Untitled document
Приложение № 18
к сведениям о типах средств
измерений, прилагаемым
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «31» декабря 2020 г. № 2350
Лист № 1
Всего листов 13
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Вакуумметры серии IKR
Назначение средства измерений
Вакуумметры серии IKR (далее по тексту – вакуумметры) предназначены для
измерений абсолютного давления негорючих газов.
Описание средства измерений
Принцип действия основан на зависимости тока самостоятельного газового разряда,
возникающего в результате ионизации молекул газа в скрещенных магнитном и
электрическом полях от давления.
Ионизация молекул газа происходит в результате столкновений электронов,
вылетающих из катода в результате автоэлектронной эмиссии и движущихся по спиральной
траектории в скрещенных электрическом и магнитном поле, с молекулами газа.
Положительные ионы газа, образовавшиеся в результате столкновений с электронами,
движутся к катоду, в результате чего возникает ионный ток. Количество ионизированных
молекул газа, а, следовательно, и возникающий ионный ток, пропорциональны давлению.
Конструктивно вакуумметр состоит из магнитного электроразрядного датчика
(далее – датчик), соединенного электрическим кабелем с контроллером.
Вакуумметры выпускаются в следующих модификациях: IKR 251 PT R25 500,
IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751,
IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 251, IKR 270 PT R21 261, IKR 360 PT T00 140 01х
(х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 360 PT T00 150 01х
(х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 360 PT T00 350 01х
(х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 140 01х
(х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 150 01х
(х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 350 01х
(х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии).
Модификации отличаются диапазоном измерений, погрешностью, внешним видом,
видом присоединительного фланца, габаритными размерами, массой, комплектностью и
характеристикамипитания.Вперечисленныхвышевакуумметрахприменяются
контроллеры TPG 361, TPG 362, TPG 366, DCU, используемые для выбора единицы
измерений давления, приема, обработки и отображения измерительной информации,
формированиявыходныхсигналов,передачи данных,включения/выключенияреле
блокировок с целью выключения прибора при превышении допустимого давления,
автоматической диагностики состояния прибора, вывода на экран контроллера сообщений об
ошибках.
В качестве единицы измерений давления используется Па. При необходимости в
качестве единиц измерений могут быть использованы: мбар, мм рт.ст., гПа, Торр
(1 Торр = 1,3
102 Па).
Пломбирование вакуумметров не предусмотрено.
Лист № 2
Всего листов 13
Общий вид датчика вакуумметров IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501,
IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 270 PT R21 251
представлен на рисунке 1.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261
представлен на рисунке 2.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 360 PT T00 140 010, IKR 360 PT T00 140 011,
IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011, IKR 360 PT T00 350 010,
140 010, IKR 361 PT
150 011, IKR 361 PT
T01 140 011,
T01 350 010,
IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01
IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01
IKR 361 PT T01 350 011 представлен на рисунке 3.
Общий вид одноканального контроллера TPG 361 представлен на рисунке 4.
Общий вид двухканального контроллера TPG 362 представлен на рисунке 5.
Общий вид шестиканального контроллера TPG 366 представлен на рисунке 6.
Общий вид контроллера DCU с возможностью управления турбомолекулярным
насосом представлен на рисунке 7.
Рисунок 1 – Общий вид датчика
вакуумметров IKR 251 PT R25 500,
IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502,
IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751,
IKR 270 PT R21 251
Рисунок 2 – Общий вид датчика
вакуумметров IKR 261 PT R25 761,
IKR 270 PT R21 261
Лист № 3
Всего листов 13
Рисунок 3 – Общий вид датчика вакуумметров IKR 360 PT T00 140 010,
IKR 360 PT T00 140 011, IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011,
IKR 360 PT T00 350 010, IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01 140 010,
IKR 361 PT T01 140 011, IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01 150 011,
IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011
Рисунок 4 – Общий вид контроллера TPG 361
Рисунок 5 – Общий вид контроллера TPG 362
Рисунок 6 – Общий вид контроллера TPG 366
Рисунок 7 – Общий вид контроллера DCU
Лист № 4
Всего листов 13
Программное обеспечение
Входящие в состав вакуумметров контроллеры имеют встроенное программное
обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления
работой вакуумметров. ПО выполняет следующие функции:
- выбор единицы измерений давления;
- прием, обработка и отображение измерительной информации;
- формирование выходных сигналов;
- передача данных;
- включение/выключение реле блокировок для выключения вакуумметров при
превышении допустимого давления;
- автоматическая диагностика состояния вакуумметров, вывод на экран контроллера
сообщений об ошибках.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна: для контроллеров TPG 361, TPG 362 – нажатием
кнопки «Параметры» на панели контроллера, далее – «TEST» – вкладка «SOFTWARE»; для
контроллеров TPG 366 – однократным нажатием кнопки «Параметры» на панели
контроллера при включении контроллера либо удерживанием кнопки «Параметры» в
процессе эксплуатации контроллера, далее – «TEST» – вкладка «SOFTWARE VERSION»;
для контроллеров DCU – выводом на экран рабочих параметров при включении контроллера.
ПОвакуумметровучтенопринормированииметрологических
Влияние
характеристик.
Уровень
защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений
вакуумметров – «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационное наименование ПО
TPG 361;
TPG 362
Номер версии (идентификационный номер)
ПО, не ниже
V010100
Цифровой идентификатор ПО
–
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные(признаки)Значение
TPG 366DCU
V010100010100
––
Лист № 5
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 2·10
-7
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 – Метрологические характеристики вакуумметров
IKR 251
PT R25 500
Значение
IKR 251
PT R25 501
IKR 251
PT R25 502
от 1·10
-5
до 1·10
-1
от 1·10
-5
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
Пределы допускаемой
относительной
погрешности±50
измерений абсолютного
давления, %
Наименование
характеристики
71,5×111
от +10 до +30
80
Присоединительный
фланец
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
15000
Таблица 3 – Основные технические характеристики вакуумметров
IKR 251
PT R25 500
Значение
IKR 251
PT R25 501
IKR 251
PT R25 502
от 16,0 до 30,0
1,0
Параметры
электрического питания:
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм,
не более
(диаметр×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная
влажность воздуха (без
конденсации), %, не более
- атмосферное
давление, кПа
от 84 до 106,7
Средняянаработкана
отказ, ч
Средний срок службы, лет5
Лист № 6
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 2·10
-7
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
Таблица 4 – Метрологические характеристики вакуумметров
IKR 261
PT R25 750
Значение
IKR 261
PT R25 751
IKR 261
PT R25 761
от 1·10
-5
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
Пределы допускаемой
относительной
погрешности±50
измерений абсолютного
давления, %
Наименование
характеристики
71,5×111
71,5×111
71,5×216,5
от +10 до +30
80
Присоединительный
фланец
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
Средняянаработкана
отказ, ч
15000
Таблица 5 – Основные технические характеристики вакуумметров
IKR 261
PT R25 750
Значение
IKR 261
PT R25 751
IKR 261
PT R25 761
от 15,0 до 30,0
1,2
Параметры
электрического питания:
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм,
не более
(диаметр×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная
влажность воздуха (без
конденсации), %, не более
- атмосферное
давление, кПа
от 84 до 106,7
Средний срок службы, лет5
Лист № 7
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 5·10
-9
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
от 1·10
-7
до 1·10
-1
Пределы допускаемой
относительной погрешности
измерений абсолютного
давления, %
±50
Таблица 6 – Метрологические характеристики вакуумметров
Значение
IKR 270
PT R21 251
IKR 270
PT R21 261
Наименование
характеристики
71,5×111
71,5×216,5
от +10 до +30
80
15000
Таблица 7 – Основные технические характеристики вакуумметров
Значение
IKR 270
PT R21 251
IKR 270
PT R21 261
от 14,5 до 30,0
1,2
от 84 до 106,7
Параметры электрического
питания:
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм, не
более
(диаметр×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная влажность
воздуха (без конденсации),
%, не более
- атмосферное
давление, кПа
Присоединительный фланец
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
Средняянаработкана
отказ, ч
Средний срок службы, лет5
Лист № 8
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 1·10
-7
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
от 1·10
-5
до 1·10
-1
Пределы допускаемой
относительной погрешности
измерений абсолютного
давления, %
±50
Таблица 8 – Метрологические характеристики вакуумметров
IKR 360
PT T00 140 010
Значение
IKR 360
PT T00 140 011
IKR 360
PT T00 150 010
Наименование
характеристики
102×47×47
от +10 до +30
80
Средняя наработка на отказ,
ч
15000
Средний срок службы, лет
5
Таблица 9 – Основные технические характеристики вакуумметров
IKR 360
PT T00 140 010
Значение
IKR 360
PT T00 140 011
IKR 360
PT T00 150 010
Параметрыэлектрического
от 14,5 до 30,0
0,6
питания:
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм, не
более
(высота×ширина×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная влажность
воздуха (без конденсации),
%, не более
- атмосферное
давление, кПа
от 84 до 106,7
Присоединительный фланецDN 25 ISO-KFDN 25 ISO-KFDN 40 ISO-KF
Лист № 9
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 1·10
-7
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
Пределы допускаемой
относительной погрешности
измерений абсолютного
давления, %
±50
Таблица 10 – Метрологические характеристики вакуумметров
IKR 360
PT T00 150 011
Значение
IKR 360
PT T00 350 010
IKR 360
PT T00 350 011
от 1·10
-5
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
Наименование
характеристики
102×47×47
от +10 до +30
80
Средняя наработка на отказ,
ч
15000
Средний срок службы, лет
5
Таблица 11 – Основные технические характеристики вакуумметров
IKR 360
PT T00 150 011
Значение
IKR 360
PT T00 350 010
IKR 360
PT T00 350 011
Параметрыэлектрического
питания:
от 14,5 до 30,0
0,6
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм, не
более
(высота×ширина×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная влажность
воздуха (без конденсации),
%, не более
- атмосферное
давление, кПа
от 84 до 106,7
Присоединительный фланецDN 40 ISO-KFDN 40 CF-FDN 40 CF-F
Лист № 10
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 1·10
-7
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
от 1·10
-5
до 1·10
-1
Пределы допускаемой
относительной погрешности
измерений абсолютного
давления, %
±50
Таблица 12 – Метрологические характеристики вакуумметров
IKR 361
PT T01 140 010
Значение
IKR 361
PT T01 140 011
IKR 361
PT T01 150 010
Наименование
характеристики
102×47×47
от +10 до +30
80
Средняя наработка на отказ,
ч
15000
Средний срок службы, лет
5
Таблица 13 – Основные технические характеристики вакуумметров
IKR 361
PT T01 140 010
Значение
IKR 361
PT T01 140 011
IKR 361
PT T01 150 010
Параметрыэлектрического
питания:
от 14,5 до 30,0
0,6
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм, не
более
(высота×ширина×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная влажность
воздуха (без конденсации),
%, не более
- атмосферное
давление, кПа
от 84 до 106,7
Присоединительный фланецDN 25 ISO-KFDN 25 ISO-KFDN 40 ISO-KF
Лист № 11
Всего листов 13
Наименование
характеристики
Диапазон показаний
абсолютного давления, Па
от 1·10
-7
до 5·10
-1
Диапазон измерений
абсолютного давления, Па
Пределы допускаемой
относительной погрешности
измерений абсолютного
давления, %
±50
Таблица 14 – Метрологические характеристики вакуумметров
IKR 361
PT T01 150 011
Значение
IKR 361
PT T01 350 010
IKR 361
PT T01 350 011
от 1·10
-5
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
от 1·10
-6
до 1·10
-1
Наименование
характеристики
102×47×47
от +10 до +30
80
Присоединительный фланец
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
Средняя наработка на отказ,
ч
15000
Средний срок службы, лет
5
Таблица 15 – Основные технические характеристики вакуумметров
IKR 361
PT T01 150 011
Значение
IKR 361
PT T01 350 010
IKR 361
PT T01 350 011
от 14,5 до 30,0
0,6
Параметрыэлектрического
питания:
- напряжение постоянного
тока, В
Габаритные размеры, мм, не
более
(высота×ширина×длина)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих
температур окружающего
воздуха, °С
- относительная влажность
воздуха (без конденсации),
%, не более
- атмосферное
давление, кПа
от 84 до 106,7
Лист № 12
Всего листов 13
Параметры
электрического питания:
- напряжение
переменного тока, В
- частота переменного
тока, Гц
от 100 до 240
от 115 до 230
450
128,5×70,8×227
128,5×213×161,5
128,5×106,7×245,0
Таблица 16 – Основные технические характеристики контроллеров
Наименование
характеристики
Количество каналов
TPG 361 TPG 362
1 2
Значение
TPG 366DCU
6 1
от 50 до 60
от 50 до 60
Потребляемая мощность,
В·А, не более
4565200
Габаритные размеры, мм,
не более
(высота×ширина×длина)
Масса, кг, не более
1,1
2,2
2,3
Знак утверждения типа
наносится на корпус датчика вакуумметра фотохимическим или иным способом, на
титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Вакуумметр в составе датчика и
контроллера
Кабель соединительный
Руководство по эксплуатации
Руководство по эксплуатации на
контроллер
Комплектность средства измерений
Таблица 17 – Комплектность вакуумметров
НаименованиеОбозначениеКоличество
в соответствии с заказом1 шт.
в соответствии с заказом1 шт.
в соответствии с заказом1 экз.
в соответствии с заказом1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика
поверки».
Основные средства поверки:
Рабочие эталоны давления 2-го разряда в диапазоне от 1
10
-8
до 1 Па, погрешность
не более ±15 % в соответствии с ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный
эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления
в диапазоне 1·10
-8
÷1·10
3
Па»
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и/или руководство по
эксплуатации.
Лист № 13
Всего листов 13
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумметрам
серии IKR
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная
поверочнаясхемадлясредствизмеренийабсолютногодавленияв
диапазоне 1
10
-8
-1
10
3
Па
МИ140-89 Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки
Техническая документация фирмы Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия
Изготовитель
Фирма Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия
Адрес: Berliner Strasse 43, 35614, Asslar, Germany
Телефон: +49 6441 802-0, факс: +49 6441 802-1202
Web-сайт: www.pfeiffer-vacuum.com
E-mail: info@pfeiffer-vacuum.de
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «БЛМ Синержи»
(ООО «БЛМ Синержи»)
ИНН 7718609666
Адрес: 107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, дом 24, строение 3, комната В 303
Телефон: +7 (495) 781-39-39, факс: +7 (495) 781-35-91
Web-сайт: www.blms.ru
E-mail: sales@blms.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологии им. Д.И.Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д. 19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт:
E-mail:
Уникальныйномерзаписиобаккредитациивреестреаккредитованных
лиц RA.RU.311541
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.