Untitled document
Приложение № 18
к сведениям о типах средств
измерений, прилагаемым
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «20» ноября 2020 г. № 1866
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3
Назначение средства измерений
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту –
установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления
негорючих и неагрессивных газов с целью поверки и калибровки средств измерений низких
абсолютных давлений и вакуума.
Описание средства измерений
Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными
вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого
форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование
давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.
Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой,
на которойустановлены два эталонных вакуумметра– ионизационныйAIGX и
деформационно-термопарный ВДТО-3.
Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На
передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели
электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для
управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого
вакуумметром AIGX. К измерительной камере, кроме эталонных вакуумметров, подключен
вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной
линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в
измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств
измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи
подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка
(калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с
показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1
10
-5
до 1
10
-2
Па
с вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1
10
-2
до 1
10
3
Па с вакуумметром ВДТО-3.
Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.
Общий вид установки приведен на рисунке 1.
2
На рисунке 2 изображена шильда маркировки установки.
Рисунок 2 – Шильда маркировки установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда
УВЭ-3
Программное обеспечение
отсутствует.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 1 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений давления, Па
Значение
от 1
10
-5
до
1
10
3
Пределыдопускаемойотносительнойпогрешности
измерений, %
- в диапазоне от 1·10
-5
до 1·10
-2
Па включ.
±15
- в диапазоне свыше 1·10
-2
до 1·10
3
Па
±10
Остаточное давление, Па, не более 1
10
-6
Рисунок 1 – Общий вид установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
Маркировка
УВЭ-3
Знак
утверждения
типа
3
Значение
220±22
50±1
2,5
Таблица 2 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Потребляемая мощность, кВ∙А, не более
Габаритные размеры, мм, не более
- глубина
- ширина
- высота
Масса, кг, не более
750
1500
1100
200
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
С
- относительная влажность, %, не более
- атмосферное давление, кПа
Средняя наработка на отказ, ч
Средний срок службы, лет
от +15 до +30
80
от 84 до 106,7
10000
10
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации,
фотохимическим или иным методом на корпус установки.
Комплектность средства измерений
Таблица 3 – Комплектность средства измерений
Наименование
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда
Руководство по эксплуатации
Комплект запасных частей и принадлежностей
Кол-во
1 шт.
1 экз.
1 компл.
Методика поверки
Обозначение
УВЭ-3
--
МП 231-0081-2020
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0081-2020 «ГСИ. Установка вакуумметрическая
эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им.
Д.И. Менделеева» 24 июля 2020 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по ГОСТ 8.107-81 «ГСИ.
Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств
измерений абсолютного давления в диапазоне 1
10
-8
-1
10
3
Па», в диапазоне измерений
абсолютного давления от 1,0∙10
-7
до 1,0∙10
3
Па, пределы допускаемой относительной
погрешности
7÷3) % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде
3.1.ZZB.0050.2015).
Вакуумметр ионизационный AIGX, диапазон измерений абсолютного давления в
диапазоне от 6,6∙10
-8
до 6,6 Па, допускаемая относительная погрешность
15 %
(регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 44388-10).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и (или) на корпус установки.
4
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке
вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная
поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1
10
-8
-1
10
3
Па
Техническая документация изготовителя
Изготовитель
Общество сограниченнойответственностью «Ист Вакуум» (ООО«ИВ»)
ИНН 5040114363
Адрес: 194156, г. Санкт-Петербург, 2-й Муринский пр., дом 10, корпус 1 литер А
пом. 4Н, офис 41
Телефон: (800) 234-73-88
Web-сайт: info@eastvacuum.ru
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19.
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14.
Web-сайт:
E-mail:
Регистрационный номер RA.RU.311541 в Реестре аккредитованных лиц в области
обеспечения единства измерений Росаккредитации.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.