Приложение к свидетельству № 75812
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader
™
Назначение средства измерений
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™
(далее – меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси ψ и Дельта
Δ при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины
пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).
Описание средства измерений
Принцип действия мер основан на явлении оптического вращения плоскости
поляризации.
Меры представляют собой комплекты состоящие из пяти эллипсометрических трубок,
одной юстировочной трубки и ложемента. Эллипсометрические трубки изготовлены из
алюминия, представляют собой тела вращения с переменным диаметром, в центральной
области которых нанесено покрытие из диоксида кремния. Каждая из пяти эллипсометрических
трубок имеет различную номинальную толщину покрытия: 27, 48, 81, 130 и 258 нм. В
комплекты также входит шестая трубка без покрытия, предназначенная для юстировки системы
сканирования специализированных многоволновых эллипсометров.
Передача размера единиц эллипсометрических углов эллипсометрическим трубкам
осуществляется с помощью спектрального эллипсометра. Для установки, перемещения и
вращения трубок на рабочем столе эллипсометра используется ложемент.
Пломбирование мер не предусмотрено.
Общий вид мер представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
а) комплект трубокб) ложемент
Рисунок 1 – Общий вид мер
Лист № 2
Всего листов 4
Рисунок 2 – Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
отсутствует.
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 30 до 60
от 80 до 260
Таблица 1 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466,
525, 596, 638 нм), °:
Пси ψ
Дельта Δ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), °
Пси ψ
Дельта Δ
±0,1
±0,2
Таблица 2 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Материал мер
Значение
Алюминий с покрытием
диоксида кремния - SiO
2
161,9
60,3
4,7
3,2
1,7
Габаритные размеры, мм, не более:
- длина
- trial центрального участка -
наружный диаметр плечиков
- наружный диаметр центрального участка
- внутренний диаметр
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
- относительная влажность воздуха, %
- атмосферное давление, кПа
от +19,9 до +20,1
от 48 до 68
от 100,175 до 102,825
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Место
нанесения
знака
поверки
Лист № 3
Всего листов 4
Комплектность средства измерений
–
Таблица 3 – Комплектность средства измерений
Обозначение
Количество
Наименование
Мерыпространственногораспределения
эллипсометрических углов OptiReader™:
- трубки эллипсометрические
- ложемент
Футляр
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
–
–
МП 012.М44-19
5 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 012.М44-19 «ГСИ. Меры пространственного распределения
эллипсометрическихугловOptiReader™.Методикаповерки»,утверждённому
ФГУП «ВНИИОФИ» 15 февраля 2019г.
Основные средства поверки:
Государственныйпервичныйэталонединицэллипсометрическихугловпо
государственной поверочной схеме для средств измерений эллипсометрических углов
утвержденной приказом Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых мер с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на футляр мер в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам
пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™
Приказ Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221 об утверждении Государственной
поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов
Техническая документация фирмы Petroleum Analyzer Company (PAC), США
Изготовитель
Фирма Petroleum Analyzer Company (PAC), США
Адрес: 8824 Fallbrook Drive Houston, TX 77064-9912, USA
Телефон: +1-281-940-1803
Web-сайт:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Неолаб» (ООО «Неолаб»)
ИНН 7704642007
Адрес: 119034, г. Москва, Еропкинский пер., д. 16
Телефон: +7 (495) 648-60-80
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 4
Всего листов 4
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-2014 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
