Приложение к свидетельству № 75419
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
МикроскопысканирующиеэлектронныеHitachiTM4000/TM4000Plusс
приставкой для энергодисперсионного микроанализа
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для
энергодисперсионного микроанализа (далее - микроскопы) предназначены для измерений ли-
нейных размеров элементов микрорельефа и электроннозондового рентгеноспектрального ка-
чественного и количественного микроанализа состава образца.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на взаимодействии сфокусированного электрон-
ного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч по точкам сканирует участок поверхно-
сти исследуемого объекта, изображение которого формируется микроскопом. Каждая точка по-
верхности объекта в границах поля зрения микроскопа отображается соответствующей точкой
на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объек-
та одновременно возникает сразу несколько типов ответного сигнала и, в зависимости от того,
какой детектор сигнала в данный момент используется, происходит формирование того или
иного конкретного изображения.
Конструктивно микроскоп представляет собой стационарный лабораторный прибор,
который состоит из основной консоли, включающей в себя электронно–оптическую колонну,
камеру образцов и вакуумную систему, отдельного безмасляного форвакуумного насоса, а
также управляющего компьютера с программным обеспечением (ПО). Микроскоп измеряет
длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, то есть расстояние
между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности.
Микроскопы выпускаются в двух модификациях Hitachi TM4000 и Hitachi TM4000Plus,
которыеотличаютсятем,чтомодификацияTM4000Plusоснащенадополнительным
низковакуумным детектором вторичных электронов, который позволяет более эффективно
исследовать поверхность образцов, имеющих низкий контраст в обратно-отраженных
электронах.
Источником электронов является электронная пушка микроскопа с термо-эмиссионным
вольфрамовым катодом. Микроскоп оборудован детекторами вторичных и отраженных
электронов, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения. Микроскоп
оснащен моторизированным предметным столиком SEMover с двумя осями перемещения
(X, Y), который предназначен для перемещения образца в микроскопе с помощью двух
шаговых двигателей, смонтированных на передней панели камеры микроскопа. Вакуумная
система микроскопаполностьюавтоматизированаивключает всебябезмасляный
форвакуумный насос и турбо-молекулярный насос. Микроскоп работает в трёх операционных
вакуумных режимах: высокого, среднего и низкого вакуума.
Управлениемикроскопом,егонастройкаиобработкаданныхизмерений
осуществляются с помощью серверного компьютера со специализированным ПО TM4000
Tabletop Microscope, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут
быть выведены на монитор серверного компьютера.
Лист № 2
Всего листов 5
Дополнительномикроскопможетбытьукомплектованприставкойдля
энергодисперсионного микроанализа Quantax 75 на базе безазотного (Пельтье-охлаждаемого)
кремний-дрейфового детектора, которая позволяют проводить рентгеновское картирование,
элементный анализ по линии и мультиэлементный анализ в точке. Принцип действия приставки
для энергодисперсионного микроанализа основан на методе рентгеновского микроанализа,
сущность которого заключается в возбуждении атомов анализируемого вещества электронным
пучком (зондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического
рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества. Управление работой
приставки для энергодисперсионного микроанализа, выбор режимов измерений и контроль
параметров, обработка спектров и получение результатов измерений осуществляется с
помощью компьютера под управлением ПО Esprit Compact.
Общий вид микроскопа и приставки для энергодисперсионного микроанализа
представлен на рисунках 1 и 2.
Рисунок 2 – Приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75.
Слева – детектор, справа – блок контроля сканирования
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью серверного компьютера, на котором
установлено специализированное ПО TM4000 Tabletop Microscope. Управление работой
приставки для энергодисперсионного микроанализа осуществляют с помощью серверного
компьютера, на котором установлено специализированное ПО Esprit Compact.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню
«средний» по Р 50.2.077-2014.
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа
Место нанесения знака
утверждения типа
Лист № 3
Всего листов 5
Таблица 1 – Идентификационные данные ПО микроскопа
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
TM4000 Tabletop Microscope
Номер версии (идентификационный номер) ПО
не ниже 1.5
для энергодисперсионного
Таблица 2 – Идентификационные данные ПО приставки
микроанализа
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
Esprit Compact
Номер версии (идентификационный номер) ПО
не ниже 2.1.1.17347
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 0,278 до 3000
±5
от 0,5 до 100
129
20
15
10
5
Таблица 3 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределыдопускаемойотносительнойпогрешности
измерений линейных размеров, %
Диапазон измерений массовой доли, %
Энергетическое разрешение приставки для энергодис-
персионного микроанализа на линии характеристическо-
го излучения Mn Kα1,2, эВ, не более
Предел допускаемого СКО случайной составляющей
относительной погрешности измерений массовой доли
элементов в диапазоне, %:
- от 0,5 до 1,5 % включ.
- св. 1,5 до 10 % включ.
- св.10 до 20 % включ.
- св. 20 до 100 % включ.
Пределыдопускаемойотносительнойпогрешности
измерений массовой доли элементов в диапазоне, %:
- от 0,5 до 1,5 % включ.
- св. 1,5 до 10 % включ.
- св.10 до 20 % включ.
- св. 20 до 100 % включ.
±40
±30
±10
±5
Значение
от 10 до 100 000
60
от 198 до 242
550
330
620
Таблица 4 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон регулирования увеличения, крат
Масса основной консоли, кг, не более
Напряжение сети переменного тока, В
Габаритные размеры основной консоли, мм, не более:
- высота
- ширина
- длина
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха,
°
C
- относительная влажность окружающего воздуха, %
- атмосферное давление, кПа
от +15 до +30
от 20 до 70
от 84 до 106
Лист № 4
Всего листов 5
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю панель корпуса
микроскопа.
Комплектность средства измерений
Количество
–
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
Таблица 5 – Комплектность микроскопа
НаименованиеОбозначение
Микроскопсканирующий электронный –
Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой
для энергодисперсионного микроанализа в
составе:
- микроскоп сканирующий электронныйHitachi TM4000 или Hitachi
TM4000Plus*
- моторизованный столик образцаSEMover
- приставка для энергодисперсионного мик-–
роанализа Quantax 75**
Микроскопсканирующийэлектронный–
Hitachi TM4000/TM4000Plus. Руководство по
эксплуатации
Приставка для энергодисперсионного микро-–
анализа Quantax 75. Руководство по эксплуа-
тации**
Микроскопысканирующиеэлектронные 651-19-017 МП
Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой
дляэнергодисперсионногомикроанали-
за. Методика поверки
* Модификация по согласованию с заказчиком
** Комплектация по согласованию с заказчиком
Поверка
осуществляется по документу 651-19-017 МП «Микроскопы сканирующие электронные Hitachi
TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа. Методика повер-
ки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 15.01.2019 г.
Основные средства поверки:
- меры периода линейные TDG01 (рег. № 41679-09), номинальное значение шага
шаговой структуры меры 0,278 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага
периодической структуры ±0,001 мкм, пределы допускаемой относительной погрешности при
формировании периодической структуры ±0,03 %;
- меры периода и высоты линейные TGZ1 (рег. № 41678-09), номинальное значение шага
шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага
периодической структуры ±0,01 мкм;
- меры длины концевые плоскопараллельные Holex модификаций 480450 и 481050 (рег.
35997-07), мера с номинальным значением длины 3,0 мм (набор 480450 – 103), допускаемое
отклонение от номинального значения длины ±0,20 мкм;
- стандартные образцы сталей легированных типов 12Х18Н9Т, 12Х18Н10Т, 17Х18Н9,
12Х18Н12Т (комплект СО ЛГ32 – ЛГ36), ГСО 4506-92П/4510-92П, интервал аттестованных
значений массовой доли элементов от 0,002 до 21 %, интервал границ абсолютной погрешности
аттестованных значений от ±0,0012 % до ±0,24 % при доверительной вероятности 0,95;
- стандартные образцы состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171),
ГСО6319-92/6323-92,интервалаттестованныхзначениймассовойдолиэлементов
от 0,045 % до 72,5 %, интервал границ абсолютной погрешности аттестованных значений
от ±0,005 % до ± 0,7 % при доверительной вероятности 0,95.
Лист № 5
Всего листов 5
Допускается применение других средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодиспер-
сионного микроанализа
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Техническая документация фирмы-изготовителя
Изготовитель
Фирма «Hitachi High-Technologies Corporation», Япония
Адрес: 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo, 105-8717, Japan
Телефон (факс): +81-3-3504-7111
Web-сайт:
E-mail:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ИНТЕРЛАБ» (ООО «ИНТЕРЛАБ»)
ИНН 7743082052
Адрес:143441,Московскаяобласть,Красногорскийрайон,дер.Гаврилково,
ЭЖК Эдем, квартал V, д.12
Юридический адрес: 125212, г. Москва, ул. Адмирала Макарова, д. 21, кв. 33
Телефон (факс): +7 (495) 788-09-83/+7 (495) 755-77-61
Web-сайт:
E-mail: interlab@ interlab.ru
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений»
Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский р-н, р.п. Менделеево
Юридическийадрес:141570,Московскаяобласть,Солнечногорскийр-н,
рабочий поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ
Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИФТРИ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа №30002-13 от 11.05.2018 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
