Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS, ГРСИ 74509-19
Номер госреестра:
74509-19
Наименование СИ:
Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур
Обозначение типа:
V93000 SOC Series System E8000SYS
Производитель:
Фирма "Advantest Europe GmbH", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ MY04603082
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 73353
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 9
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур
V93000 SOC Series System E8000SYS
Назначение средства измерений
Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000
SOC Series System E8000SYS (далее - установка) предназначена: для воспроизведения и
измерений напряжения и силы постоянного тока; частоты следования прямоугольных
импульсов при функциональном и параметрическом контроле параметров полупроводниковых
структур.
Описание средства измерений
Принцип действия установки при функциональном и параметрическом контроле
основан на подаче входных электрических сигналов с программируемыми параметрами на
входы объекта контроля (ОК) и сравнении выходных электрических сигналов с ожидаемым
(эталонным) набором сигналов.
Конструктивно установка состоит из: измерительного блока; манипулятора; устройства
охлаждения; калибровочного робота; рабочей станции (управляющей ПЭВМ), состоящей из
монитора и процессорного блока.
В состав измерительного блока, выполненного по модульному принципу, входят:
- универсальные цифровые измерительные модули PS1600. В состав модулей входят:
компараторы; цифровая активная нагрузка; память тестовой последовательности функционального
контроля; память ошибок; устройство управления генерированием тестовой последовательности;
программируемый источник-измерительстатических параметров (PPMU);прецизионные
программируемые источники-измерители напряжения и силы тока (HPPMU); АЦП с большим
входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения;
- модули источников питания объекта контроля DPS64-HC.
При проведении функционального контроля на вход тестируемой полупроводниковой
структуры от установки подаётся набор сигналов, при этом набор выходных сигналов
тестируемой полупроводниковой структуры сравнивается с ожидаемым (эталонным) набором
сигналов.Формированиевходногонаборасигналовполупроводниковыхструктур
производитьсягенератором тестовой последовательности. Выходнойнаборсигналов
полупроводниковых структур преобразуется в цифровой код.
Для проведения параметрического контроля используются измерители статических
параметров, в том числе высокоточные, которые работают в режиме воспроизведения
напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения
напряжения.
Для задания специальных режимов измерения на выходе объекта контроля применяется
активная электронная нагрузка. Активная электронная нагрузка используется как эквивалент
нагрузки цифровых выходов тестируемой микросхемы и представляет собой источник
постоянного тока, для которого можно задать силу тока и его направление. Сила тока активной
электронной нагрузки задается напрямую, а направление тока определяется величиной
напряжения переключения. Если напряжение на выходе тестируемой микросхемы выше
напряжения переключения, то ток втекает в активную электронную нагрузку, если ниже -
вытекает из активной электронной нагрузки.
Питание объектов контроля осуществляется с помощью измерительных источников
питания.
Для проведения калибровочных работ установки применяется калибровочный робот.
Общий вид установки с указанием места нанесения знака утверждения типа, место
пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунке 1.
Общий вид калибровочного робота представлен на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 9
Рисунок 1 - Общий вид установки
Рисунок 2 - Общий вид калибровочного робота E8006В
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) предназначено для управления работой установки.
ПО работает под управлением операционной системы не ниже «RedHatEnterpriseLinux
5.8»
Уровень защиты ПО «низкий» в соответствии с Р50.2.077-2014.
Измерительный
блок
Рабочая
станция
Устройство
охлаждения
Манипулятор
Место нанесения
знака утверждения
типа
Место пломбировки
Место пломбировки
Место пломбировки
Лист № 3
Всего листов 9
Значение
SmarTest
не ниже 7.4.3.3
Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма
исполняемого кода)
-
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 – Метрологические характеристики установки при функциональном контроле
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного
тока, Bот -1,5 до +13,4
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
(измерений) напряжения постоянного тока в поддиапазонах, мВ:
от -1,5 до +6,5 В включ.±5
св. +6,5 до +13,4 В ±15
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешностиизмерений
напряжения постоянного тока в режиме компараторов, мВ±(0,005·U+5+I·R)*
Диапазон установки частоты следования циклов, МГц ** от 0,032 до 400
Пределы допускаемой относительной погрешности установки
частоты следования циклов, %±0,0015
Цифровая активная нагрузка
Диапазон силы втекающего и вытекающего тока цифровой
активной нагрузки, мАот 0 до 25
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки силы
тока цифровой активной нагрузки, мкА±(0,01·I
н
+75)***
Диапазон напряжения переключения цифровой активной нагрузки,
Вот -1 до +5,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
напряжения переключения цифровой активной нагрузки, мВ±100
_
_
__
_
__
_
__
_
*U - измеряемое напряжение, мВ; I – сила тока в цепи, мА; R=0,5 Ом;
**Цикл может содержать 1, 2, 3 или 4 элементарные проверки
*** I
н
– установленная сила тока цифровой нагрузки, мкА
Лист № 4
Всего листов 9
Таблица 3 – Метрологические характеристики установки при параметрическом контроле
Наименование характеристикиЗначение
Измеритель статических параметров (PPMU)
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного
тока, Вот -2 до +6,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
напряжения постоянного тока, мВ±(3+I
а
·R)*
Пределыдопускаемойабсолютной погрешности измерений
напряжения постоянного тока в поддиапазонах, мВ:
от -2,0 до 0 В включ. и св. +3,3 до +6,5 В ±4
св. 0 до +3,3 В включ. ±2
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мА
от -40 до +40
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока в поддиапазонах, мкА:
от -0,002 до +0,002 мA±(0,005·I
1
+0,04)
от -0,01 до +0,01 мA±(0,005·I
1
+0,1)
от -0,1 до +0,1 мA±(0,005·I
1
+0,5)
от -1 до +1 мA±(0,005·I
1
+5)
от -40 до +40 мA±(0,002·I
1
+50)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока в поддиапазонах, мкА:
от -0,002 до +0,002 мA±(0,005·I
1
+0,01)
от -0,01 до +0,01 мA±(0,005·I
1
+0,05)
от - 0,1 до +0,1 мA±(0,005·I
1
+0,2)
от -1 до +1 мA±(0,005·I
1
+1,25)
от -40 до +40 мA±(0,005·I
1
+50)
Высокоточный измеритель статических параметров (HPPMU)
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного
тока измерителем, Вот -5 до +7,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
(измерений) напряжения постоянного тока, мВ±(5+I
а
•R)
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мА
от -200 до +200
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
(измерений) силы постоянного тока в поддиапазонах, мкА:
от -0,005 до +0,005 мA±(0,001·I
1
+0,01)
от -0,2 до +0,2 мA±(0,001·I
1
+0,2)
от -5 до +5 мA±(0,001·I
1
+10)
от -200 до +200 мA±(0,001·I
1
+200)
Источники питания DPS64-HC
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного
тока, Вот -2,5 до +7
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
напряжения постоянного тока, мВ±3
Пределыдопускаемойабсолютной погрешности измерений
напряжения постоянного тока, мВ±2
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мА от +0,0025 до +1000
Лист № 5
Всего листов 9
±(0,002·I
2
+24)
Значение
±(0,002·I
2
+1,2·10
-4
)
±(0,002·I
2
+7,5·10
-4
)
±(0,002·I
2
+7,5·10
-3
)
±(0,002·I
2
+0,075)
±(0,002·I
2
+0.6 )
±(0,002·I
2
+3 )
от +400 до +2000
±(0,002·I
2
+6)
от +600 до +3000
±(0,002·I
2
+9)
от +800 до +4000
±(0,002·I
2
+12 мА)
от +1000 до +5000
±(0,002·I
2
+15)
от +1200 до +6000
±(0,002·I
2
+18)
от +1400 до +7000
±(0,002·I
2
+21)
от 1600 до +8000
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристики
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока (высокоточный режим воспроизведения) в
поддиапазонах, мА:
от +0,0025 до +0,025 мА включ.
св. +0,025 до +0,25 мА включ.
св. +0,25 до +2,5 мА включ.
св. +2,5 до +25 мА включ.
св. +2,5 до +200 мА включ.
св. +200 до +1000 мА
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 2-х каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 2-х
каналов источника питания, мА,
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 3-х каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 3-х
каналов источника питания, мА
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 4-х каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 4-х
каналов источника питания, мА,
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 5-ти каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 5-
ти каналов источника питания, мА
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 6-ти каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 6-
ти каналов источника питания, мА,
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 7-ми каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 7-
ми каналов источника питания, мА
Диапазонвоспроизведениясилыпостоянноготокапри
объединении 8-ми каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы постоянного тока источниками питания при объединении 8-
ми каналов источника питания, мА
Лист № 6
Всего листов 9
Значение
от -1000 до +1000
±(0,002·I
2
+5·10
-5
)
±(0,001·I
2
+2,5·10
-4
)
±(0,001·I
2
+2,5·10
-3
)
±(0,001·I
2
+0,025)
±(0,001·I
2
+0,25)
±(0,001·I
2
+1)
от -2000 до +2000
±(0,001·I
2
+2)
от -3000 до +3000
±(0,001·I
2
+3)
от -4000 до +4000
±(0,001·I
2
+4)
от -5000 до +5000
±(0,001·I
2
+5)
от -6000 до +6000
±(0,001·I
2
+6)
от -7000 до +7000
±(0,001·I
2
+7)
от -8000 до +8000
±(0,001·I
2
+8)
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристики
Диапазон измерений силы постоянного тока, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока в поддиапазонах, мА:
от -0,025 до +0,025 мА
от -0,250 до +0,250 мА
от -2,5 до +2,5 мА
от -25 до +25 мА
от -200 до +200 мА
от -1000 до +1000 мА
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 2-х
каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединении 2-х
каналов источника питания, мА,
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 3-х
каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединенных 3-х
каналов источника питания, мА,
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 4-х
каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединении 4-х
каналов источника питания, мА
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении5-
ти каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединении 5-ти
каналов источника питания, мА,
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении6-
ти каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединении 6-ти
каналов источника питания, мА,
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении7-
ми каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединении 7-ми
каналов источника питания, мА,
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении8-
ми каналов источника питания, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы
постоянного тока источниками питания при объединении 8-ми
каналов источника питания, мА
_
_
__
_
__
_
__
_
_
_
*I
a
– сила тока в цепи, мА; R=0,5 Ом
** I
1
- измеряемая (воспроизводимая) сила тока, мкА
*** I
2
- измеряемая (воспроизводимая) сила тока, мА
Лист № 7
Всего листов 9
Значение
Таблица 4 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха,
о
С
- относительная влажность окружающего воздуха при
температуре 30
о
С, %, не более
от +15 до +30
70
от 198 до 242
от 50 до 60
от 360 до 440
от 50 до 60
Параметры электрического питания:
рабочая станция (ПЭВМ), В
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
измерительный блок и система охлаждения
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Габаритные размеры, мм, не более:
измерительный блок с манипулятором
- высота
- ширина
- длина
устройство охлаждения
- высота
- ширина
- длина
процессорный блок рабочей станции
- высота
- ширина
- длина
1880
1290
2270
950
520
870
450
180
500
570
560
250
монитор рабочей станции
- высота
- ширина
- длина
Масса, кг, не более:
- измерительный блок с манипулятором
- устройство охлаждения
- процессорный блок рабочей станции
- монитор рабочей станции
1118
185
20
11
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель измерительного блока в виде наклейки и на титульные листы
эксплуатационной документации типографским методом.
Лист № 8
Всего листов 9
Комплектность средства измерений
1 шт.
Количество
Таблица 5 - Комплектность установки
Наименование
1Установкапрецизионногоанализа
полупроводниковых структур в составе:
Обозначение
параметровV93000 SOC
Series System
E8000SYS
Е2760FAL
E8006B
1.1 Измерительный блок с манипулятором
1.2 Устройство охлаждения
1.3 Калибровочный робот
1.4 Плата диагностическая соединительная
1.5 Плата пользователя
1.6 Рабочая станция
2 Руководство по эксплуатации
3 Методика поверки
620-18-001
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу 620-18-001 МП «Инструкция. Установка прецизионного анализа
параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS. Методика
поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 18 сентября 2018 г.
Основные средства поверки:
- частотомерэлектронно-счетный53131,регистрационныйномер26211-03в
Федеральном информационном фонде;
- мультиметр 3458А, регистрационный номер 25900-03 в Федеральном информационном
фонде;
- источник питания постоянного тока Agilent 6624A, регистрационный номер 39239-08 в
Федеральном информационном фонде;
- источник питания постоянного тока Agilent 6654A, регистрационный номер 38426-08 в
Федеральном информационном фонде.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемой установки с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска
поверительного клейма.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке
прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series
System E8000SYS
Приказ Росстандарта от 31.07.2018 № 1621 «Об утверждении государственной
поверочной схемы для средств измерений времени и частоты
Приказ Росстандарта от 01.10.2018 № 2091 «Об утверждении государственной
поверочной схемы для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне
от 1·10
-16
до 100 А
ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы
Техническая документация фирмы-изготовителя
Лист № 9
Всего листов 9
Изготовитель
Фирма «Advantest Europe GmbH», Германия
Адрес: Stefan-George-Ring 2, 81929 Munich, Germany
Телефон: +49- 89-993-12-0
Факс: +49-89-993-12-101
Web-сайт:
Заявитель
Федеральное государственное учреждение «Федеральный научный центр Научно-
исследовательскийинститутсистемныхисследованийРоссийскойакадемиинаук»
(ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН)
ИНН 7727086772
Адрес: 117218, г. Москва, Нахимовский просп. 36-1
Телефон (факс): +7 (495) 737-06-06, факс: +7 (495) 737-06-07
Web-сайт:
E-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институтфизико-техническихирадиотехническихизмерений»
(ФГУП «ВНИИФТРИ»)
Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский район, п/о Менделеево
Юридический адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский район, рабочий
поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ
Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИФТРИ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30002-13 от 11.05.2018 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 65544-16 | Система автоматизированная коммерческого учета тепловой энергии и параметров теплоносителя (АСКУТ) в филиале ОАО "Генерирующая компания" Казанская ТЭЦ-1 | Нет данных | Филиал ОАО "Генерирующая компания" Казанская ТЭЦ-1, г.Казань | 3 года | Перейти |
| 41618-09 | Установка для насыщения газов водяными парами | УТА-1 | ЗАО "Термоавтоматика", г.Мытищи | 1 год | Перейти |
| 51797-12 | Система измерений количества и параметров свободного нефтяного газа с ВКС Гунн-Еганского месторождения ОАО "ТНК-Нижневартовск" | Нет данных | Дочернее ЗАО "Обьэнергосбережение", г.Нижневартовск | 2 года | Перейти |
| 43601-10 | Системы для измерения параметров испытаний | 3300 | Фирма "Instron - division of ITW Limited", США | 1 год | Перейти |
| 35765-07 | Установка поверочная уровнемерная | АГТ 244 | ООО "АвтоГазТранс", г.Самара | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений