Приложение № 17
к сведениям о типах средств
измерений, прилагаемым
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «20» ноября 2020 г. № 1860
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометры лазерные ФТИ
Назначение средства измерений
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений
отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание средства измерений
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе
в промежутке между
сравнения в результате
деформацииформыинтерференционныхполосвозникающих
поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью
интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока,
блока байонетного крепленияэталонной пластины икомпьютерас программным
обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально
интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны
632 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский
волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в
байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт – опорный - отражается от
поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой – рабочий
волновой фронт - проходит эталон и искажается контролируемой деталью. Он также
возвращаетсявинтерферометриинтерферируетсопорным.Анализполучаемой
интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой
оптической поверхности.
Интерферометры изготовлены одной модификации: ФТИ-100 (таблица 2).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа не
предусмотрено.
2
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное
обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от
эталонной плоскости спектральным методом (SM) и методом фазового сдвига (PS).
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных
файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и
не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Значение
DiOpto
v.3.13 и выше
Цифровой идентификатор ПО
-
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или
изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
от 0,03 до 2,00
±0,025
ФТИ-100
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
Модификация
Диапазон измерений отклонений от
плоскостности, мкм
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений отклонений от
плоскостности, мкм
Повторяемость измерений, не более, мкм
0,008
Рисунок 1 – Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ-100
3
ФТИ-100
100
3А
633
4
30
от 200 до 240
от 49 до 51
18
270
205
500
Таблица 3 – Технические характеристики интерферометров
Модификация
Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012
Длина волны лазера, не более, нм
- He-Ne лазер
Мощность, не более, мВт
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических
вибраций, не более, Гц
Параметры электропитания
Напряжение переменного тока, В
Частота, Гц
Масса, не более, кг
Габаритные размеры, не более, мм
- длина
- ширина
- высота
Условия эксплуатации
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность, %
От +18 до +22
От 50 до 90
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Обозначение
ФТИ-100
Наименование
Интерферометр лазерный
Компьютер с ПО
Паспорт
Методика поверки
МП № 203-7-2019
Количество
5 шт.
1 шт.
5 шт.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП № 203-7-2019 «ГСИ. Интерферометры лазерные ФТИ.
Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019 г.
Основное средство поверки:
- мера отклонений от плоскостности
120 мм, рег. №
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы, устанавливающие требования к интерферометрам лазерным
ФТИ
ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм
4
Изготовитель
Закрытое Акционерное общество «Дифракция» (ЗАО «Дифракция»)
ИНН 5408270404
Адрес: 630128, Новосибирск, ул. Кутателадзе, д. 4Г, оф.218
Тел./факс: +7 (383)-332-50-60
E-mail: www.diffraction.ru, web-сайт:
om
Заявитель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт оптико-электронного
приборостроения» (АО «НИИ ОЭП»)
ИНН 4725481940
Адрес: 188540, Ленинградская обл., г. Сосновый Бор, ул. Ленинградская, д.29, литер Т
Тел./факс: 8(81369) 22778/ 8(81369) 45373
E-mail:
web-сайт:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологической службы»
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail:
web-сайт: www.vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 29.03.2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
