Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Измеритель толщины германиевых пластин МХ 203-4-21 special, ГРСИ 79940-20
Номер госреестра:
79940-20
Наименование СИ:
Измеритель толщины германиевых пластин
Обозначение типа:
МХ 203-4-21 special
Производитель:
E+H Metrology GmbH, Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
3637
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение № 4
к сведениям о типах средств
измерений, прилагаемым
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «2» декабря 2020 г. № 1961
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Измеритель толщины германиевых пластин МХ 203-4-21 special
Назначение средства измерений
Измеритель толщины германиевых пластин МХ 203-4-21 special (далее по тексту –
измеритель) предназначен для измерений толщины и контроля прогиба, коробления и
разнотолщинности круглых германиевых пластин.
Описание средства измерений
Принцип работы измерителя основан на принципе действия емкостных датчиков.
Измерительная часть состоит из 2 х зондов, расположенных параллельно напротив
друг друга. В каждом зонде находится 21 емкостной датчик расстояния.
Измеритель предназначен для круглых германиевых пластин диаметром 50мм, 75мм
и 100мм). В измеритель загружается германиевая пластина, происходит измерение
расстояния от верхнего зонда до лицевой стороны пластины и расстояния от нижнего зонда
до обратной стороны пластины. Толщина вычисляется как разница суммы измеренных
расстояний из известной дистанции между парами датчиков зонда.
Внешний вид измерителя представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 – Внешний вид измерителя
Пломбирование измерителя не предусмотрено.
Программное обеспечение
Измеритель имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью
которого осуществляется сбор данных.
Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1.
2
Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Значение
MX-NT
2.763 и выше
При работе с измерителем пользователь не имеет возможности влиять на процесс
расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные.
Защита программного обеспечения измерителя соответствует уровню «низкий» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 150 до 550
±(0,5+0,005·L),
где L, мкм
0,3
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений толщины, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерений толщины, мкм
Воспроизводимость, мкм
Диапазон показаний прогиба и коробления, мкм
– для пластин диаметром 50 мм
– для пластин диаметром 75 мм
– для пластин диаметром 100 мм
от -20 до +20
от -40 до +40
от -80 до +80
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диаметр контролируемых пластин, мм
Значение
50
75
100
от 100 до 240
50/60
360
360
190
Параметры электрического питания:
– напряжение, В
– частота, Гц
Габаритные размеры, мм, не более:
– длина
– ширина
– высота
Условия эксплуатации:
– температура окружающей среды ºС
от +15 до +25
Знак утверждения типа
наносится на титульные листы руководства по эксплуатации и типографским способом.
Комплектность средства измерений
Измеритель толщины германиевых пластин
1 шт.
Таблица 4 – Комплектность
Наименование
Количество
Ноутбук
Рамка центрирующая
Калибровочная пластина
Руководство по эксплуатации
Паспорт
Методика поверки
Обозначение
МХ 203-4-21 special
зав. № 3637
-----
МП 203-58-2019
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
3
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 203-58-2019 «ГСИ. Измеритель толщины
германиевыхпластинМХ203-4-21special.Методикаповерки»,утвержденным
ФГУП «ВНИИМС» 01 октября 2019 г.
Основное средство поверки:
Наборы мер толщины ГЕРМАНИЙ (Рег. № 78232-20)
Допускаетсяприменениеаналогичныхсредствповерки,обеспечивающих
определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой
точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к измерителю
толщины германиевых пластин МХ 203-4-21 special
Техническая документация завода изготовителя
Изготовитель
E+H Metrology GmbH, Германия
Адрес: Benzstrasse 5-9, D-76185 Karlsruhe, Germany
Телефон/факс: +49-(0)721-83118-0/ +49-(0)721-83118-40
Web-сайт: www.eh-metrology.com
E-mail: info@eh-metrology.com
Заявитель
Акционерное общество «ГЕРМАНИЙ» (АО «ГЕРМАНИЙ»)
ИНН 2462214466
Адрес: 660027, г. Красноярск, проезд Транспортный, д. 1, стр. 107
Телефон/факс: +7 (3912) 23-75-10
Web-сайт:
E-mail:
om
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский
научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП
«ВНИИМС»)
ИНН 7736042404
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
Web-сайт: www.vniims.ru
E-mail: office@vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 29.03.2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 40370-09 | Измеритель поверхностной плотности покрытия | RM 310EC-LE | Фирма "Thermo Electron (Erlangen) GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 16466-97 | Генераторы сигналов произвольной формы | Г6-42 | ОАО "Завод "Измеритель", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 22713-07 | Виброметры | ВВМ-311 | ООО "Измеритель", г.Таганрог | 1 год | Перейти |
| 36887-08 | Комплекты эталонов толщины | F2500 | Фирма "Mesacon Messelektronik GmbH", Германия | 3 года | Перейти |
| 1186-58 | Измерители толщины покрытий | ЭМКП-4 | НИИ-13, г.С.-Петербург | Нет данных | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений