Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
71147-18
Наименование СИ:
Интерферометры лазерные
Обозначение типа:
ФТИ
Производитель:
ЗАО "Дифракция", г.Новосибирск
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
21.05.2023
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 69848
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометры лазерные ФТИ
Назначение средства измерений
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений
отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание средства измерений
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе
деформацииформыинтерференционныхполосвозникающихвпромежуткемежду
поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате
интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока,
блока байонетного крепленияэталонной пластины и компьютера с программным
обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально
интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.
В качестве источника света в интерферометре может использоваться He-Ne лазер
с длиной волны 632 нм или DPSS лазер с длиной волны 532 нм. Оптико-механический блок
преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт
с помощью эталонной пластины, закрепленной в байонетном креплении, делится на два. Один
волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно
назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается
контролируемой деталью. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует
с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях
от плоскостности измеряемой оптической поверхности.
Интерферометры в зависимости от диаметра эталонной пластины изготавливают двух
модификаций: ФТИ-50 и ФТИ-100 (таблица 2).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа
не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное
обеспечениепозволяетвычислятьотклоненияформыконтролируемойповерхности
от эталонной плоскости методами трассирования полос (TS) или спектральным методом (SM)
и при наличии блока фазового сдвига - методом фазового сдвига (PS).
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных
файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей
и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
Значение
DiOpto
v.3.17 и выше
-
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний»
в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
от 0,03 до 2,00
±0,025
0,005
ФТИ-100
от 0,03 до 2,00
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
МодификацияФТИ-50
Диапазон измерений отклонений
от плоскостности, мкм
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерений отклонений±0,025
от плоскостности, мкм
Воспроизводимость измерений, мкм,
не более
0,005
ФТИ-50 ФТИ-100
50 100
3А
632
532
4
30
от 200 до 240
от 49 до 51
18
270
205
500
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
Модификация
Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012
Длина волны лазера, нм, не более
- He-Ne лазер
- DPSS лазер
Мощность, не более, мВт
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических
вибраций, не более, Гц
Параметры электропитания
Напряжение переменного тока, В
Частота, Гц
Масса, кг, не более
Габаритные размеры, не более, мм
- длина
- ширина
- высота
Условия эксплуатации
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность, %
От +18 до +22
От 50 до 90
Лист № 3
Всего листов 4
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность средства измерений
Количество
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначение
Интерферометр лазерный ФТИ
Блок фазового сдвига с пьезоприводом*
Компьютер с ПО
Технические условияINT.60826752.001ТУ
Руководство по эксплуатацииINT.60826752.001РЭ
Методика поверки МП № 203-65-2017
*поставляется опционально
Поверка
осуществляется по документу МП № 203-65-2017 «Интерферометры лазерные ФТИ. Методика
поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 22 сентября 2017 г.
Основное средство поверки: мера отклонений от плоскостности
120 мм, рег. №
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферометрам
лазерным ФТИ
INT.60826752.001ТУ Интерферометр лазерный ФТИ. Технические условия
Изготовитель
Закрытое Акционерное общество «Дифракция» (ЗАО «Дифракция»)
ИНН 5408270404
Адрес: 630128, u/ Новосибирск, ул. Кутателадзе, д. 4Г, оф.218
Тел./факс: +7 (383)-332-50-60
E-mail: www.diffraction.ru
Web-сайт:
om
Лист № 4
Всего листов 4
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологической службы»
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail:
Web-сайт: www.vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 26321-04 | Сканеры лазерные для аэросъемки местности | ALTM-2050, ALTM-30/70 | Фирма "Optech", Канада | 1 год | Перейти |
| 81373-21 | Сканеры лазерные мобильные | Leica BLK2GO | "Leica Geosystems AG", Швейцария | 1 год | Перейти |
| 32335-06 | Нивелиры лазерные ротационные | LP30A, LP31A, LP310 | Фирма "Sokkia Co. Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 65127-16 | Интерферометры | OptoTL-250 | ЗАО "Опто-Технологическая Лаборатория", г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
| 66708-17 | Стенды производственные для калибровки лидарной метеосистемы инфракрасного диапазона | Нет данных | ООО "НПП "Лазерные системы", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений