Приложение к свидетельству № 74723
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro,
Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL
Назначение средства измерений
Микроскопы электронные растровые настольные модификаций Phenom Pure, Phenom
Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL (далее – микроскопы) предназначены для изме-
рений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количествен-
ного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ус-
коренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или об-
ратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компь-
ютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране
к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную
измерительную систему и выпускается в 5 различных модификациях, которые различаются ме-
жду собой в основном значениями ускоряющего напряжения, пространственного разрешения и
погрешностью измерений линейных размеров.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного ваку-
умного насоса, источника питания, монитора. Модуль получения изображений включает элек-
тронно-оптическую систему (колонну), камеру образцов, разделенную на два отсека, в первом
из которых имеется возможность с помощью телевизионной камеры выбирать по оптическому
изображению участок для исследования, затем образец с сохранением ориентации может быть
перемещен в отсек для наблюдения электронно- микроскопических изображений. Камера об-
разцов оборудована столиком с моторизованным механизмом перемещения объектов по осям
X и Y и ручным приводом по оси Z. В электронно-оптическом отсеке камеры образцов внеш-
ним насосом обеспечивается остаточное давление от 1 Па до 60 Па, которое программно уста-
навливается оператором в зависимости от желаемого режима работы микроскопа (режим вто-
ричной эмиссии или обратно рассеянных электронов). Режим низкого вакуума в камере образ-
цов (при давлении более 10 Па) позволяет проводить исследования непроводящих объектов без
предварительного их запыления.
Микроскопимеетчетырехсегментныйполупроводниковыйдетекторобратно-
рассеянных электронов и опционально устанавливаемый детектор вторичных электронов, обес-
печивающий получение изображений в режиме SE. Интегрированный энергодисперсионный
рентгеновский спектрометр (штатно устанавливается на модификации Phenom ProX и опцио-
нально - на модификации Phenom Pure, Phenom Pharos, Phenom XL) выполнен на базе кремние-
вого дрейфового детектора SDD с активной площадью 25 мм
2
, охлаждаемый теромоэлектриче-
ски. Вакуумная система микроскопа включает встроенный в модуль получения изображений
турбомолекулярный насос, обеспечивающий высокий вакуум в области электронной пушки с
катодом из гексаборида церия и дополнительно ионный насос для обеспечения сверхвысокого
вакуума для электронной пушки с катодом Шоттки с полевой эмиссией (модификация Phenom
Pharos). Камера образцов и колонна разделены диафрагмой, обеспечивающей необходимый
перепад остаточных давлений.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Внешний вид микроскопа и
место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использова-
нием специализированного программного обеспечения (ПО). Программное обеспечение (ПО)
«Phenom UI» является специализированным ПО микроскопа.
ПО «Phenom UI» предназначено для управления микроскопом, составления измеритель-
ных программ и обработки результатов измерений. ПО «Phenom UI» не может быть использо-
вано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО:
Цифровой идентификатор ПО
Значение
Phenom UI
4.X.X и выше
-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиPhenom
Pure
Модификация прибора
PhenomPhenomPhenomPhenom
XLPharosProProX
25142,5
8 (режим SE)
10 (режим BSE)
Пространственное разрешение,
нм, не более
Диапазон измерений линейных
размеров, мкм
от 1 до 1000
Пределы допускаемой относи-
тельной погрешности измерений±3±3±1,5±2±2
линейных размеров, %
Энергетическое разрешение энер-
годисперсионного спектрометра132*132*132*-132
на линии Kα марганца,эВ, не более
* - опционально
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа
Лист № 3
Всего листов 4
от +18 до +22
от 110 до 240
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиPhenom
Pure
Модификация прибора
PhenomPhenomPhenomPhenom
XL Pharos Pro ProX
Ускоряющее напряжение, кВ
5, 10, 15
Источник электронов
5, 105, 10, 15
20
Катод Катод
CeB
6
CeB
6
5, 10, 15
20*
Катод
CeB
6
5, 10, 15
20*
Катод
CeB
6
-
Диапазон определяемых элемен-
тов
Масса, включая все комплектую-
щие, кг, не более
От В до От В до
Am* Am*
66 91
Полевой
катод
Шоттки
От В до
Am*
69
66
От В до
Am
66
316х587х625
145х220х213
156х300х74
375х203х395
80
Габаритные размеры основных
составных частей (ДxШхВ), мм,
не более:
- модуль получения изображений
- вакуумный насос
- источник питания
-монитор
Условия эксплуатации:
- температура окружающей сре-
ды, ºС
-относительная влажность возду-
ха, %, не более
Напряжение питания от однофаз-
ной сети переменного тока часто-
той 50/60 Гц, В
Потребляемая мощность, Вт, не
более
300
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный
лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплектность представлена в таблице 4
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Обозначение
Количество
Микроскоп электронный рас-
тровый настольный
Phenom Pure (Phenom Pro, Phenom
ProX, Phenom Pharos, Phenom XL)
1 шт.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Методика поверки-1 экз.
* - опционально
Лист № 4
Всего листов 4
Поверка
осуществляется по документу МП 75820-19 «Микроскопы электронные растровые настольные
Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL. Методика поверки», ут-
вержденному АО «НИЦПВ» 18 марта 2019 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06);
- мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм кл. т. 3 по
ГОСТ 9038-80 (Госреестр № 38376-08).
- стандартный образец состава марганца металлического типа Мн95 (Ф5) ГСО 1095-90П
или марганец марки Мн998 или Мн 997 по ГОСТ 6008-90.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель микроскопа в виде наклейки, как показано на
рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Изготовитель
Фирма «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
Адрес: Zwaanstraat 31G/H, Building TR5651 CA- Eindhoven, The Netherlands.
Тел./факс: +31 (0)40 259 73 60
E-mail:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Мелитэк» (ООО «Мелитэк»)
Адрес: 117342, Москва, ул. Обручева, д. 34/63, строение 2
Тел./факс: +7 (495) 781-07-85
E-mail:
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверх-
ности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./факс: +7 (495) 935-97-77
E-mail:
Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № RA.RU.311409 от 08.02.2017 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
