Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС, ГРСИ 74243-19
Номер госреестра:
74243-19
Наименование СИ:
Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин
Обозначение типа:
Рефлекс КНС
Производитель:
ООО "Рефлекс Лайт", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 057
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 73079
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС
Назначение средства измерений
Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС (далее –
анализатор) предназначен для измерений поверхностной концентрации частиц и иных дефектов
(царапин, рисок, светящихся точек и т.п.) на поверхности полупроводниковых пластин при
контроле их качества.
Описание средства измерений
Принцип работы анализатора основан на измерении интенсивности рассеянного
дефектами на поверхности лазерного излучения. Полупроводниковая пластина освещается
лазерным лучом под углом 30°. Дефекты на поверхности пластины, попадающие в зону
светового пятна лазерного луча, рассеивают его. Рассеянное лазерное излучение фокусируется
и направляется на фотоприемник (фотоэлектронный умножитель), где световой сигнал
преобразуется в электрический сигнал. Величина электрического сигнала пропорциональна
размеру анализируемого дефекта, количество сигналов
-
количеству измеренных дефектов.
Прианализедефектовучитываетсяинтенсивностьрассеяниялазерногоизлучения
непосредственно самой пластиной (матовость), зависящая от качества ее изготовления и
обработки.
Анализатор предназначен для анализа непрозрачных полированных полупроводниковых
пластин изготовленных из арсенида галлия (GaAs), кремния (Si), кремния на сапфире (КНС).
Конструктивно анализатор состоит из измерительного блока и персонального
компьютера. В измерительный блок входят: лазер с длиной волны 405 нм, оптическая система
для формирования и направления падающего лазерного луча, предметный столик с вакуумным
креплением для вертикального размещения анализируемой пластины, привод с шаговым
электродвигателем,обеспечивающийспиральноеперемещениепредметногостолика
относительно неподвижного лазерного луча, оптическая система для сбора рассеянного
лазерного излучения, фотоприемник (ФЭУ), электронный блок для обработки измеренных
данных, а также для хранения и передачи их на компьютер. Управление анализатором и
представление результатов измерений осуществляется на компьютере с помощью автономного
программного обеспечения на основе операционной системы Windows. Результаты измерений
представляются на компьютере в виде таблиц и дифференциальных гистограмм распределения
дефектов по размерам.
Питание анализатора осуществляется от сети переменного тока, связь с компьютером
-
через интерфейс USB.
По способу эксплуатации анализатор относится к переносному лабораторному
оборудованию.
Внешний вид анализатора приведен на рисунке 1, схема его пломбировки от
несанкционированного доступа показана на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2
-
Схема пломбировки сканирующего лазерного анализатора поверхности
пластин Рефлекс КНС от несанкционированного доступа
Программное обеспечение
Анализатор имеет автономное программное обеспечение «Reflex» (ПО), разработанное
ООО «РЕФЛЕКС ЛАЙТ» на основе операционной системы Windows. Основные функции ПО:
управление работой анализатора, обработка измерительных сигналов, представление и
хранение результатов измерений.
ПО устанавливается на управляющий компьютер анализатора при первичном введении
его в эксплуатацию.
Рисунок 1
-
Внешний вид сканирующего лазерного анализатора поверхности
пластин Рефлекс КНС
Измерительный блок
Крепление
пластины
Место
пломбировки
Лист № 3
Всего листов 5
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)
Значение
Reflex
2.3
FABBA160
Алгоритм вычисления идентификатора ПО
CRC32
Уровень защиты ПО «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 0,12 до 3,2
от 3 до 100000
±10
Пределыдопускаемойприведенной
1)
погрешностиповерхностной
концентрации частиц и дефектов в диапазоне св. 15 до 900 дм
-2
включ., %
±25
±30
Таблица 2
-
Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон показаний размеров обнаруживаемых частиц и дефектов, мкм
Диапазон измерений поверхностной концентрации частиц и дефектов, дм
-2
Пределыдопускаемойприведенной
1)
погрешностиповерхностной
концентрации частиц и дефектов в диапазоне от 3 до 15 дм
-2
включ., %
Пределыдопускаемойотносительнойпогрешностиповерхностной
концентрации частиц и дефектов в диапазоне св. 900 до 100000
дм
-2
, %
__________
1)
погрешность нормирована как приведенная к верхней границы поддиапазона
Значение
200
280
300
Масса измерительного блока анализатора, кг, не более
7
Рабочие условия применения:
‒ температура окружающего воздуха, °С
‒ относительная влажность окружающего воздуха %;
‒ атмосферное давление, кПа;
‒ класс чистоты окружающего воздуха по ГОСТ ИСО 14644-1-2002
от +18 до +22
от 45 до 80
от 84 до 106,7
не хуже 5 ИСО
Таблица 3
-
Основные технические характеристики
Наименование характеристики
от 198 до 242
100
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50
-
60 Гц, В
Потребляемая мощность измерительного блока, В∙А, не более
Габаритные размеры измерительного блока анализатора, мм, не более:
‒ длина;
‒ ширина;
‒ высота
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом компьютерной графики.
Лист № 4
Всего листов 5
Комплектность средства измерений
Количество
1 шт.
Таблица 4
-
Комплектность анализатора
НаименованиеОбозначение
1 шт.
1 Сканирующий лазерный анализатор поверхности
пластин Рефлекс КНС в составе:
-
измерительный блок
-
персональный компьютер
1 шт.
2 Комплект сетевых кабелей
3 Соединительный кабель USB
4 Руководство по эксплуатации
5 Паспорт
6 Методика поверки
1 шт.
1 шт.
РЕФ.000000.002РЭ
1 экз.
РЕФ.000000.002ПС
1 экз.
МП-640-037-17
1 экз.
Поверка
осуществляетсяподокументуМП-640-037-17«Инструкция.Сканирующийлазерный
анализатор поверхностипластин РефлексКНС.Методика поверки»,утвержденному
ФГУП «ВНИИФТРИ» 27.07.2018 г.
Основные средства поверки:
‒ Государственный первичный эталон единиц дисперсных параметров аэрозолей,
взвесейипорошкообразныхматериаловГЭТ163-2010вкомплектесобразцами
монодисперсных латексов по поверочной схеме ГОСТ 8-606.2012.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых анализаторов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке анализатора в виде наклейки или
оттиска поверительного клейма.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к сканирующему
лазерному анализатору поверхности пластин Рефлекс КНС
ГОСТ 8.606-2012 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
дисперсных параметров аэрозолей, взвесей и порошковых материалов
Техническая документация фирмы-изготовителя
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Рефлекс Лайт» (ООО «Рефлекс Лайт»)
ИНН 7735049020
Адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, корп. 1205, н.п. 1
Юридический адрес: 124482, г. Москва, Зеленоград, корпус 530, квартира. 126
Телефон: +7 (495) 536-02-60
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 5 Trial
листов 5
Заявитель
Акционерноеобщество«Научно-исследовательскийинститутматериаловедения
им. А. Ю. Малинина» (АО «НИИ МВ»)
ИНН 7735001490
Адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, Георгиевский проспект, д. 5, стр. 2
Телефон: +7 (499) 731-14-76
Web-сайт:
E-mail:
научно-
поселок
средств
Испытательный trial
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений»
Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский район, рабочий
Менделеево, промзона ВНИИФТРИ
Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИФТРИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30002-13 от 11.05.2018 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 44386-16 | Измерители температуры поверхности цифровые переносные | ИТ 5-п/п-ЖД | ООО "НПК "РЭЛСИБ", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
| 82199-21 | Анализатор размеров частиц | Camsizer Х2 | Retsch Technology GmbH, Германия | 1 год | Перейти |
| 10289-85 | Образцы шероховатости (сравнения) поверхности чугунных и стальных отливок | Нет данных | Опытный завод технологической оснастки, Латвия, г.Рига | 5 лет | Перейти |
| 8477-82 | Комплекс измерительно-вычислительный (анализатор) | Ф37 | ПО "Краснодарский ЗИП", г.Краснодар | Нет данных | Перейти |
| 34683-07 | Анализатор | Thermo-FID FE | Фирма "Mess-Analysentechnik GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений