Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
78495-20
Наименование СИ:
Эллипсометры спектральные
Обозначение типа:
OptiReader™
Производитель:
Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
29.06.2025
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 77530
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Эллипсометры спектральные OptiReader™
Назначение средства измерений
Эллипсометры спектральные OptiReader™ (далее – эллипсометры) предназначены для
бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся
на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных
двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.
Описание средства измерений
Принцип действия эллипсометров основан на изменении состояния поляризации света,
отраженного от границ раздела двух сред. Эллипсометры измеряют эллипсометрические углы
Пси и Дельта на различных длинах волн, сканируя поверхность нагревательной трубки по углу
и вдоль ее оси. Программное обеспечение (ПО) эллипсометров на основании измеренных
данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет
толщину оптических покрытий на поверхности нагревательной трубки. Результат измерений
выводится в виде двумерной карты толщины покрытий с пространственным разрешением: 24
точки по окружности трубки и 50 точек вдоль оси нагревательной трубки.
На лицевой стороне эллипсометров расположен сенсорный экран для управления ПО. В
верхней части эллипсометров размещено гнездо с индикацией для установки нагреваетльн6ых
трубок.
Общий вид эллипсометров представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения поверки представлено на рисунке 2.
Пломбирование эллипсометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 – Общий вид эллипсометров спектральных OptiReader™
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Вэллипсометрахиспользуетсявстроенноепрограммноеобеспечение,которое
устанавливаетсязаводом-изготовителем непосредственновпостоянноезапоминающее
устройство (ПЗУ) прибора.
Программноеобеспечение«OptiReaderSW»предназначенодляуправления
эллипсометром, контроллером внутренних исполнительных механизмов и измерительных
устройств и его настроек, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки
информации и выдачи отчета по измерениям.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через сенсорный
экран, установленный на лицевой панели прибора. Карта толщин покрытий выводится в виде
2D или 3D изображения. Имеется возможность расчета и индикации объема покрытий.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-
изготовителя с помощью специального оборудования.
Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключен посредством
ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Уровеньзащитыпрограммногообеспечения«высокий»всоответствиис
Р 50.2.077 – 2014.
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже
Цифровой идентификатор ПО
Значение
OptiReader SW
3.9
-
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 4 до 300
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений толщины покрытий, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины
покрытий, нм
в диапазоне от 4 до 30 нм включительно
в диапазоне свыше 30 до 300 нм
±2
±4
Рисунок 2 – Обозначение места нанесения знака поверки
Место
нанесения
знака поверки
Лист № 3
Всего листов 4
от +10 до +35
Значение
от 0 до 500
от 0 до 0,5
255
356
420
15
от 100 до 240
50/60
36
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон показаний толщины покрытий, нм
Диапазон показаний объема отложений, мм
3
Габаритные размеры, мм, не более:
- ширина
- высота
- длина
Масса, кг, не более
Параметры электрического питания:
- напряжение сети, В
- частота сети, Гц
Потребляемая мощность, Вт, не более
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
- относительная влажность при температуре
+25 ºС, %, не более
80
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Эллипсометр спектральный OptiReader™
Набор из пяти валидационных трубок
Шестигранный винт
Блок питания
Шнур питания (европейский разъем)
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Обозначение
–
–
–
–
–
–
МП 059.М44-19
Количество
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляетсяподокументуМП059.М44-19«ГСИ.Эллипсометрыспектральные
OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2019 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в
диапазоне значений от 10 до 1000 нм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус эллипсометра в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к эллипсометрам
спектральным OptiReader™
Локальная поверочная схема ФГУП «ВНИИОФИ» для средств измерений толщины
покрытий в диапазоне от 10 до 1000 нм, утвержденная 08.08.2019г
Техническая документация «Petroleum Analyzer Company, L.P.», США
Лист № 4
Всего листов 4
Изготовитель
«Petroleum Analyzer Company, L.P.», США
Адрес: 8824 Fallbrook Drive Houston, TX 77064-9912, USA
Телефон: +1-281-940-1803
Web-сайт:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Неолаб» (ООО «Неолаб»)
ИНН 7704642007
Адрес: 119034, г. Москва, Еропкинский пер., д. 16
Телефон: +7 (495) 648-60-80
Web-сайт:
E-mail:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-2014 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2020 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 14077-95 | Анализаторы рентгенофлуоресцентные спектральные | X-MET XRE Analyzers | Фирма "Metorex International Oy", Финляндия | 1 год | Перейти |
| 51115-12 | Анализаторы спектральные | ЭМИС-2 | НПП "Буревестник", ОАО, г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
| 34907-07 | Лампы эталонные спектральные с полым катодом | ЛСП6-Э (CuZn) | ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва | 1 год | Перейти |
| 59205-14 | Киловольтметры спектральные цифровые | КВЦ-120А | ООО "ИЦ России Современные технологии", г.Волгоград | 1 год | Перейти |
| 16104-97 | Анализаторы спектральные эмиссионные | Spectrum | Фирма "Namicon", Италия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений