Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP, ГРСИ 70239-18
Номер госреестра:
70239-18
Наименование СИ:
Установка для измерения толщины
Обозначение типа:
UltraMap S100-FP
Производитель:
Фирма "MicroSense, LLC", США
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 2050/0119-06
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 68897
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP
Назначение средства измерений
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка)
предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе
полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия,
фосфид индия, германий и сапфир.
Описание средства измерений
Принцип действия установки основан на двойном зондировании поверхности объекта с
верхней и нижней стороны с помощью бесконтактных оптических зондов. Зонды располагаются
на подвижном двухкоординатном столе, позиционирование которого осуществляется с помощью
встроенного оптического датчика и контролируется линейным сервомотором с контуром
обратной связи от датчика. Позиционирование зондов осуществляется с помощью компьютера.
Измерения проводится как с нижней, так и с верхней стороны исследуемой пластины, толщина
которой вычисляется автоматически в программе «UltraMap». Принцип действия оптических
зондов основан на технологии хроматического кодирования глубины вдоль оптической оси
зонда, разработанной SigmaTech.
Конструктивно установка состоит из измерительного модуля с оптическим датчиком,
верхнего и нижнего оптических зондов, робототехнической системы, воздуховода, переходной
платформы со сменными держателями, гранитной платформы, баллона с чистым азотом,
компьютера с операционной системой не ниже Windows98, соединительных кабелей.
Результаты измерения передаются на внешний компьютер. Управление установкой
осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением «UltraMap»,
позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять
сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Общий вид установки на рисунке 1.
Схема мест пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места
нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 - Общий вид установки для измерения толщины UltraMap S100-FP
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места
нанесения знака поверки
Место нанесения
знака поверки
Место
пломбирования
Лист № 3
Всего листов 5
Программное обеспечение
Управление процессом измерения осуществляется с помощью специального программного
обеспечения «UltraMap». Программное обеспечение (ПО) служит для калибровки средства
измерения, настройки параметров и проведения измерений, визуализации, анализа, обработки и
сохранения полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных
производится с помощью клавиатуры и мыши.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного
компьютера.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Значение
UltraMap
1.12.0
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
Метрологические и технические характеристики
± 3
Значение характеристики
от 20 до 2000
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерения толщины, мкм
Пределы допускаемой абсолютной
погрешности измерения толщины, мкм
Значение характеристики
60, 76, 100
720
520
620
100
от 200 до 250
50/60
2,2
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диаметр измеряемых образцов, мм
Габаритные размеры установки, мм, не более
- высота
- ширина
- длина
Масса, кг, не более
Электропитание осуществляется от сети
переменного тока
напряжением, В
частотой, Гц
Потребляемая мощность, кВт, не более
Условия эксплуатации:
Температура окружающей среды, ºС
Относительная влажность, %, не более
От +18 до +35
80
Знак утверждения типа
наносится типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус
прибора методом наклеивания.
Лист № 4
Всего листов 5
Комплектность средства измерений
-
1 шт.
Обозначение
Количество
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
Наименование
Установка для измерения толщины «UltraMap
S100-FP» в составе:
измерительный модуль с оптическим сенсором,
верхний и нижний зонды,
робототехническая система,
гранитная и переходная платформа,
воздуховод,
комплект соединительных кабелей
Баллон с чистым азотом
Компьютер
CD-диск с программным обеспечением
Методика поверки
Руководство по эксплуатации
-
-
-
МП 045. М44-17
-
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 045. М44-17 «ГСИ. Установка для измерения толщины
UltraMap S100-FP. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «26» июня 2017 г.
Основные средства поверки:
Меры длины концевые плоскопараллельные 3 разряда по ГОСТ Р 8.763-2011
(рег.№ 62321-15)
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения длины мер от 0,5 до 100 мм
Допускаемые отклонения длины от номинального значения ±0,20 мкм
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса установки (место нанесения указано
на рисунке 2).
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке
для измерения толщины UltraMap S100-FP
Техническая документация фирмы-изготовителя «MicrsoSense LLC-SigmaTech Division»,
США;
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Изготовитель
Фирма «MicroSense, LLC», США
Адрес: 205 Industrial Avenue East Lowell, Massachusetts 01852 USA
Телефон:978-843-7670
Факс: 978-856-3375
Лист № 5
Всего листов 5
Заявитель
Закрытое акционерное общество «НИИ Материаловедения» (ЗАО «НИИ МВ»)
ИНН 7735001490
Адрес: 124460, г. Москва, Зеленоград, проезд №4806, д.4, стр. 2
Телефон/Факс: +7(495) 731-14-76
E-mail:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 33885-12 | Системы измерения вязкости автоматические | PVS и iVisc | Компания "LAUDA Dr.R.WOBSER GmbH & Co. KG", Германия | 1 год | Перейти |
| 39095-08 | Установка поверочная | УВСГ-1 | ООО "Комплекс-ресурс", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 32683-06 | Приборы для автоматического регулирования на основе измерения изменения силы тока, напряжения и сопротивления | OMM, OM, OMB, OMX, OMU, OMD | Фирма "ORBIT MERRET, spol. s r.o.", Чехия | 1 год | Перейти |
| 1619-62 | Приборы для измерения поверхностной твердости металлов | ТКС-1 | Нет данных | Нет данных | Перейти |
| 20061-00 | Установка для поверки бытовых счетчиков газа | УП ГСБ-6.06 | НПП "Измеритель", г.Казань | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений