Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407, ГРСИ 71948-18
Номер госреестра:
71948-18
Наименование СИ:
Анализаторы газа в электронных устройствах
Обозначение типа:
EDA 407
Производитель:
Фирма "InProcess Instruments", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
27.07.2023
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 70692
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407
Назначение средства измерений
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 (далее – анализаторы газа)
предназначены для качественного и количественного анализа заполняющего газа (H
2
O, He, Ar,
H
2
, N
2
, O
2
, CO, CO
2
, CH
4
) в герметично закрытых электронных устройствах и применяются в
машиностроении, в авиакосмической промышленности, нанотехнологическом производстве и
научных исследованиях.
Описание средства измерений
Анализаторы газа представляют собой стационарные приборы, в основу работы которых
положен метод масс-спектрометрического анализа, в ходе которого анализируемая проба газа
подвергается ионизации электронным ударом с энергией движущих электронов до 80 эВ.
Полученные ионы впоследствии подвергаются разделению в квадрупольном фильтре масс по
их соотношению массы к заряду (m/z), которое в свою очередь определяется траекториями
движения ионов, задаваемыми переменным электрическим полем .
В ходе анализа образцы прокалываются металлической иглой в одной из двух
испытательных камер с ультравысоким вакуумом. Камеры изготовлены из нержавеющей стали
со специальным покрытием. Газ из образца заполняет камеру и затем поступают в анализатор,
где находиться квадрупольный масс-спектрометр. Одновременно с анализом газа происходит
егооткачкатурбомолекулярнымнасосом.Испытательныекамерысоединеныс
калибровочными блоками. Каждый из блоков позволяет определенному количеству газа с
определенным составом заполнять анализатор как для определения коэффициента калибровки,
так и для подготовки образца через испытательную камеру.
Конструкция анализаторов газа включает в себя следующие основные блоки:
- квадрупольный масс-анализатор, сопряженный с двумя испытательными камерами;
- испытательные камеры, отличающиеся размером, предназначены для ввода малых и
более крупных электронных устройств соответственно. Испытательные камеры снабжены
системой вскрытия электронных устройств путем прокола с помощью иглы. Испытательные
камеры соединены с квадрупольным масс-спектрометром и калибровочным блоком.
Испытательные камеры и блоки их соединения с масс-спектрометром могут быть нагреты до
температуры плюс 130 °C;
- стойка с электронной аппаратурой, предназначенная для индикации и контроля за
состоянием вакуумной системы, уровнем давления, температуры в испытательных камерах и
масс-спектрометре. В верхней части стойки расположен блок индикации и управления
турбонасосом (БИУ);
- генератор и датчик точки росы, предназначенные для калибровки анализатора газа по
содержанию воды. Генератор увлажняет входящий сухой газ до заданного значения влажности.
Точное измерение значения содержания воды проводится с помощью датчика точки росы
конденсационным методом, при выполнении измерений которым наличие или отсутствие росы
на конденсационной поверхности фиксирует оптическая система; Относительная влажность
воздуха рассчитывается по эмпирическим выражениям исходя из значения температуры точки
росы воды.
- ВЧ-генератор QMH 400-5;
- регулятор давления сжатого воздуха;
- система водяного охлаждения.
Конструктивно анализаторы газа выполнены в виде крупногабаритного прибора,
состоящего из нескольких блоков, описанных выше.
Лист № 2
Всего листов 5
Управление процессом измерения и обработки выходной информации осуществляется с
помощью ПО, установленного на персональном компьютере.
Общий вид анализаторов газа представлен на рисунке 1. Место нанесения знака поверки
обозначено стрелкой. Пломбирование анализаторов газа не предусмотрено.
Программное обеспечение
Анализаторы газа оснащены автономным программным обеспечением ПО IPI QuardStar,
которое управляет работой анализаторов газа и отображает, обрабатывает и хранит полученные
данные. Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
К метрологически значимой части ПО относится исполняемый файл IPI QuardStar.exe.
Метрологически значимая часть ПО выполняет управление анализатором газа, установкой
режимов работы анализатора газа, качественным и количественным анализом, проводит
построение калибровочных зависимостей, обработку и хранение результатов измерений,
диагностику прибора.
Конструкция анализаторов газа исключает возможность несанкционированного влияния
на ПО и измерительную информацию Уровень защиты ПО от непреднамеренных и
преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Рисунок 1 – Общий вид анализаторов газа в электронных устройствах EDA 407
Лист № 3
Всего листов 5
Цифровой идентификатор ПО
-
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Значение
IPI QuardStar
не ниже 1.0
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 0 до 300
10
от 0 до 50
±10
от 0,001 до 100
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон массовых чисел, а.е.м.
Предел допускаемого относительного СКО выходного сигнала,
%
Диапазон измерений относительной влажности, %
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
относительной влажности, %
Диапазон измерений молярных долей газов (He, Ar, H
2
, N
2
, O
2
, CO,
CO
2
, CH
4
), %
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
молярных долей газов (He, Ar, H
2
, N
2
, O
2
, CO, CO
2
, CH
4
), %
Диапазон показаний температуры точки росы воды, °С
±10
от -40 до +10
700
986
1330
600
800
1350
Значение
230±23
50
±
1
2000
237
120
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Потребляемая мощность, В
×
А, не более
Габаритные размеры масс-спектрометра, мм, не более:
- длина
- ширина
- высота
Габаритныеразмерыстойки сэлектроннымоборудованием, мм, не
более:
- длина
- ширина
- высота
Масса, кг, не более:
- масс-спектрометр
- стойка с электронным оборудованием
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
о
С
- относительная влажность, %
Средний срок службы, лет
Наработка на отказ, ч, не менее
от +15 до +40
от 20 до 75
10
5000
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Лист № 4
Всего листов 5
Комплектность средства измерений
-
1 шт.
Обозначение
Количество
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Анализатор газа в электронных
устройствах EDA 407
Инструкция по эксплуатации
Методика поверки
-
МП 212-241-2017
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 212-241-2017 «ГСИ. Анализаторы газа в электронных
устройствах EDA 407. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26 марта 2018 г.
Основные средства поверки:
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей бензол,
метил-, этил- и винилбензил, диметилбензолы (БЛ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10767-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей инертные,
постоянные газы (ИП-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10768-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси с кислородсодержащими и
азотсодержащими газами (КА-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10769-2016;
- стандартный образец состава искусственной газо-жидкостной смеси, содержащей
углеводороды (СЖ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10770-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси с серосодержащими газами
(СС-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10771-2016;
- стандартныйобразецсоставаискусственнойгазовойсмеси,содержащей
углеводородные газы (УВ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10772-2016;
- государственный эталон единиц относительной влажности газов 2-го разряда по
ГОСТ 8.547-2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная
поверочная схема для средств измерений влажности газов».
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых анализаторов газа с требуемой точностью.
Знак поверки в виде наклейки наносится на анализатор в соответствии с рисунком 1.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализаторам
газа в электронных устройствах EDA 407
Техническая документация изготовителя «InProcess Instruments», Германия
Изготовитель
Фирма «InProcess Instruments», Германия
Адрес: Sophie-Germain-Str. 1, 28201 Bremen, Germany
Телефон (факс): +49 (0) 421 52593 0, +49 (0) 421 52593 10
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 5
Всего листов 5
Испытательный центр
ФедеральноеГосударственноеУнитарноеПредприятие«Уральскийнаучно-
исследовательский институт метрологии»
Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Телефон (факс): +7 (343) 350-26-18, +7 (343) 350-20-39
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от 10.11.2015 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 18979-06 | Колонки топливораздаточные сжиженного газа | V-line 47xx.xxx/LPG, V-line 899x.xxx/LPG, ADAST 899х.xxx/LPG, ADAST 47xx.xxx/LPG | Фирма "ADAMOV-SYSTEMS, a.s.", Чехия | 1 год | Перейти |
| 49952-12 | Анализаторы гематологические | HumaCount 5L | Компания "Human GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 69134-17 | Тестеры-анализаторы пакетных сетей | МАКС-ЕМК С | АО НПП "КОМЕТЕХ", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 47739-11 | Анализаторы цифровых сигналов | SunSet E20с | Фирма "Sunrise Telecom Inc.", США | 2 года | Перейти |
| 21141-04 | Счетчики газа ультразвуковые | Гобой-1 | ОАО "Теплоприбор", г.Рязань | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений