Приложение к свидетельству № 70919
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем
модульные M9195B
измерителем
и измерения
Назначение средства измерений
Генераторы-анализаторыцифровыхсигналовспараметрическим
модульные M9195B (далее – модули) предназначены для генерации, анализа
параметров сигналов в системах тестирования полупроводниковых приборов.
Описание средства измерений
Модули представляют собой 16-ти канальные устройства, в каждом из каналов которых
имеются:
- драйвер напряжения;
- компаратор (логический анализатор) напряжения;
- активная нагрузка;
- параметрический измеритель напряжения и силы тока (PPMU).
Формированиеиспытательныхсигналовпроизводитсягенераторомтестовой
последовательности в соответствии с заданной конфигурацией, параметрами статического и
динамического режимов (частота, амплитуда, положения фронта и спада импульсов).
Драйвер предназначен для подачи напряжения (уровни «высокий», «низкий») на
исследуемый объект. На 4-х каналах имеется формирователь повышенного напряжения.
Компаратор осуществляет логический анализ входных сигналов от объекта по
задаваемым порогам срабатывания напряжения («высокий», «низкий»).
Активная нагрузка позволяет при установленном значении напряжения поддерживать на
заданном уровне силу тока на исследуемом объекте.
Параметрический измеритель напряжения и силы тока (PPMU) предназначен для
измерения вольт-амперных характеристик объекта в режимах источника напряжения и тока, а
также в качестве электронной нагрузки со стабилизацией значений напряжения или силы тока.
Управление модулями осуществляется по шине PXI Express (PXIe).
Конструктивно модули выполнены в виде сборки печатных плат в корпусе, имеющем
лицевую панель с разъемом для присоединения сигнальных кабелей, и заднюю панель с
разъемом дляприсоединения к шине PXI Express. Модули устанавливаются в шасси PXI
Express. На панелях модулей отсутствуют элементы регулировки и подстройки, доступные
пользователю, специальных мер защиты от несанкционированного доступа не требуется.
Общий вид модулей показан на рисунке 1.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (драйвер) служит для управления режимами измерений,
задания параметров и функций представления измерительной информации. Драйвер
устанавливается на внешний контроллер с шиной PXIe в базовом блоке (шасси).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014 (класс риска “B” по WELMEC 7.2).
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование
Номер версии (идентификационный номер)
MDsr
2.1.118.0 и выше
Лист № 2
Всего листов 5
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3.
Значение
2
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
1
Количество независимых каналов 16
в том числе драйверы повышенного напряжения 4
ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ
Длина тестовой последовательности (объем памяти), Мбит
16; 64; 125 (опция по
выбору)
Тактовая частота смены векторов тестовой
последовательности, МГц
Частота тестовой последовательности
125; 250 (опция по выбору)
от 5 мГц до 250 МГц
ДРАЙВЕР (ГЕНЕРАТОР НАПРЯЖЕНИЯ)
Программируемые уровни напряжения: «высокий» (V
IH
), «низкий» (V
IL
)
Диапазон уровней постоянного напряжения, Вот –1,5 до +6,5
Разрешение по напряжению, мкВ152
Выходное сопротивление, Ом50
Минимальный перепад напряжения (V
IH
– V
IL
), В0,1
Диапазон силы тока в нагрузке, мА±75
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 – Общий вид модулей
Лист № 3
Всего листов 5
2
от 0,45 до 1,2
1)
Продолжение таблицы 2
1
Время нарастания/спада импульсов напряжения, нс, не более
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
уровней постоянного напряжения, мВ
±25
ДРАЙВЕР ПОВЫШЕННОГО НАПРЯЖЕНИЯ
2)
Программируемые уровни напряжения: «высокий» (V
IH
), «низкий» (V
IL
)
Диапазон уровней постоянного напряжения, Вот 0 до +13,5
Разрешение по напряжению, мкВ305
Выходное сопротивление, Ом50
Диапазон силы тока в нагрузке, мА±60
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
уровней постоянного напряжения, мВ±40
1)
КОМПАРАТОР (ЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗАТОР) НАПРЯЖЕНИЯ
Программируемые уровни порогов срабатывания: «высокий» (V
OH
), «низкий» (V
OL
)
Диапазон установки порогов срабатывания, Вот –1,5 до +6,5
Разрешение по напряжению, мкВ152
±20
от 0 до 25
762
Пределы допускаемой абсолютной погрешности порогов
срабатывания, мВ
АКТИВНАЯ НАГРУЗКА
Диапазон стабилизации силы тока, мА
Разрешение по силе тока, нА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
стабилизации силы тока, мА
Диапазон стабилизации напряжения, В
Разрешение по напряжению, мкВ
±0,4
1)
от –1,5 до +6,5
152
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
стабилизации напряжения, мВ±25
1)
ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ (PPMU)
Диапазон установки и измерения напряжения, В
Разрешение установки напряжения, мкВ
от –2 до +6,5
152
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
и измерения постоянного напряжения, мВ±10
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
постоянного напряжения, мВ±5
Верхние пределы диапазонов D
I
, разрешение R
I
и пределы допускаемой абсолютной
погрешности ΔI установки и измерения силы постоянного тока PPMU
D
I
R
I
ΔI, мкА, мА
±2 мкА 122 пА
±10 мкА610 пА
±100 мкА6,1 нА0,01· D
I
±1 мА 61 нА
±40 мА2,44 мкА
________________
1) типовое справочное значение
2) конфигурируются 4 из 16 каналов
Лист № 4
Всего листов 5
Значение
130
210
20
482
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Габаритные размеры, мм
высота
глубина
ширина
Масса, г, не более
Рабочие условия применения
температура окружающего воздуха, °C
23 ±5
относительная влажность воздуха, %
Электромагнитная совместимость
от 30 до 70 (без конденсата)
по ГОСТ Р МЭК 61326-1-
2014
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель корпуса модулей в виде наклейки и на титульный лист
руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
представлена в таблице 4.
1 шт.
Кол-во
Таблица 4 – Комплектность модулей
Наименование и обозначение
Генератор-анализатор цифровых сигналов с параметрическим измерителем
модульный M9195B
Опции (объем памяти и тактовой частоты)
Компакт-диск с документацией и программным обеспечением
Руководство по эксплуатации
Методика поверки M9195B/МП-2018
по заказу
1 шт.
1 шт.
1 шт.
Поверка
осуществляется по документу M9195B/МП-2018 «ГСИ. Генераторы-анализаторы цифровых
сигналов с параметрическим измерителеммодульные M9195B.Методика поверки»,
утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 02.07.2018 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр Agilent 3458A регистрационный номер № 25900-03;
- калибратор универсальный Fluke 9100, регистрационный номер 25985-09.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится боковую панель корпуса модулей в виде наклейки (место
нанесения показано на рисунке 1) и/или на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведенывразделахдокумента«Генераторы-анализаторыцифровыхсигналовс
параметрическим измерителем модульные M9195B. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы, устанавливающие требования к генераторам-анализаторам
цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульным M9195B
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный эталон и государственная поверочная схема для
средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10
-16
÷ 30 А
Лист № 5
Всего листов 5
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и
лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие
требования
Изготовитель
Компания “Keysight Technologies Microwave Products (M) Sdn. Bhd.”, Малайзия
Адрес: Bayan Lepas Free Industrial Zone, 11900, Penang, Malaysia
Тел.: +60-04-643-0611, факс: +60-04-641-5091
E-mail:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «КОМПАНИЯ «НТНК»
(ООО «КОМПАНИЯ «НТНК»)
Адрес: 115191, г. Москва, Холодильный пер., д. 3, корп. 1, стр. 4
Тел./факс: +7 (495) 952-02-89
E-mail
Испытательный центр
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127254, г. Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5
Тел./факс: +7 (495) 926-71-85
Web-сайт:
E-mail
Аттестат аккредитации ЗАО «АКТИ-Мастер» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311824 от 14.10.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
