Untitled document
Приложение к свидетельству № 70000
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 10
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium
Назначение средства измерений
Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium (далее по тексту -
системы) предназначены для измерений параметров шероховатости и микроконтура поверхностей.
Описание средства измерений
Принцип действия системы основан на сканировании измеряемой поверхности оптическим
датчиком. Результаты измерений выводятся на монитор компьютера (в виде профилей,
числовых значений параметров шероховатости и геометрических параметров микроконтура).
Система состоит из чугунного основания, которое устанавливается на три опоры,
моторизованного предметного стола и вертикальной колонны с моторизованным приводом.
На вертикальную колонну устанавливается оптический датчик.
Общий вид систем представлен на рисунках 1 и 2.
Система может оснащаться следующими оптическими датчиками: датчиком точечной
хроматической конфокальной микроскопии CCMP (рис. 3), датчиком цифровой голографической
микроскопии DHM (рис. 4) и датчиком линейной хроматической конфокальной микроскопии
CCML (рис. 5).
Датчики CCMP модификаций CL1, CL2, CL3, CL100 µm, CL300 µm, CL350 µm,
CL400 µm, CL600 µm, CL1000 µm, CL100 µm 90°, CL300 µm 90°, CL350 µm 90°, CL400 µm 90°,
CL600 µm 90°, CL1000 µm 90° и датчики CCML модификации CCM-L1 0,2mm могут измерять
как микроконтур, так и шероховатость поверхности. Датчики CCMP модификаций CL4, CL5,
CL6, CL2 mm, CL3 mm, CL6 mm, CL10 mm, CL25 mm, CL2 mm 90°, CL3 mm 90°, CL6 mm 90°,
CL10 mm 90°, CL25 mm 90° и датчики CCML модификаций CCM-L1 1mm и CCM-L1 4mm
могут измерять только микроконтур поверхности. Датчики DHM модификаций DHMS1,
DHMS2 и DHMS3 могут измерять только шероховатость поверхности.
Система выпускается в следующих модификациях: TRScan и TRScan Premium, которые
отличаются внешним видом, техническими и метрологическими характеристиками. Системы
модификации TRScan могут комплектоваться только датчиками CCMP, системы модификации
TRScan Premium могут комплектоваться датчиками CCMP, DHM и CCML.
Система модификации TRScan выпускается двух исполнений: с одно- или двухосевым
моторизованным предметным столом.
Пломбировка системы от несанкционированного доступа не предусмотрена.
Лист № 2
Всего листов 10
Рисунок 1 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan
Рисунок 2 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan Premium
Лист № 3
Всего листов 10
Рисунок 3 - Общий вид датчика точечной хроматической конфокальной микроскопии (CCMP)
Рисунок 4 - Общий вид датчика цифровой голографической микроскопии (DHM)
Лист № 4
Всего листов 10
Рисунок 5 - Общий вид датчиков хроматической конфокальной микроскопии (CCML)
Программное обеспечение
Системы имеют в своем составе программное обеспечение (ПО) Nanoware Measure,
осуществляющее измерительные функции, и Nanoware Analysis, осуществляющее функции
расчета параметров шероховатости и микроконтура поверхности. ПО Nanoware Analysis имеет
5 модулей, позволяющих рассчитывать различные параметры шероховатости: LT, XT, STT,
XTT и PRO.
ПО, не ниже
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОNanoware MeasureNanoware Analysis
Номер версии (идентификационный номер)
2.1 7.4.8164
Цифровой идентификатор ПО--
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для
программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты программного обеспечения приборов «высокий» в соответствии
с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
X/Y/Z
Значение
TRScan Premium
системой
Таблица 2 - Технические характеристики систем
Наименование характеристики
МодификацияTRScan
Моторизованные оси с измерительной
X/Z или X/Y/Z
Лист № 5
Всего листов 10
11
Наименование характеристикиЗначение
МодификацияTRScanTRScan Premium
Диапазон перемещений, мм:
по оси Xот 0 до 100от 0 до 100
по оси Y от 0 до 100
1)
от 0 до 100
по оси Z
от 0 до 240от 0 до 240
Точность позиционирования по осям
(без учета оптического датчика), мкм
Совместимые оптические датчикиТочечная конфокальная
хроматическая
микроскопия (CCMP),
Точечная конфокальнаялинейная конфокальная
хроматическая хроматическая
микроскопия (CCMP) микроскопия (CCML),
цифровая
голографическая
микроскопия (DHM)
Габаритные размеры (без учета
оптического датчика), мм, не более:
длина
698
ширина
505
высота700
100
10%
Масса (без учета оптического датчика),
кг, не более
Параметры электрического питания
(от внешней сети):
– напряжение переменного тока, В
230
5%
– частота переменного тока, Гц 50/60
Условия эксплуатации:
– температура окружающей среды,
°Сот +15 до +25
– относительная влажность
воздуха, %, не более65
1)
- при наличии моторизованной оси Y
Значение
датчика
Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL1, CL2 и CL3
Наименование
характеристики
Модификация оптического
CL1CL2CL3
по оси Z, мкм
Верхний предел измерений
1304001400
стекла
Разрешение по оси Z, нм82260
Модель
у
величительного
MG210 MG140 MG210 MG140 MG70 MG140MG70
мкм
Диаметр пятна, мкм 1,9 2,8 2,3 3,4 6,9 4 8
Разрешение по оси X и Y,
0,9 1,4 1,2 1,7 3,5 2 4
Лист № 6
Всего листов 10
Значение
±2·d
CL1
CL2CL3
10 -
3 3
Наименование
характеристики
Модификация оптического
датчика
Пределы допускаемой
относительной
погрешности измерений
шероховатости по
параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
10
при Ra > 0,1 мкм 3
Пределы допускаемой
абсолютной погрешности±0,04
измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
±2·d
Таблица 4 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL4, CL5 и CL6
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчика CL4 CL5CL6
Верхний предел измерений по оси Z, мкм40001200024000
Разрешение по оси Z, нм 130 400 780
Модель увеличительного стекла MG35 MG20 MG35MG20 MG35MG20
Диаметр пятна, мкм 8 14 14 22,5 16 28
Разрешение по оси X и Y, мкм 4 7 7 12,3 8 14
Пределыдопускаемойабсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
±0,04
Таблица 5 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 µm, CL300 µm, CL350 µm и
CL400 µm
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчикаCL100 µmCL300 µmCL350 µmCL400 µm
300 350 400
10 12 14
5 5 4
2,52,52
10 10 10
3 3 3
Верхний предел измерений по оси Z, мкм100
Разрешение по оси Z, нм 3
Диаметр пятна, мкм 3,5
Разрешение по оси X и Y, мкм 1,8
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений шероховатости
по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
10
при Ra > 0,1 мкм 3
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
Лист № 7
Всего листов 10
±2·d
Таблица 6 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 µm, CL1000 µm, CL2 mm и CL3 mm
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчикаCL600 µmCL1000 µmCL2 mmCL3 mm
Верхний предел измерений по оси Z, мкм 600 1000 2000 3000
Разрешение по оси Z, нм 20 35 70 100
Диаметр пятна, мкм 4 3,5 12,5 12
Разрешение по оси X и Y, мкм 2 1,8 6 6
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений шероховатости
по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
10 - -
при Ra > 0,1 мкм 3 3 -
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
±2·d
Таблица 7 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 mm, CL10 mm и CL25 mm
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчика CL6 mm CL10 mmCL25 mm
Верхний предел измерений по оси Z, мкм 6000 10000 25000
Разрешение по оси Z, нм 200 300 800
Диаметр пятна, мкм 16 24 25
Разрешение по оси X и Y, мкм 8 12 12
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
Таблица 8 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 µm 90°, CL300 µm 90°,
CL350 µm 90° и CL400 µm 90°
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчика
CL100 µmCL300 µm CL350 µm CL400 µm
90°90°90°90°
±0,04±4·d
Верхний предел измерений по оси Z, мкм100300350400
Разрешение по оси Z, нм 3 10 12 14
Диаметр пятна, мкм 3,5 5 5 4
Разрешение по оси X и Y, мкм 1,8 2,5 2,5 2
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений шероховатости
по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
10 10 10 10
при Ra > 0,1 мкм 3 3 3 3
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
Лист № 8
Всего листов 10
Таблица 9 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 µm 90°, CL1000 µm 90°, CL2 mm 90°
и CL3 mm 90°
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчика
CL600 µmCL1000 µmCL2 mmCL3 mm
90°90°90°90°
±4·d
Верхний предел измерений по оси Z, мкм600100020003000
Разрешение по оси Z, нм 20 35 70 10
Диаметр пятна, мкм 4 3,5 12,5 12
Разрешение по оси X и Y, мкм 2 1,8 6 6
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений шероховатости
по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
10 - -
при Ra > 0,1 мкм 3 3 -
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
±4·d
Таблица 10 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 mm 90°, CL10 mm 90° и CL25 mm 90°
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчикаCL6 mm 90°CL10 mm 90°CL25 mm 90°
Верхний предел измерений по оси Z, мкм 6000 10000 25000
Разрешение по оси Z, нм 200 300 800
Диаметр пятна, мкм 16 24 25
Разрешение по оси X и Y, мкм 8 12 12
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
d - разрешение датчика по оси Z, мкм
Таблица 11 - Метрологические и технические характеристики датчиков линейной конфокальной
хроматической микроскопии (CCML)
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчикаCCM-L1 0,2mmCCM-L1 1mmCCM-L1 4mm
Верхний предел измерений по оси Z, мкм 200 950 3900
Ширина полосы, мм 0,96 ± 0,01 1,91 ± 0,01 4,78 ± 0,01
Расстояние между линиями профилями, мкм 5 10 25
Разрешение по оси Z, нм 20 80 320
Диаметр пятна, мкм 2 4 10
Разрешение по оси X и Y, мкм 1 2 5
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений шероховатости
по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
- -
при Ra > 0,1 мкм 3 -
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений по оси Z, мкм
±0,08±0,3±1,2
Лист № 9
Всего листов 10
Таблица 12 - Метрологические и технические характеристики датчиков цифровой голографиче-
ской микроскопии (DHM)
Наименование характеристикиЗначение
Модификация оптического датчика DHMS1 DHMS2DHMS3
Верхний предел измерений по оси Z, мкм 3 7 7
Разрешение по оси Z, нм 0,1 0,1 0,1
Поле зрения, мм 0,25×0,250,33×0,33 0,33×0,33
Пределы допускаемой относительной погрешности
измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
101010
при Ra > 0,1 мкм - - -
Знак утверждения типа
наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
-
1 шт.
Обозначение
Количество
-
-
-
МП 203-67-2017
по заказу
1)
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Таблица 12 - Комплектность средства измерений
Наименование
Система оптическая измерительная TRScan
или TRScan Premium
Оптический датчик выбранной модификации
Компьютер с двумя мониторами
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
1) - но не менее 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 203-67-2017 «Системы оптические измерительные TRScan
и TRScan Premium. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 22 сентября 2017 г.
Основные средства поверки:
меры шероховатости с регулярным профилем 1-го (для мер с номинальным
значением Ra от 0,1 до 0,4 мкм) или 2-го разряда (для мер с номинальным значением Ra до 0,1
мкм
и св. 0,4 мкм) по ГОСТ 8.296-2015;
мера для поверки приборов для измерений шероховатости поверхности PEN 10-1
(Рег. № trial-13).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска клейма или на корпус
системы в виде наклейки.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к системам
оптическим измерительным TRScan и TRScan Premium
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне
от 0,001 до 750 мкм
Лист № 10
Всего листов 10
Техническая документация фирмы-изготовителя
Изготовитель
Trimos SA, Швейцария
Адрес: av. de Longemalle 5 CH-1020, Renens, Switzerland
Тел.: +41 (21) 633-01-01
Факс: +41 (21) 633-01-02
Web-сайт: www.trimos.com
E-mail: office@trimos.ch
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Призма» (ООО «Призма»)
ИНН 7811477397
Адрес: 192148, г. Санкт-Петербург, ул. Седова, д. 13, офис 211
Тел.: +7 (812) 309-48-81
Web-сайт: www.proprizma.ru
E-mail: info@proprizma.ru
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77
Факс: +7 (495) 437-56-66
Web-сайт: www.vniims.ru
E-mail: office@vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.