Untitled document
Приложение к свидетельству № 77884
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 8
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Датчики вакуумные комбинированные VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL,
VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E
Назначение средства измерений
Датчики вакуумные комбинированные VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL,
VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E (далее датчики VSM),
предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Описание средства измерений
Принцип действия датчиков вакуумных комбинированных VSM, модификаций
VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E:
- в диапазоне измерений свыше 2·10
-3
до 1·10
3
гПа, основан на изменении теплопровод-
ности газа под воздействием измеряемого абсолютного давления, что приводит к изменению
температуры нити накала, которая является плечом измерительной мостовой схемы теплового
измерительного датчика сопротивления, входящего в состав датчика VSM. Изменение сопро-
тивления этого плеча приводит к разбалансу моста, при этом возникает электрический сигнал,
пропорциональный давлению;
- в диапазоне измерений от 5·10
-9
до 2·10
-3
гПа, заключается в ионизации газа с помощью
тлеющего разряда Пеннинга, возникающего при приложении высокого напряжения между ка-
тодом и анодом в постоянном магнитном поле инверсно-магнетронного датчика с холодным
катодом, входящего также в состав датчика VSM.
Конструктивно датчики VSM выполнены в виде единого корпуса, в котором расположе-
ны измерительный электронный блок и два измерительных датчика: тепловой измерительный
датчик сопротивления и инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом. Управление ра-
ботой датчиков VSM осуществляется с помощью кнопок, расположенных на их верхней пане-
ли.
Датчики VSM могут обеспечивать отображение информации об измерениях на встроен-
ном жидкокристаллическом дисплее.
С датчиками VSM могут применяться контроллеры VD10S8, VD12S2 и VD14S4. Управ-
ление работой в этом случае осуществляется с помощью контроллера.
На корпусе датчиков VSM установлены разъемы для вывода значений измеряемых па-
раметров в цифровом (по интерфейсу RS485) виде или в аналоговом (0 - 10 В постоянного тока)
виде (только для модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D,
VSM79DL). Для модификаций VSM77E, VSM78E, VSM79E установлены разъемы для вывода
значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485 или EtherCAT) виде.
Датчики VSM предусматривают снятие показаний с помощью внешнего программного
обеспечения VacuGraph, установленном на компьютере.
Датчики VSM выпускается в девяти модификациях: VSM77D, VSM77DL, VSM77E,
VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E.
Датчики VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D,
VSM79DL, обеспечивают отображение информации при помощи контроллера VD10S8, VD12S2
или VD14S4, подключённого через разъём для вывода значений измеряемых параметров в циф-
ровом (по интерфейсу RS485) виде, или через разъём для вывода значений измеряемых пара-
метров в цифровом (по интерфейсу RS485) или аналоговом (0 - 10 В постоянного тока) виде.
Датчики VSM, модификаций VSM77DL, VSM78DL, VSM79DL, дополнительно обеспе-
чивают отображение информации на встроенном жидкокристаллическом дисплее.
Лист № 2
Всего листов 8
Датчики VSM, модификаций VSM77E, VSM78E, VSM79E, обеспечивают отображение
информации при помощи контроллеров VD10S8, VD12S2 или VD14S4, подключаемых через
разъём для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485) виде,
или через разъём для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу
RS485 или Ether CAT).
Датчики VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, оснащены присоедини-
тельными фланцами ISO-KF DN25(KF25, NW25). Датчики VSM, модификаций VSM78D,
VSM78DL, VSM78E, оснащены присоединительными фланцами ISO-KF DN40 (KF40, NW40).
Датчики VSM, модификаций VSM79D, VSM79DL, VSM79E, оснащены присоединительными
фланцами CF-F DN40 (CF 2.75”, CF40, CF35).
Общий вид датчиков VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL,
VSM79D, VSM79DL, представлен на рисунке 1. Общий вид датчиков VSM, модификаций
VSM77E, VSM78E, VSM79E, представлен на рисунке 2. Общий вид контроллеров VD10S8,
VD12S2 и VD14S4 представлен на рисунках 3 и 4.
Рисунок 1 - Общий вид датчиков вакуумных комбинированных VSM,
модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D, VSM79DL
Лист № 3
Всего листов 8
Рисунок 2 - Общий вид датчиков вакуумных комбинированных VSM,
модификаций VSM77E, VSM78E, VSM79E
Рисунок 3 - Общий вид контроллера VD10S8
Лист № 4
Всего листов 8
Рисунок 4 - Общий вид контроллеров VD12S2 и VD14S4
Пломбирование датчиков VSM не предусмотрено.
Программное обеспечение
Микропроцессорное программное обеспечение датчиков VSM встроенное, обеспечивает
управление и диагностику, обработку сигналов и связь с внешними устройствами через анало-
говый сигнал или интерфейс RS485.
Контроллеры датчиков VSM имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разра-
ботанное изготовителем специально для решения задач управления работой. ПО выполняет
следующие функции: выбор единицы измерений давления, прием, обработка и отображение
измерительной информации, формирование выходных сигналов, передача данных, включе-
ние/выключение. С помощью ПО осуществляется автоматическая диагностика, вывод на экран
контроллера сообщений об ошибках и передача данных на внешнее устройство.
Внешнее ПО Vacugraph выполняет следующие функции: снятие измерений с датчиков
VSM, сохранение измерений в виде графиков, выбор единицы измерения, установка реле.
Идентификационные данные встроенного ПО датчиков VSM приведены в таблице 1.
Таблица 1 – Идентификационные данные встроенного программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
программного обеспечения
12
Идентификационное наименование про-
граммного обеспеченияVSM
Номерверсии(идентификационный
номер)программногообеспечения
встроенного в датчик вакуумный ком-не ниже 0210
бинированный VSM
Цифровой идентификатор программно-CS (Checksum) – контрольная сумма, определяе-
го обеспечения (контрольная сумма ис- мая через протокол передачи данных
полняемого кода)
Лист № 5
Всего листов 8
Окончание таблицы 1
1
Алгоритм вычисления цифрового иден-
тификатора программного (контрольная
сумма)
2
CS=(∑всех кодов, переведенных согласно ASCII)
mod 64 +64
Уровень защиты программного обеспечения «высокий»в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные внешнего ПО приведены в таблице 2.
Таблица 2 – Идентификационные данные внешнего программного обеспечения VacuGraph
Идентификационное данные (признаки)Значение
программного обеспечения
VacuGraph
Идентификационное наименование про-
граммного обеспечения
Номерверсии(идентификационный
номер) программного обеспечения
Не ниже 11.0
CS (Checksum) – контрольная сумма,
определяемая через протокол передачи данных
Цифровой идентификатор программно-
го обеспечения (контрольная сумма ис-
полняемого (кода)
Алгоритм вычисления цифрового иден-
тификатора программного (контрольная
сумма)
CS=(∑всех кодов, переведенных согласно ASCII)
mod 64+64
Метрологические и технические характеристики
Таблица 3 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений давления, гПа (мбар)
Значение
от 5·10
-9
до 1·10
3
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %:
в диапазоне от 5·10
-9
до 1·10
-7
гПа, включ.
в диапазоне св. 1·10
-7
до 1·10
3
гПа
Предельное допускаемое избыточное давление (перегрузка), гПа
±70
±50
4000
Таблица 4 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Значение
2
от 20 до 30
от 95 до 265
от 50 до 60
5
45
25
45
1
Напряжение питания постоянного тока, В
Параметры электрического питания контроллеров:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Потребляемая мощность, В·А, не более:
- датчика VSM
- контроллера VD10S8
- контроллера VD12S2
- контроллера VD14S4
Габаритные размеры, мм, не более:
- датчиков (диаметр×высота) модификаций:
- VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D,VSM78DL, VSM78E
- VSM79D, VSM79DL,VSM79E
70×140
70×155
Лист № 6
Всего листов 8
0,60
0,90
от +5 до +60
2
180×110×130
180×75×130
180×75×130
1,10
0,75
0,75
Окончание таблицы 4
1
- контроллеров (длина×ширина×высота)
- VD10S8
- VD12S2
- VD14S4
Масса, кг, не более
- датчиков модификаций:
- VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E
- VSM79D, VSM79DL, VSM79E
- контроллеров
- VD10S8
- VD12S2
- VD14S4
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
°
С
- относительная влажность, %, не более:
- при температуре от +5 до +31 ºС включ.
- при температуре св. +31 до +60 ºС
- атмосферное давление, кПа
80
50
от 86 до 106
Знак утверждения типа
наносится типографским способом в верхнем правом углу титульного листа руководства по
эксплуатации и с помощью наклейки на корпусе датчика VSM.
Комплектность средства измерений
1 шт.
Количество
Таблица 5 – Комплектность средства измерений
Наименование
Датчик вакуумный комбинированный VSM (модифи-
кация по заказу)
Контроллер
по заказу
Кабель
Программное обеспечение VacuGraph для ПК
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Обозначение
VSM77D, VSM77DL,
VSM77E, VSM78D,
VSM78DL, VSM78E,
VSM79D, VSM79DL,
VSM79E
VD10S8, VD12S2,
VD14S4
---
РТ-МП-6148-443-2020
по заказу
по заказу
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу РТ-МП-6148-443-2020 «ГСИ. Датчики вакуумные комбиниро-
ванные VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E,
VSM79D, VSM79DL, VSM79E. Методика поверки», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва»
14.01.2020 г.
Основные средства поверки:
- установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 c диапазоном изме-
рения абсолютного давления от 1·10
-5
до 1·10
3
Па, с допускаемой относительной погрешностью
±10 % в диапазоне от 1·10
-2
до 1·10
3
Па и ±15 % в диапазоне от 1·10
-5
до 1·10
-2
Па (регистраци-
онный номер в Федеральном информационном фонде 53639-13);
Лист № 7
Всего листов 8
- вакуумметр ионизационный образцовый 2-го разряда ВИО-1 c диапазоном измерений
абсолютного давления от 7 ∙ 10
-9
до 1∙10
-1
Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10
% в диапазоне от 1∙10
-7
до 1∙10
-1
Па и ±30 % в диапазоне от 7 ∙10
-9
до 1,1∙10
-7
Па (регистрацион-
ный номер в Федеральном информационном фонде 9862-85);
- калибратор-контроллер давления PPC4-A100Ks c диапазоном измерения и воспроизве-
дения абсолютного давления до 110 кПа, с допускаемой относительной погрешностью, с до-
пускаемой относительной погрешностью ±0,01 % от диапазона, в режиме измерений давления и
±0,011 % от диапазона, в режиме воспроизведения давления (регистрационный номер в Феде-
ральном информационном фонде 27758-08);
- мультиметр цифровой 34401А с диапазоном измерения напряжения постоянного тока
до 10 В, с относительной погрешностью ±[0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от
верхнего предела измерений] (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде
54848-13);
- источник питания постоянного тока Б5-93, с наибольшим значением напряжения 50 В и
с пределами допускаемой погрешности по выходному напряжению: ±(0,001U+0,3) В, в диапа-
зоне до 30 В и ±(0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В (регистрационный номер в Федераль-
ном информационном фонде 51394-12).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска поверительного
клейма.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумным
датчикам комбинированным VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D,
VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесо-
юзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1·10
-8
÷
1·10
3
Па
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диа-
пазоне 1·10
-1
÷ 1·10
7
Па, утверждена приказом Росстандарта РФ от 06.12.2019 г. № 2900;
Техническая документация изготовителя Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Изготовитель
Thyracont Vacuum Instruments GmbH, Германия
Адрес: Max-Emanuel-Straße, 10, 94036, Passau, GERMANY
Телефон: +49(851)95986-0
Факс: +49(851)95986-40
Web-сайт:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «АКТАН ВАКУУМ»
(ООО «АКТАН ВАКУУМ»)
Юридический адрес: 141191, Московская обл., г. Фрязино, ул. Станционная, д. 2, корп. 1,
помещение 207
Телефон: +7 (495) 725-26-28
E-mail:
Лист № 8
Всего листов 8
Испытательный центр
Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандарти-
зации, метрологии и испытаний в г. Москве и Московской области»
(ФБУ «Ростест–Москва»)
Адрес: 117418, г. Москва, Нахимовский проспект, 31
Телефон: +7 (495) 544-00-00, +7 (499) 129-19-11
Факс: +7 (499) 124-99-96
E-mail:
Web-сайт:
Регистрационный номер RA.RU.310639 в Реестре аккредитованных лиц в области обес-
печения единства измерений Россаккредитации.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2020 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.