Untitled document
Приложение к свидетельству № 71100
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Измерители параметров полупроводниковых приборов ИППП-1
Назначение средства измерений
Измерители параметров полупроводниковых приборов ИППП-1 (далее – измерители)
предназначеныдля измерения иавтоматизации контроляэлектрическихпараметров
полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей и отображения на
экране внешнего персонального компьютера (ПК) вольтамперных характеристик (ВАХ)
исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров
исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.
Описание средства измерений
Принцип действия измерителей основан на измерении значений силы тока (напряжения)
на электродах тестируемого полупроводникового прибора (ПП) при формировании на них
последовательностизначенийнапряженияилисилытока.Формируемаявеличина
рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина – в качестве функции
измеренной ВАХ в координатах напряжение-ток или ток-напряжение. ВАХ служит основой для
определения или расчета интересующих параметров тестируемого ПП. Графическое
отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках
между измеренными точками. Значения аргумента и (или) функции могут быть заданы в
линейном или логарифмическом масштабе.
Измерители выполнены в корпусе настольного варианта с выносным контактирующим
устройством и модулем присоединительным для подключения к объекту тестирования.
Выносное контактирующее устройство имеет свой собственный металлический корпус с
крышкой и содержит триаксиальные разъемы и щупы-зажимы для подключения объектов
исследования (дискретных компонентов) к прибору. Модуль присоединительный предназначен
для подключения измерителей к зондовой установке (при исследовании элементов на
полупроводниковых пластинах) и имеет специальные отверстия с резьбой, позволяющие
обеспечить их надежное крепление к корпусу зондовой установки. В корпусе измерителей
предусмотрены отверстия для вентиляции, а также ручки для переноса. В состав измерителей
входят: источники-измерители (от одного до четырех), контроллер, блок питания. Управление
измерителями осуществляется от внешнего компьютера (ПК) с помощью программного
обеспечения (ПО) «LIDER».
Измерители имеют базовую модель ИППП-1 и модификации ИППП-1/1 - ИППП-1/6,
отличающихся количеством (от одного до четырех) источников-измерителей (ИИ) (каналов),
которые могут быть однопроводные (ИИО) или двухпроводные (ИИД). Модули ИИО или ИИД
функционально связаны с объектом контроля и выполняют функции источника тока
(напряжения) и измерения напряжения или силы тока.
Отличия модификаций:
ИППП-1 –
ИИО 1 шт.;
ИППП-1/1 –
ИИО 2 шт.;
ИППП-1/2 –
ИИО 3 шт.;
ИППП-1/3 –
ИИО 4 шт.;
ИППП-1/4 –
ИИД 2 шт.;
ИППП-1/5 –
ИИД 3 шт.;
ИППП-1/6 –
ИИД 4 шт.;
Для предотвращения от несанкционированного доступа выполняется опломбирование
измерителей. Опломбирование измерителей выполняется на лицевой и задней панелях
(в углублениях для винтов).
Внешнийвидизмерителейприведенна рисунке 1.Схема пломбировкиот
несанкционированного доступа приведена на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 6
а) вид измерителей спереди
б) вид измерителей сзади
Рисунок 2 – Схема пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 1 – Внешний вид измерителей и место нанесения знака утверждения типа (А)
А
Места нанесения оттиска клейма
Место нанесения оттиска клейма
Лист № 3
Всего листов 6
Программное обеспечение
Программное обеспечение измерителей устанавливается на внешний ПК и служит для
дистанционного управления работой измерителей, управления режимами работы, задания
параметров тестирования, выбора встроенных измерительных и вспомогательных функций.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений – «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 – Характеристики программного обеспечения (ПО)
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер ПО)
Значение
LIDER
не ниже 2.0
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблицах 2 - 8.
Максимальное
напряжение на
нагрузке, U
макс
120 В при
I
ф
≤ 10 мА
от
±
1 нА до
±
200 мА
±
(0,5 % от I
ф
+0,04 % от I
к
+
+0,5 % от I
к
·(U
и
/U
к
))
формирования
разряда
Таблица 2 – Метрологические и технические характеристики источника тока
Диапазон
Цена единицы Пределы допускаемой
силы постоянного
I
к
младшегоосновной абсолютной
тока
погрешности
±
20 нА1 пА
±
200 нА10 пА
±
(2 % от I
ф
+1 % от I
к
+
+5 % от Iк·(U
и
/U
к
))
±
(2 % от I
ф
+0,5 % от I
к
+
+2 % от I
к
·(U
и
/Uк))
±
2 мкА0,1 нА
±
(2 % от I
ф
+0,2 % от I
к
+
+1 % от I
к
·(U
и
/U
к
))
±
20 мкА 1 нА
±
200 мкА 10 нА
±
2 мА0,1 мкА
±
20 мА1 мкА
30 В при
±
200 мА10 мкА10 мА < I
ф
≤ 200 мА
Примечание
В таблице 2 и далее по тексту:
- I
ф
(U
ф
) – абсолютное значение формируемой силы тока (напряжения);
- I
к
(U
к
) – абсолютное значение верхнего предела диапазона формирования или измерения силы
тока (напряжения);
- U
и
(I
и
) – абсолютное значение напряжения (силы тока) измеренного на нагрузке.
Лист № 4
Всего листов 6
±
20 нА
0,1 пА
±
200 нА
1 пА
±
2 мкА
10 пА
120 В при
I ≤ 10 мА
Таблица 3 – Метрологические и технические характеристики измерителя тока
Диапазон Цена единицы Пределы допускаемой Максимальное
измерения силы I
к
младшего основной абсолютной напряжение на
постоянного тока разряда погрешности нагрузке, U
макс
±
(2 % от I
и
+1 % от I
к
+
+5 % от Iк·(U
ф
/U
к
))
±
(2 % от I
и
+0,5 % от I
к
+
+2 % от I
к
·(U
ф
/Uк))
±
(2 % от I
и
+0,2 % от I
к
+
от
±
1 нА до
+1 % от I
к
·(U
ф
/U
к
))
и
±
200 мА
±
20 мкА 0,1 нА
±
200 мкА1 нА
±
2 мА10 нА
±
(0,5 % от I
и
+0,04 % от I
к
+
±
20 мА
0,1 мкА
+0,5 % от I
к
·(U
ф
/U
к
))
30 В при
±
200 мА1 мкА10 мА < I
и
≤ 200 мА
формирования
напряжения
Таблица 4 – Метрологические и технические характеристики источника напряжения для
модификаций с ИИО (ИППП-1 - ИППП-1/3)
Диапазон
Цена единицы Пределы допускаемой Максимальная сила
U
к,
В младшего основной абсолютной тока через нагрузку,
постоянного тока
разряда, мВпогрешностиI
макс
±
2
от ±0,1 до
±
30
±120 В
±
120
0,1
1
±
(0,5 % от U
ф
+0,04 % от U
к
+
10
+0,5 % от U
к
·(I
и
/I
макс
))
200 мА при
U
ф
≤ 30 В
10 мА при
30 В < U
ф
≤ 120 В
измерения
напряжения
Таблица 5 – Метрологические и технические характеристики измерителя напряжения для
модификаций с ИИО (ИППП-1 - ИППП-1/3)
Диапазон
Цена единицы Пределы допускаемой Максимальная сила
U
к,
В младшего основной абсолютной тока через нагрузку,
постоянного тока
разряда, мВпогрешностиI
макс
±
2
от ±0,1 до
±
30
±120 В
±
120
0,01
0,1
±
(0,5 % от U
и
+0,04 % от U
к
+
1
+0,5 % от U
к
·(I
ф
/I
макс
))
200 мА при
U
и
≤ 30 В
10 мА при
30 В < U
и
≤ 120 В
формирования
напряжения
Таблица 6 – Метрологические и технические характеристики источника напряжения для
модификаций с ИИД (ИППП-1/4 - ИППП-1/6)
Диапазон
Цена единицы Пределы допускаемой Максимальная сила
U
к,
В младшего основной абсолютной тока через нагрузку,
постоянного
тока
разряда, мВпогрешностиI
макс
±
2
от ±0,1 до
±
30
±120 В
±
120
0,1
1
±
(0,5 % от U
ф
+0,04 % от U
к
)
10
200 мА при
U
ф
≤ 30 В
10 мА при
30 В < U
ф
≤ 120 В
Лист № 5
Всего листов 6
измерения
напряжения
Таблица 7 – Метрологические и технические характеристики измерителя напряжения для
модификаций с ИИД (ИППП-1/4 - ИППП-1/6)
Диапазон
Цена единицы Пределы допускаемой Максимальная сила
U
к,
В младшего основной абсолютной тока через нагрузку,
постоянного
тока
разряда, мВпогрешностиI
макс
±
2
от ±0,1 до
±
30
±120 В
±
120
0,01
0,1
±
(0,5 % от U
и
+0,04 % от U
к
)
1
200 мА при
U
и
≤ 30 В
10 мА при
30 В < U
и
≤ 120 В
Таблица 8 – Масса, габаритные размеры, условия применения, дополнительная погрешность
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Габаритные размеры (ширина
´
высота
´
глубина), не более, мм462
´
274
´
545
Масса, не более, кг 23
Напряжение питающей сети, Вот 217 до 253
Частота питающей сети, Гц от 49 до 51
Потребляемая мощность, В∙А, не более 120
Нормальные условия применения:
– температура окружающего воздуха, °Сот +15 до +25
– относительная влажность воздуха, % от 30 до 80
– атмосферное давление, кПа от 84 до 106
Рабочие условия применения:
– температура окружающего воздуха, °Сот +5 до +40
– относительная влажность воздуха при температуре окружающего
воздуха 25 °С, %, не более80
Пределы допускаемой дополнительной абсолютной погрешностине превышают пределов
формирования и измерения силы постоянного тока и напряжения соответствующей
на каждые 10 °С в интервале рабочих температуросновной погрешности
Электрическая изоляция цепей между закороченными питающими
штырями вилки сетевого шнура и контактом защитного7
заземления, МОм, не менее
Средняя наработка на отказ, ч, не менее8000
Знак утверждения типа
наносится методом наклейки на лицевую панель измерителей и типографским способом на
титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность средства измерений
приведена в таблице 5
1
Количество, шт.
Примечание
Модификация по требованию
заказчика
На CD диске
Таблица 5 – Комплектность
Наименование
Измеритель параметров
полупроводниковых приборов
Комплект ЗИП эксплуатационный
Программное обеспечение «LIDER»
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
1
1
1 экз.
1 экз.
Лист № 6 Trial
листов 6
Поверка
осуществляется по документу ПР-18-2018МП «Измерители параметров полупроводниковых
приборов ИППП-1. Методика поверки», утвержденному АО «ПриСТ» 24 мая 2018 года.
Основные средства поверки:
– источник-измеритель прецизионный серии B2900, модификация B2901A (Госреестр №
48623-11, 3 разряд по ГОСТ 8.027-2001, 1 разряд по ГОСТР 8.022-91);
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки, в виде оттиска поверительного клейма, наносится на свидетельство о
поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные требования, устанавливающие требования к измерителям параметров
полупроводниковых приборов ИППП-1
ГОСТ 22261-94 «Средства измерения электрических и магнитных величин. Общие
технические условия»
ГОСТ 8.027-2001 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы»
ГОСТ 8.022-91 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная
поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от
10
-16
до 30 А»
ГОСТ 26104-89 «Средства измерений электронные. Технические требования в части
безопасности. Методы испытаний»
ТУ РБ 100039847.053-2004 «Измерители параметров полупроводниковых приборов
ИППП-1. Технические условия»
Изготовитель
Открытое акционерное общество «МНИПИ» (ОАО «МНИПИ»)
Адрес: Республика Беларусь, 220113, г. Минск, ул. Я.Коласа, д. 73
Телефон/факс: +375-17-262-83-61 / +375-17-262-57-50
Web-сайт:
E-mail: mnipi@ mnipi.by
Испытательный центр
Акционерное общество «Приборы, Сервис, Торговля» (АО «ПриСТ»)
Юридический адрес: 115419, г. Москва, 2-й Донской проезд, д. 10, стр. 4, комната 31
Тел. +7(495) 777-55-91, факс +7(495) 640-30-23
E-mail:
Аттестат аккредитации АО «ПриСТ» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № RA.RU.312058 от 02.02.2017 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.