ГРСИ 69543-17: Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700. Поверка

Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru

ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru

Заказать
поверку данных СИ
в аккредитованной лаборатории

Заказать
поверку

Смотреть ГРСИ
69544-17

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700, ГРСИ 69543-17

Смотреть ГРСИ
69542-17

Номер госреестра:

69543-17

Наименование СИ:

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией

Обозначение типа:

Inca Wave 700

Производитель:

Фирма "Oxford Instruments plc", Великобритания

Межповерочный интервал:

1 год

Сведения о типе СИ:

Заводской номер

Заводской номер:

зав.№ 65164R131103F

Описание типа:

Скачать
описание типа СИ

Методика поверки:

Скачать
методику поверки СИ

Поверка<br>Аккредитованная лаборатория<br>8(812)209-15-19, info@saprd.ru

Поверка
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru

К сожалению, комментарии пока что отсутствуют. Вы можете быть первым. Оставить комментарий:

Описание типа средства измерения: Читать в отдельном окне

Untitled document

Приложение к свидетельству № 68184

об утверждении типа средств измерений

Лист № 1

Всего листов 4

ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700

Назначение средства измерений

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700 (далее - прибор)

предназначен для измерений зависимости интенсивности от длины волны в составе растровых

электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов в соответствии с

аттестованными методиками измерений.

Описание средства измерений

Принцип действия прибора основан на явлении дифракции регистрируемого

рентгеновского излучения на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает

расположение на круге Роуланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным

зондом с энергией электронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского

излучения микрообъема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения.

Кинематический механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда

кристалл - анализатор на угол Θ, а детектор - на угол 2Θ, чем обеспечивается непрерывное

изменение угла скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при

условии равенства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Такая схема

позволяет проводить измерение интенсивности генерируемого электронным зондом излучения

в зависимости от длины волны этого излучения (регистрировать спектр рентгеновского

излучения).

Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-интерфейса

для установки на конкретный растровый электронный микроскоп или электроннозондовый

микроанализатор, стойки управления спектрометром, управляющего компьютера.

Пломбирование спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией Inca Wave 700

не предусмотрено.

Рисунок 1 - Общий вид спектрометра рентгеновского

с волновой дисперсией Inca Wave 700

Лист № 2

Всего листов 4

Программное обеспечение

Программноеобеспечение(ПО)«INCA»являетсяспециализированнымПО

рентгеновского спектрометра и предназначено для управления кинематическим механизмом

спектрометра, накопления и обработки рентгеновского спектра, управления высоковольтными

источниками детектора рентгеновского излучения.

ПО «INCA» не может быть использовано отдельно от спектрометра рентгеновского.

Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ

и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО дифрактометра

и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты

от преднамеренных изменений.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий»

в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны

в таблице 1.

Цифровой идентификатор ПО*

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Значение

INCA

5.04

736е8е312782b2c93259е1143d27cb1b

1c008cd40е8е2537614ab9d1е529ffcb

* использовался алгоритм вычисления идентификатора ПО согласно ГОСТ Р 34.11-2012.

Метрологические и технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики спектрометра рентгеновского

с волновой дисперсией Inca Wave 700 приведены в таблице 2.

±0,00005

±0,00043

±0,0013

±0,003

±0,01

315

500

Значение

Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики

Наименование характеристики

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны

характеристического рентгеновского излучения для линии СuКα

на монокристалле фторида лития LiF (200), нм

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны

характеристического рентгеновского излучения для линии TiKα

монокристалле пентаэритринола (РЕТ), нм

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны

характеристического рентгеновского излучения для линии АlКα

на монокристалле оксифталата таллия (ТАР), нм

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны

характеристического рентгеновского излучения для линии СКα

на синтетическом многослойном материале LSM-080N, нм

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны

характеристического рентгеновского излучения для линии ВКα на

синтетическом многослойном материале LSM-200, нм

Отношение пик/фон для линии СuКα

на монокристалле фторида лития LiF (200), не менее

Отношение пик/фон для линии TiKα монокристалле

пентаэритринола РЕТ, не менее

Лист № 3

Всего листов 4

350

от 16 до 23

от 80 до 200

от 0,11436 до 0,37202

от 0,24827 до 0,80765

от 0,7313 до 2,379

от 2,2 до 7,2

от 5,8 до 19

Значение

от 210 до 230

Продолжение таблицы 2

Наименование характеристики

Отношение пик/фон для линии ОКα

на монокристалле оксифталата таллия ТАР, не менее

Отношение пик/фон для линии СКα

на синтетическом многослойном материале LSM-080N, не менее

Отношение пик/фон для линии ВКα на синтетическом многослойном

материале LSM-200, не менее

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты

распределения амплитуды импульсов по энергии к положению

центра этого распределения для отпаянного пропорционального

счетчика (SPC), линия FeKα, кристалл-анализатор LiF (200), %

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты

распределения амплитуды импульсов по энергии к положению

центра этого распределения для проточного пропорционального

счетчика (FPC), линия FeKα, кристалл-анализатор LiF (200), %

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты

распределения амплитуды импульсов по энергии к положению

центра этого распределения для проточного пропорционального

счетчика (FPC), линия СКα, кристалл-анализатор

LSM-080N, %