Приложение к свидетельству № 69720/1
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
(в редакции, утвержденной приказом Росстандарта № 1804 от 23.08.2018 г.)
Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230
Назначение средства измерений
Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230 (далее - микроанализаторы JXA-8230)
предназначены для локальных измерений массовой доли элементов от бериллия до урана
в различных твердых (монолитных) веществах и материалах в соответствии с аттестованными
методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений), получения изображения высокого качества во вторичных и
отраженных электронах для исследования поверхности и анализа распределения элементов и их
фаз.
Описание средства измерений
Принцип действия микроанализаторов JXA-8230 основан на методе рентгеновского
микроанализа, сущность которого заключается в сканировании образца и возбуждении атомов
анализируемоговеществаэлектроннымпучком(микрозондом)высокойэнергиис
одновременной регистрациейхарактеристического рентгеновского излученияатомов,
входящих в состав этого вещества.
Характеристическое рентгеновское излучение, интенсивность которого зависит от
содержания определяемого элемента в микрообъеме образца, регистрируется комбинированным
микроанализатором с несколькими волновыми (ВДС) и энергодисперсионным (ЭДС)
спектрометрами, в котором спектрометрическая часть управляется персональным компьютером
с помощью специализированного программного обеспечения (ПО), что позволяет одновременно
проводить независимые ВДС/ЭДС измерения и комбинировать полученные данные анализа.
Микроанализатор JXA-8230 выполнен по модульному принципу и включает в себя
конструктивно законченные блоки. Микроанализатор JXA-8230 включает в себя:
- электронно-оптическую систему (ЭОС);
- основную консоль;
- консоль управления обработки данных;
- консоль компьютера с прикладным программным обеспечением: метрологически
значимой частью - программой РС_ЕРМА и программой PC_SEM, ответственной только за
управление зондом (пушкой);
- ротационный масляный насос, расположенный позади консолей.
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего
электронного микроскопа, на который устанавливается высоко стабилизированная электронно-
оптическая система с комбинированным микроанализатором с несколькими ВДС и ЭДС
спектрометрами с различными большими кристалл-анализаторами и высокоточным гониомет-
рическим столиком с моторизованным приводом.
Управление работой микроанализатора JXA-8230, его настройка и обработка данных
измерений осуществляются с помощью управляющего компьютера типа IBM PC и
специализированного прикладного программного обеспечения. Все данные о массовых долях
анализируемых элементов и изображения могут быть выведены на мониторы управляющего
компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в
программном обеспечении системы микроанализатора JXA-8230 соответствующей команды.
Общий вид микроанализатора JXA-8230 представлен на рисунке 1.
Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств,
которые могут привести к искажению результатов измерений, корпуса основных блоков
микроанализатора JXA-8230 снаружи опломбированы.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) микроанализатора
JXA-8230 приведены в таблице 1. Программа РС_ЕРМА является метрологически значимой
частью ПО, программа РС_SEM отвечает только за управление зондом (пушкой).
Рисунок 1 - Общий вид микроанализатора JXA-8230
Место для пломбирования
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа
Лист № 3
Всего листов 5
Уровень защитыПОмикроанализатораJXA-8230 «средний» в соответствиисР 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик
микроанализатора JXA-8230.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение для JXA-8230 Software
Идентификационное наименование ПО PC_EPMAPC_SEM
Номер версии (идентификационный номер) ПО не ниже 1.11
1)
не ниже 3.0.1
1)
Цифровой идентификатор ПО -
________________
1)
Версия программного обеспечения может иметь дополнительные цифровые и/или бу-
квенные суффиксы
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3.
Значение
от Ве (4) до U (92)
от 0,01 до 100,0
129
10
5,0
2,0
±35
±30
±10
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон определяемых элементов
Диапазон измерений массовой доли элементов, %
Энергетическое разрешение ЭДС, эВ, не более
(на линии Mn К
a
1
(5,9 кэВ), 3000 имп/с)
Предел допускаемого СКО случайной составляющей
относительной погрешности измерений массовой доли
элементов
1)
, %, в поддиапазоне измерений:
- от 0,01 до 1,0 % включ.
- св. 1,0 до 10,0 % включ.
- св. 10,0 до 100,0 % включ.
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
массовой доли элементов
1)
, %, в поддиапазоне измерений:
- от 0,01 до 1,0 % включ.
- св. 1,0 до 10,0 % включ.
- св. 10,0 до 100,0 % включ.
________________
1)
Указанные характеристики получены при использовании стандартных образцов стали
легированной ГСО 4506-92П/4510-92П (индексы СО: ЛГ32, ЛГ36), латуни оловянно-
свинцовой ГСО 6319-92/6323-92 (индексы СО: 1711, 1715), железа высокой чистоты
ГСО 10816-2016 в режимах ЭДС/ВДС измерений в условиях:
источник - электронный зонд
(сфокусированный пучок электронов), ускоряющее напряжение 20 кВ, ток 4·10
-8
А (для ЭДС)
и 5·10
-8
А (для ВДС), время экспозиции 60 с; количественный анализ методом ZAF-
коррекции; кристалл-анализаторы для ВДС - LiF, ТAP, PET.
Значение
от 0,087 до 9,3
100×100×40
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Детектируемый диапазон длин волн, нм
Максимальный размер образца (Длина×Ширина×Высота), мм
Высота образца при использовании стандартного держателя,
мм, не более
Максимальная анализируемая область, мм
Увеличение в режиме сканирования
Ускоряющее напряжение, кВ
20
90×90
от х40 до х300000
от 0,2 до 30
(с шагом 0,1 кВ)
Лист № 4
Всего листов 5
Значение
от 10
-12
до 10
-5
1
от 1 до 5
200±20
50/60±1
790×1010×1800
1200×1480×700
700×470×700
300×600×700
520×200×320
700
300
90
26
25
от +15 до +25
Наименование характеристики
Ток пучка (зонда), А
Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС)
(ЭДС система микроанализа встроена и не требует жидкого азота)
Количество устанавливаемых волновых спектрометров (ВДС)
Параметры электрического питания:
- питающее напряжение, В
- частота, Гц
Габаритные размеры (Длина×Ширина×Высота), мм, не более:
- основная консоль
- системы управления и обработки данных
- блок обработки сигнала
- компьютер (РС)
- масляный ротационный насос
Масса, кг, не более:
- основная консоль
- системы управления и обработки данных
- блок обработки сигнала
- компьютер (РС)
- масляный ротационный насос
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, °C
- относительная влажность воздуха (без конденсации влаги), %,
не более
Средний срок службы, лет, не менее
60
10
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации в виде наклейки.
Комплектность средства измерений
Комплектность микроанализаторов JXA-8230 приведена в таблице 4.
Обозначение
JXA-8230
Количество
1 шт.
1 экз.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Микроанализатор электронно-зондовый
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство
пользователя программного обеспечения
Методика поверки
-
МП 163-223-2017 с
изменением № 1
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 163-223-2017 с изменением № 1 «ГСИ. Микроанализаторы
электронно-зондовыеJXA-8230. Методикаповерки», утвержденномуФГУП «УНИИМ» 20.07.2018 г.
Основные средства поверки:
- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных - ГСО 4506-92П/4510-92П
(комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образец с индексом ЛГ36 (рекомендуемые элементы: Al, Si, Cr, Ni,
Mn, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,003
до 0,2 %;
-СОсоставалатуниоловянно-свинцовойЛЦ25С2(комплектМ171)-
ГСО 6319-92/6323-92, образец с индексом 1711 (рекомендуемые элементы: Mn, Al, Ni, Cu, Zn),
абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,03 до 0,7 %;
- СО состава железа высокой чистоты (Fe СО УНИИМ) - ГСО 10816-2016, массовая
доля железа 99,987 %, абсолютная погрешность аттестованного значения 0,013 %.
Лист № 5
Всего листов 5
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроанализаторам
электронно-зондовым JXA-8230
Техническая документация изготовителя «JEOL Ltd.», Япония
Изготовитель
«JEOL Ltd.», Япония
Адрес: 1-2 Musashino 3-Chome, Akishima-City, Tokyo, Japan
Телефон: +81 42-5283363, факс: +81 42-5283385
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Токио Боэки (РУС)»
(ООО «Токио Боэки (РУС)»)
ИНН 7706631025
Адрес: 127055, г. Москва, ул. Новолесная, д. 2
Телефон: +7 (495) 223-40-00, факс: +7 (495) 223-40-01
Е-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Уральскийнаучно-
исследовательский институт метрологии»
Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Телефон: +7 (343) 350-26-18, факс: +7 (343) 350-20-39
Е-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от 10.11.2015 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА.В. Кулешов
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
