Приложение к свидетельству № 68808
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые HELIOT 900
Назначение средства измерений
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые HELIOT 900 (далее по тексту -
течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего
контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и
объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов,
содержащих гелий.
Описание средства измерений
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр,
настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется
потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или
вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на
регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе,
высоковакуумныйнасос.Подключениеиспытуемогообъектаквакуумнойсистеме
течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт),
расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-
спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы
ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной
атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы
гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется
поток ионов, в виде электрического сигнала.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений
осуществляется с помощью панели управления (планшета).
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу течеискателя: «Высокая
чувствительность», «Средняя чувствительность», «Низкая чувствительность», переключения
между которыми осуществляются в автоматическом или в ручном режиме. Также
в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели имеют 5 модификаций, отличающихся конструктивным исполнением,
массой, габаритными размерами, скоростью форвакуумной откачки насосов, входящих в состав
вакуумной системы течеискателя.
Модификации 901W1 и 901D2 оснащены встроенным пластинчато-роторным или
спиральным безмасляным форвакуумным насосом соответственно. Модификации 901W1
и 901D2 могут быть оснащены тележкой. Модификация 904W2 дополнительно оснащена
внешним пластинчато-роторным форвакуумным насосом и тележкой. Модификации 904D3
и 904D4 дополнительно оснащены внешним спиральным безмасляным форвакуумным насосом
и тележкой.
Пломбировка корпуса течеискателя не предусмотрена.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателей приведены на
рисунках 1 - 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателей
модификаций 901W1 и 901D2
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), состоящее из двух
частей: встроенного в течеискатель и встроенного в планшет.
ПО встроенное в течеискатель разработано изготовителем специально для управления
работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов) и масс-
спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
автоматической диагностики состояния течеискателя; приема и обработки измерительной
информации от модуля масс-спектрометрического анализатора; формирование выходных
сигналов и передача их планшет. ПО встроенное в планшет, позволяет обрабатывать
и отображать поступающую с течеискателя информацию, а так же задавать пользовательские
настройки.
Идентификационныеданныевстроенногои автономногоПОпредставленывтаблице1.
Информация о версиях ПО отображается на планшете при включении течеискателя,
следующим образом: «SOFTWARE версия ПО течеискателя - версия ПО планшета».
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических
характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений
течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
не ниже 1.00е ниже 03
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационныеданные (признаки) ПОЗначение
Идентификационное наименование ПОHELIOT 900
Номер версии (идентификационный номер) ПО
течеискателя
н
планшета
7
Рисунок 2 - Внешний вид течеискателей
модификаций 904W2, 904D3 и 904D4
Место знака
поверки
Лист № 3
Всего листов 5
Метрологические и технические характеристики
начения
от 5·10до 1·10
от 5·10 до 1·10
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
901W1901D2
З
904W2904D3904D4
Диапазон измерений потока газа в вакууме
-13-2
по входу течеискателя, Па·м
3
/с*
Диапазон показаний потока газа в вакууме
-9-2
при работе способом щупа, Па·м
3
/с
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений, % от измеряемой
величины (где Q
нпи
- значение нижнего
предела измерений, Q
изм
- значение
измеренного потока, Па·м
3
/с):
- в режиме «Высокая чувствительность»±(0,15 + Q
нпи
/Q
изм
)·100
- в режиме «Средняя чувствительность» ±50
- в режиме «Низкая чувствительность»погрешность не нормируется
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па∙м
3
/с образована в соответствии с
п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из
уравнения состояния идеального газа.
30(500)
начения
904D4
3
(л/мин)
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
901W1901D2
З
904W2904D3
Время установления выходного сигнала,
мин, не более
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В220±22
- частота переменного тока, Гц 50±1
Скорость форвакуумной откачки, м
3
/ч
1,8(30)5,4(90)8,1(135)
1
5(250)
(л/мин)
Скорость высоковакуумной откачки, м
3
/ч
111,6(1860)
96
1150
Габаритные размеры, мм, не более
- высота480660
- ширина320444
- длина505991
Масса, кг, не более 33 37 77 74
Потребляемая мощность, В·А, не более 600 500 1100 650
Средняя наработка на отказ, ч 15000
Средний срок службы, лет10
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур
окружающего воздуха, °Сот +10 до +35
- относительная влажность воздуха (без
конденсации), %, не более80
- атмосферное давление, кПаот 84 до 106,7
Лист № 4
Всего листов 5
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом
наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Течеискатель соответствующей модификации
Планшет
Управляющий кабель
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
ОбозначениеКол-во
в соответствии с заказом 1 шт.
-1 шт.
CONT-SET-CABLE-L21 шт.
-1 экз.
МП 231-0044-20171 экз.
Поверка
осуществляется по документуМП 231-0044-2017 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
HELIOT 900. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
04.10.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме
в диапазоне 10
-12
- 1 Па∙м
3
/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10
-12
до 10
-9
Па·м
3
/с
не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10
-9
до 1 Па·м
3
/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия
эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям
масс-спектрометрическим гелиевым HELIOT 900
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания.
Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектро-
метрического метода контроля герметичности
Техническая документация «Ulvac, Inc.», Япония
Изготовитель
«Ulvac, Inc.», Япония
Адрес: 2500 Hagisono, Chigasaki, Kanagawa 253-8543, Japan
Телефон: +81-467-89-2033
Web-сайт:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Вактрон» (ООО «Вактрон»)
ИНН 7806527500
Адрес:197342, г. Санкт-Петербург, ул. Торжковская, д. 5, офис 2-009
Телефон: +8 (812) 989-04-49
E-mail:
Лист № 5
Всего листов 5
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению испытаний
средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 23.03.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
