Untitled document
Приложение к свидетельству № 76106
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 11
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX
Назначение средства измерений
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX (далее – течеискатели)
предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля
герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов,
допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих
гелий.
Описание средства измерений
Принцип действия течеискателей основан на измерении электрического сигнала от
ионизированных молекул пробного газа (по умолчанию – гелия) в ионном коллекторе
течеискателя.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный
на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе,
высоковакуумныйнасос.Подключениеиспытуемогообъектаквакуумнойсистеме
течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт),
расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-
спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы
ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной
атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы
гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется
поток ионов, в виде электрического сигнала.
Течеискатель состоит из турбомолекулярного насоса, вспомогательного насоса, трубки
спектрометра, клапанного блока, электроники течеискателя и интерфейса оператора (TFT-
дисплейсенсорнойпанели)идополнительногооборудования(беспроводнойпульт
дистанционного управления и дополнительная печатная плата ввода/вывода).
Течеискатели выпускают в следующих модификациях: G8610A, G8610B, G8611A,
G8611B, G8611C, G8611D, G8612A, G8612B, G8612C, G8612D, отличающихся вариантом
исполнения, типом и моделью насоса, массой, габаритными размерами и характеристиками
питания. Модификации G8611A, G8611B, G8611C, G8611D выполнены на тележке с
встроенным туда насосом. Модификации G8612A, G8612B, G8612C, G8612D выполнены в
настольном исполнении и оснащены внешним вспомогательным насосом. В зависимости от
характеристик питания на течеискателях указывается код исполнения (приведены в
таблицах 3 - 6).
Пломбирование течеискателей не предусмотрено. Общий вид течеискателей масс-
спектрометрических гелиевых серии G861XX представлен на рисунках 1-3.
Лист № 2
Всего листов 11
Рисунок 2 – Общий вид течеискателей
масс-спектрометрических гелиевых G861XX
модификаций G8610A, G8610B
Рисунок 1 – Общий вид течеискателей
масс-спектрометрических гелиевых
G861XX модификаций G8612A, G8612B,
G8612C, G8612D
Рисунок 3 – Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых G861XX
модификаций G8611A, G8611B, G8611C, G8611D
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное
изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении
неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности
различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием,
либо смесью газов, содержащих гелий. ПО выполняет функции приема, обработки и передачи и
вывода информации.
Лист № 3
Всего листов 11
ПО течеискателей выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов,
клапанов);
-управлениеработоймасс-спектрометрическогоанализатора(определение
чувствительности, настройка на пик гелия);
-прием,обработкаиотображениеизмерительнойинформацииотмасс-
спектрометрического анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя и ПК;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна в меню «Главная – Информация о системе».
Влияние ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик.
УровеньзащитыПОотпреднамеренныхилинепреднамеренныхизменений
течеискателей – «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
LeakDetector
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
–
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
не ниже
LD01.03 120717
Метрологические и технические характеристики
Наименование характеристики
G8610A
G8610B
G8611A
G8611B
G8611C
G8611D
G8612A
G8612B
G8612C
G8612D
погрешности измерений, % (где Q
нпи
–
нижний предел измерений Q
изм
–
значение измеренного потока, Па·м
3
/с)
- в режиме «Точный тест»
- в режиме «Тест»
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Значение
Модификация
измерений
по входу
Диапазон
вакууме
Па·м
3
/с
потока газа в
тече
и
скателя,от 1
×
10
-11
до 1
×
10
-4
Пределы допускаемой относительной
±(0,30 + Q
нпи
/Q
изм
)·100
±50
Лист № 4
Всего листов 11
Модификация
Код исполнения
насосапластинчато-роторный
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование
Значение
характеристики
G8610AG8610B
G8610- G8610- G8610- G8610- G8610-
64000 64001 64002 64003 64004
ИсполнениеПортативный
Тип форвакуумногоВнутренний масляный
Внутренний спиральный безмасляный
36
Модель
форвакуумногоDS40MIDP-3
насоса
Скорость
форвакуумной
откачки, л/мин:
- при 50 Гц3050
- при 60 Гц3660
Модель
высоковакуумногоContra
насоса
Скорость
высоковакуумной
откачки, л/сек:
- при 50 Гц0,421,0
- при 60 Гц 0,51,1
Модель
турбомолекулярногоNavigator
насоса
Время установления
сигнала, мин, не7,0
более
Масса, кг,
не более
Габаритные размеры
течеискателя, мм,
не более:
- длина625
- ширина403
- высота517
Питание:
- напряжениеот 103,5от 207от 90от 103,5от 207
переменного тока, Вдо 126,5до 253 до 110до 126,5до 253
- частота, Гц 50/60 50/6050/60 50/60 50/60
- сила тока, А 2,0/2,31,0/1,3 2,2/2,4 2,4/2,21,2/1,2
- потребляемая
мощность, Вт, не
более300350300320320
Лист № 5
Всего листов 11
Наименование
характеристики
Код исполнения
от +15 до +30
80
10
15000
Продолжение таблицы 3
G8610A
G8610-G8610-
6400064001
Значение
Модификация
G8610B
G8610- G8610- G8610-
64002 64003 64004
от 75 до 106,7
Условия
эксплуатации:
- температура
окружающего
воздуха, °С
- относительная
влажность, %,
не более
- атмосферное
давление, кПа
Средний срок
службы, лет
Средняя наработка на
отказ, ч
Модификация
насосаластинчато-роторны
насоса
Таблица 4 – Основные технические характеристики
Наименование
Значение
характеристики
G8611AG8611B
Код исполненияG8611-64000G8611-64001G8611-64002G8611-64003
Исполнение Передвижной
Тип форвакуумного
п
Внешний масляный
й
Внешний безмасляный спиральный
Модель форвакуумного
DS302 TS620
7,0
Скорость форвакуумной
откачки, л/мин:
- при 50 Гц237420
- при 60 Гц285500
Модель
высоковакуумногоContra
насоса
Скорость
высоковакуумной
откачки, л/сек:
- при 50 Гц2,55,0
- при 60 Гц3,06,0
Модель
турбомолекулярногоNavigator
насоса
Время установления
сигнала, мин, не более
Масса течеискателя (с
тележкой), кг, не более
7988
Лист № 6
Всего листов 11
Наименование
характеристики
50/60
9,0/5,4
50/60
3,8/3,4
от +15 до +30
80
10
15000
Продолжение таблицы 4
Значение
Модификация
G8611AG8611B
G8611-64000G8611-64001G8611-64002G8611-64003
764
508
1153
2532
467472
132300
212355
Код исполнения
Габаритные размеры
течеискателя (с
тележкой), мм, не
более:
- длина
- ширина
- высота
Масса внешнего насоса,
кг, не более
Габаритные размеры
внешнего насоса, мм, не
более:
- длина
- ширина
- высота
Питание:
- напряжение
переменного тока, В
1150
50/60 50/60
4,4/2,5 7,7/6,8
11501000
от 103,5 от 207 от 103,5 от 207
до 126,5 до 253 до 126,5 до 253
1000
от 75 до 106,7
- частота, Гц
- сила тока, А
- потребляемая
мощность насоса, Вт, не
более
Условия эксплуатации:
- температура
окружающего воздуха,
°С
- относительная
влажность, %,
не более
- атмосферное давление,
кПа
Средний срок службы,
лет
Средняя наработка на
отказ, ч
Модификация
6400464005
Таблица 5 – Основные технические характеристики
Наименование
Значение
характеристики
G8611CG8611D
Код исполнения
G8611-G8611-
G8611-64006
ИсполнениеПередвижной
G8612A
G8612-G8612-
64000 64001
Настольный
Лист № 7
Всего листов 11
Код исполнения
IDP-15
Contra
Navigator
7,0
89
-
-
34
Продолжение таблицы 5
Наименование
характеристики
Значение
G8611DG8612A
G8611-64006
G8612-G8612-
6400064001
G8611C
G8611-G8611-
64004 64005
Внешний безмасляный
спиральный
Внешний масляный
пластинчато-роторный
DS602DS302
210
250
420 237
500 285
3,5
4,3
6,9 2,5
8,3 3,0
764
508
1153
-
-
-
-36
-
-
-
-625
-403
-517
Тип форвакуумного
насоса
Модель
форвакуумного
насоса
Скорость
форвакуумной
откачки, л/мин:
- при 50 Гц
- при 60 Гц
Модель
высоковакуумного
насоса
Скорость
высоковакуумной
откачки, л/сек:
- при 50 Гц
- при 60 Гц
Модель
турбомолекулярного
насоса
Время установления
сигнала, мин, не
более
Масса течеискателя (с
тележкой), кг, не
более
Габаритные размеры
течеискателя (с
тележкой), мм,
не более:
- длина
- ширина
- высота
Масса течеискателя,
кг, не более
Габаритные размеры
течеискателя, мм,
не более:
- длина
- ширина
- высота
Масса внешнего
насоса, кг, не более
3525
Лист № 8
Всего листов 11
Наименование
характеристики
Код исполнения
G8611-64006
50/60
6,0/4,2
50/60
2,8/3,0
от 207
до 253
50/60
4,4/2,8
50/60
9,0/5,4
50/60
4,4/2,5
от +15 до +30
80
10
15000
Продолжение таблицы 5
Значение
Модификация
G8611D
G8611C
G8611-G8611-
6400464005
G8612A
G8612-G8612-
6400064001
485
333
364
541
164
242
467
132
212
Габаритные размеры
внешнего насоса, мм,
не более:
- длина
- ширина
- высота
Питание:
- напряжение
переменного тока, В
800
от 103,5 от 207
до 126,5 до 253
800
1150
1150
от 103,5 от 207
до 126,5 до 253
1150
от 75 до 106,7
- частота, Гц
- сила тока, А
- потребляемая
мощность насоса, Вт,
не более
Условия
эксплуатации:
- температура
окружающего
воздуха, °С
- относительная
влажность, %,
не более
- атмосферное
давление, кПа
Средний срок
службы, лет
Средняя наработка на
отказ, ч
G8612-64006
DS602
Модификация
G8612D
Код исполнения
Таблица 6 – Основные технические характеристики
Наименование
Значение
характеристики
G8612BG8612C
G8612-G8612- G8612-G8612-
trial640036400464005
Исполнение Настольный
Тип форвакуумногоВнешний безмасляныйВнешний безмасляный
насоса спиральный спиральный
Внешний
масляный
пластинчато-
роторный
Модель
форвакуумногоTS620IDP-15
насоса
Лист № 9
Всего листов 11
Наименование
характеристики
Код исполнения
G8612-64006
Contra
Navigator
7,0
36
32
34
35
50/60
7,7/6,8
50/60
3,8/3,4
от 207
до 253
Продолжение таблицы 6
G8612D
G8612B
G8612-G8612-
6400264003
Значение
Модификация
G8612C
G8612-G8612-
6400464005
420
500
210
250
420
500
5,0
6,0
3,5
4,3
6,9
8,3
625
403
517
472
300
355
485
333
364
541
164
242
Скорость
форвакуумной
откачки, л/мин:
- при 50 Гц
- при 60 Гц
Модель
высоковакуумного
насоса
Скорость
высоковакуумной
откачки, л/сек:
- при 50 Гц
- при 60 Гц
Модель
турбомолекулярного
насоса
Время установления
сигнала, мин, не
более
Масса течеискателя,
кг, не более
Габаритные размеры
течеискателя, мм,
не более:
- длина
- ширина
- высота
Масса внешнего
насоса, кг, не более
Габаритные размеры
внешнего насоса, мм,
не более:
- длина
- ширина
- высота
Питание:
- напряжение
переменного тока, В
- частота, Гц
- сила тока, А
- потребляемая
мощность насоса, Вт,
не более
1000
от 103,5 от 207
до 126,5 до 253
1000
от 103,5 от 207
до 126,5 до 253
50/60 2,8 4,4
6,0/4,2 3,0 2,8
8008001150
Лист № 10
Всего листов 11
Наименование
характеристики
Код исполнения
G8612-64006
от +15 до +30
80
10
15000
Продолжение таблицы 6
G8612D
G8612B
G8612-G8612-
6400264003
Значение
Модификация
G8612C
G8612-G8612-
6400464005
от 75 до 106,7
Условия
эксплуатации:
- температура
окружающего
воздуха, °С
- относительная
влажность, %,
не более
- атмосферное
давление, кПа
Средний срок
службы, лет
Средняя наработка на
отказ, ч
Знак утверждения типа
наносится способом наклейки или иным способом на корпус течеискателя, типографским
способом на титульные листы руководства по эксплуатации и паспорта.
Комплектность средства измерений
Таблица 3 – Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
-1 шт.
G861XX. Руководство по
Течеискатель-1 шт.
Тележка (только для модификаций
передвижного исполнения)
Печатная плата ввода/вывода
1)
Течеискатели масс-
Руководство по эксплуатации
спектрометрические гелиевые
1 экз.
эксплуатации
Методика поверкиМП 231-0066-20191 экз.
1)
Данная позиция может быть включена в комплектацию по требованию Заказчика.
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0066-2019 «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические
гелиевые G861XX. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
30.05.2019 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в
диапазоне от 10
-12
до 1 Па∙м
3
/с ГВЭТ 49-2-2006, (2.1ZZВ.0032.2014), СКО: в диапазоне от 10
-12
до 10
-9
Па·м
3
/с не более (0,1 – 0,015); в диапазоне свыше 10
-9
до 1 Па·м
3
/с
не более 0,015.
Лист № 11
Всего листов 11
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
отсутствуют.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям
масс-спектрометрическим гелиевым G861XX
ГОСТ28517-90Контрольнеразрушающий.Масс-спектрометрическийметод
течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008Вакуумнаятехника.Определениехарактеристикмасс-
спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация фирмы «Agilent Technologies LDA Sdn», Малайзия
Изготовитель
Фирма «Agilent Technologies LDA Sdn», Малайзия
Адрес: Bhd. Bayan Lepas, 11900 Penang, Malaysia
Телефон: +60(04)-638-41-02
Web-сайт:
E-mail:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Аджилент Текнолоджиз»
(ООО «Аджилент Текнолоджиз»)
ИНН 7705304064
Адрес: 115054, г. Москва, Космодамианская набережная, дом 52, строение 1
Телефон: +7 (495) 664-73-00, факс: +7 (495) 664-73-01
Web-сайт:
E-mail:
научно-
области
Испытательный trial
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт:
E-mail:
Регистрационный номер RA.RU.311541 в Реестре аккредитованных лиц в
обеспечения единства измерений Росаккредитации.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.