECS
Отсутствуют.
Изготовитель
«SPECS GmbH – Surface Analysis and Computer Technology», Германия
Адрес: Voltastrasse 5, 13355 Berlin, Germany.
Тел: +49 30 46 78 24 0, факс: +49 30 46 42 08 3.
Web-сайт: https://www.specs-group.com
E-mail:
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Удмуртский федеральный
исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук» (УдмФИЦ УрО РАН)
ИНН 1831014540
Адрес: 426067, г. Ижевск, ул. Т. Барамзиной, 34
Тел: 8 (3412) 50 82 00, 8 (3412) 50 88 10
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 5
Всего листов 5
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии – филиал Федерального
государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт
метрологии им. Д.И.Менделеева»
Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, 4
Телефон: +7 (343) 350-26-18; факс: (343) 350-20-39
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации УНИИМ – филиала ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по
проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от
19.10.2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
