Untitled document
Приложение к свидетельству № 74157
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Дифрактометр рентгеновский SmartLab
Назначение средства измерений
Дифрактометр рентгеновский SmartLab (далее – дифрактометр) предназначен для
измерений параметров кристаллической решетки, качественного и количественного фазового
состава кристаллических и поликристаллических тонких пленок, дисперсных систем и структур
на их основе.
Описание средства измерений
Принцип действия дифрактометра основан на дифракции рентгеновских лучей от
атомных плоскостей кристаллической решетки исследуемого вещества в соответствии с
законом Вульфа-Брегга.
Дифрактометр представляет собой многоцелевую автоматизированную стационарную
систему. Конструктивно дифрактометр состоит из основного блока, системы охлаждения
рентгеновкойтрубки,понижающеготрансформатораиуправляющегоперсонального
компьютера.
Основной блок состоит из рентгеновской трубки в защитном кожухе с анодом из меди,
гониометра с предметным столиком, обеспечивающим трехмерное перемещение и вращение
образцапо азимутальномуи полярномууглам,высоковольтногоисточникапитания
рентгеновской трубки, блока регистрации рентгеновского излучения, дифрагированного от
образца, блока электроники, системы управления прибором и блока обработки данных.
В дифрактометре реализовано собранное в одном узле запатентованное техническое
решение «Cross Beam Optics», которое позволяет одновременное использование двух схем
фокусировки: расходящегося (по Брэггу-Брентано) и параллельного пучка. Переключение на
нужную геометрию осуществляется поворотом оптического модуля без перенастройки
оптических компонентов. Установка и юстировка различных видов оптических систем
высокого разрешения полностью автоматизированы, в том числе в автоматическом режиме
осуществляется юстировка по высоте исследуемого образца.
Фокусировка зондирующего квазипараллельного пучка осуществляется на основе щелей
Соллера,амонохроматизация–припомощиGe(220) кристаллов-
монохроматоров с двукратными четырехкратным отражением. Дляфокусировки
дифрагированного пучкаиспользуется многослойное зеркало Гёбеля, регистрация
осуществляется быстросчетным сцинтилляционным детектором.
Специализированное программное обеспечение дифрактометра «SmartLab Guidance»
позволяет проводить качественный и количественный фазовый анализ, в том числе
в тонкопленочных структурах и дисперсных системах, определять межплоскостные расстояния
в кристаллах и кристаллических пленках, микро- и макронапряжения в тонкопленочных
структурах.
Пломбирование дифрактометра не предусмотрено. Общий вид дифрактометра и место
нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Управление дифрактометром осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с
использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «SmartLab Guidance».
ПО «SmartLab Guidance» предназначено для управления прибором, составления
измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SmartLab Guidance» не
может быть использовано отдельно от прибора.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) ПО
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Значение
SmartLab Guidance
2.1.0.0
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого
кода) -
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО -
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 – Общий вид дифрактометра рентгеновского SmartLab
Лист № 3
Всего листов 4
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений углов дифракции 2θ, градус
Пределабсолютнойпогрешностиизмерений
кристаллической решетки в диапазоне от 0,3 до 1,5 нм, нм
Значение
от +20 до +160
параметров
0,001
Значение
от -3 до +162
0,0001
3
от 20 до 60
от 2 до 60
750
240
50
1200×1230×1930
900×600×1250
350×460×480
от +18 до +22
70
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон сканирования по углу 2θ, градус
Минимальный угловой шаг сканирования, градус
Максимальная мощность генератора рентгеновского излучения, кВт
Напряжение на рентгеновской трубке, кВ
Ток рентгеновской трубки, мА
Масса, кг, не более:
- основной блок
- система охлаждения рентгеновской трубки
- понижающий трансформатор
Габаритные размеры основных составных частей (Д×Ш×В), мм, не
более:
- основной блок
- система охлаждения
- понижающий трансформатор
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
-относительная влажность воздуха, %, не более
Напряжение питания от трехфазной сети переменного тока частотой
50/60 Гц, В
Потребляемая мощность, кВт, не более
380±38
3
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульный лист
эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Дифрактометр рентгеновский
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Обозначение
SmartLab
--
Количество
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 75287-19 «Дифрактометр рентгеновский SmartLab. Методика
поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 11 декабря 2018 г.
Основные средства поверки:
- стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид
алюминия) ГСО 10475-2014.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемого дифрактометра с требуемой точностью.
Лист № 4
Всего листов 4
Знак поверки наносится на лицевую панель прибора в виде наклейки, как показано на
рисунке 1 и на свидетельстве о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к дифрактометру
рентгеновскому SmartLab
Техническая документация фирмы-изготовителя
Изготовитель
Фирма Rigaku Corporation, Япония
Адрес: 3-9-12, Matsubara-cho, Akishima-shi, Tokyo 196-8666, Japan
Тел./факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795
E-mail:
Заявитель
Обществосограниченнойответственностью «ФОТИС» (ООО «ФОТИС»)
Адрес: 248033, г. Калуга, ул. Генерала Попова, д. 22, кв. 29
Тел./факс: +7 (910) 542-95-25
E-mail:
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств
поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./факс: +7 (495) 935-97-77
E-mail:
Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа регистрационный номер № RA.RU.311409 от 8.02.2017 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.