Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
69535-17
Наименование СИ:
Микроскопы конфокальные
Обозначение типа:
μSurf
Производитель:
Фирма "NanoFocus AG", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
04.12.2022
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 68176
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 8
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы конфокальные μSurf
Назначение средства измерений
Микроскопы конфокальные μSurf (далее по тексту - микроскопы) предназначены для
бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности
изделий в области оптического производственного контроля.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопов основан на запатентованной CMP-технологии
(Confocal Multi Pinhole). При этом исследуемая поверхность освещается через объектив
внешним источником света. До детектора (ПЗС-матрица) доходят только сфокусированные на
него световые пучки, отраженные исследуемой поверхностью. Все расфокусированные пучки
задерживаются точечной диафрагмой. Данный принцип точечного измерения, за счет
использования вращающегося непрозрачного диска с большим количеством точечных отверстий,
позволяет осуществлять полное сканирование поверхности объекта.
Конструктивно микроскопы μSurf состоят из конфокальной измерительной головки
со встроенным регулятором освещенности, состоящей из конфокального микроскопа
с источником света, в нижней части находится объектив и пьезо-привод, в верхней части -
ПЗС-камера, контроллера μSurf, прецизионного измерительного стола, массивной гранитной
плиты в виброизолированном исполнении, светодиода, объективов, джойстика, компьютера
с операционной системой не ниже Windows 7, соединительных кабелей.
Микроскопы выпускаются в четырёх модификациях: explorer, expert, custom, mobile,
различающихся диапазоном перемещения по измеряемой поверхности, а также максимальным
числом точек в одном измерении. Для модификаций explorer и expert характерно наличие
гранитной стойки в виброизолированном исполнении, имеющей форму L-образного штатива.
Модификация custom может быть выполнена в двух вариантах, имеющих П-образный
или L-образный гранитный штатив. Модификация mobile имеет мобильный тип стойки.
Результаты сканирования поверхности передаются на внешний компьютер. Управление
прибором осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением
(μsoft metrology, μsoft analysis), позволяющим проводить настройку прибора и контроль
процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять
полученные результаты.
Общий вид микроскопов конфокальных μSurf в модификациях explorer, expert, custom,
mobile с обозначением мест нанесения маркировки представлен на рисунке 1.
Схема нанесения пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места
нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 8
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов конфокальных μSurf
с обозначением мест нанесения маркировки
Места
нанесения маркировки
Лист № 3
Всего листов 8
Рисунок 2
-
Схема пломбировки от несанкционированного доступа (2),
обозначение места нанесения знака поверки (1) микроскопов конфокальных μSurf: custom
(А1 - П-образный штатив, А2 - L-образный штатив), explorer (Б), mobile (В), expert (Г)
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в конфокальных микроскопах осуществляется с
помощью специального программного обеспечения μSoft (metrology, analysis версии Standard,
Extended, Premium). Программа μsoft analysis выпускается в трех вариациях: Standard, Extended
и Premium, различающихся дополнительным набором функций для последующей обработки
бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности
изделий. Программное обеспечение (ПО) служит для настройки конфокальных микроскопов,
проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ
и обработку полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных
производится с помощью клавиатуры, мыши и джойстика.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного
компьютера.Несанкционированныйдоступкпрограммномуобеспечениюисключён
посредством ограничения прав учетной записи пользователя, наличием пароля и аппаратного
ключа разблокировки ПО (заглушки, вставляемой в порт USB компьютера перед запуском ПО).
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-
изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню
«высокий» согласно Р 50.2.077-2014.
Лист № 4
Всего листов 8
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОμSoft metrologyμSoft analysis
Номер версии (идентификационный номер) ПО v.7.Х и вышеv.7.Х и выше
Цифровой идентификатор ПО
Метрологические и технические характеристики
от 0 до 800от 0 до 160
размеров по осям Х и Y, мкм300
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение характеристики при увеличении объектива
5x10x20x50x100x
Диапазон показаний линейныхот 0 доот 0 доот 0 до
размеров по осям Х и Y, мкм 3200 1600 320
Диапазон измерений линейных
от 10 до 1001от 3 до 700
от 3 до
от 3 до 100
от 0 до 350
от 0,02 до 330
Пределы допускаемой
абсолютной погрешности
измерения линейных размеров
по осям X, Y, мкм
- в диапазоне от 3 до 9 мкм±0,01
включительно
- в диапазоне свыше 9±2,80
до 100 мкм включительно
- в диапазоне свыше 100 мкм±3,70
Диапазон показаний линейных
размеров по оси Z, мкм
Диапазон измерений линейных
размеров по оси Z, мкм
Пределы допускаемой
абсолютной погрешности
измерения линейных размеров
по оси Z, мкм
- в диапазоне от 0,02 до 0,5 мкм
включительно±0,004
- в диапазоне свыше 0,5 мкм
до 100 мкм включительно±1,410
- в диапазоне свыше 100
до 330 мкм±4,000
Диапазон показаний параметров
шероховатости поверхности--от 0,00036 до 1,80000
(R
a
, R
max
), мкм
Диапазон измерений параметров
шероховатости поверхности--от 0,01 до 1,80
(R
a
, R
max
), мкм
Предел допускаемой абсолютной
погрешности измерении
параметров шероховатости
(R
a
, R
max
), мкм
--0,012
Лист № 5
Всего листов 8
Опционально
осей (X×Y),
Таблица 3 - Основные технические характеристики
НаименованиеЗначение
характеристикиexplorerexpertcustommobile
Тип стойки L L L П Мобильная
Диапазон
перемещения:
по осям X,Y, ммот 0 до 50от 0 до 100от 0 до 100от 0 до 50
по оси Z, ммот 0 до 75 от 0 до 50от 0 до 100от 0 до 35
Размер поля
зрения вдоль
3200×32001600×1600800×800320×320160×160
число точек
в одном
оси Z
мкм
Увеличение
объективов,5x, 10х, 20х, 50х, 100x
крат
Максимальное
984×984984×984
512×5121200×12001200×1200512×512
измерении X, Y
2048×20482048×2048
Диапазон
измерений
вдоль
в
е
рти
к
альн
о
й
от 0 до 350от 0 до 350от 0 до 350 или 550от 0 до 350
не более
(прецизионное
перемещение),
мкм
Габаритные
размеры, мм,
не более
- высота328526450900417
- ширина268378400750136
- длина707799862 1614234
Ма
сс
а, кг,
28 48 80300 5,5
Электропитание
осуществляется
от сети
переменного
тока
напряжением, Вот 100 до 240
частотой, Гц 50/60
Потребляемая
мощность, Вт,459055050
не более
Время
Источник света
измерения, сек
от 2 до
10
Светодиодный источник света высокой мощности (λ = 505/475 нм),
средняя наработка на отказ 50000 часов
Лист № 6
Всего листов 8
от 15 до 35
Значение
expertcustommobile
Наименование
характеристикиexplorer
Условия
эксплуатации:
температура
окружающей
среды, ºС
относительная
влажность,%,
не более
80
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации
и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
1 шт.
Количество
-
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
НаименованиеОбозначение
Микроскопы конфокальные μSurf модификации
explorer/ expert/ custom/mobile в составе:
конфокальная измерительная головка с
моторизованной осью Z;
объективы (5х, 10х, 20х, 50х, 100х)*
с пьезо-приводом;
прецизионный измерительный стол*;
контроллер μSurf;
джойстик (ручной 3D-навигатор);
виброизоляционный гранитный штатив (стойка)*
Компьютер-
CD-диск с программным обеспечением-
Аппаратный ключ для разблокировки ПО-
Комплект соединительных кабелей-
Методика поверкиМП 029.М44-17
Руководство по эксплуатации -
*определяется опционально по согласованию с заказчиком
Поверка
осуществляется по документу МП 029.М44-17 «Государственная система обеспечения
единства измерений «Микроскопы конфокальные μSurf. Методика поверки», утвержденному
ФГУП «ВНИИОФИ» «20» марта 2017 г.
Основные средства поверки:
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (Регистрационный номер 41678-09)
TGZ2 TGZ3
110 520
Таблица 5 - Основные метрологические характеристики
TGZ1
Диапазон значений высоты выступов в шаговых20
структурах меры, нм
Номинальное значение шага периодической
структуры меры, мкм
3,00
Лист № 7
Всего листов 8
2 Объект-микрометр ОМО (Регистрационный номер 590-63)
Основные метрологические характеристики:
длина шкалы 1001,4±3 мкм, длина между 10 делениями 100±2 мкм, среднее значение
шаговой структуры 10±0,1 мкм
3 Меры длины концевые плоскопараллельные из состава рабочего эталона единицы
длины 3-го разряда в диапазоне от 0,5 до 100 мм по ГОСТ Р 8.763-2011
Основные метрологические характеристики:
длина меры №1 (1±0,0002 мм), №1,33 (1,33±0,0002 мм), № 1,1 (1,1±0,0002 мм)
4 Меры шероховатости поверхности в ранге рабочего эталона 3-го разряда
по ГОСТ 8.296-2015
Основные метрологические характеристики:
диапазон шероховатостей от 0,01 до 1,80 мкм, пределы допускаемой погрешности 1%
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса микроскопов (место нанесения указано
на рисунке 2)
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
конфокальным μSurf
Техническая документация фирмы-изготовителя «NanoFocus AG», Германия;
ГОСТ 8.296-2015 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне
от 0,001 до 750 мкм».
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Изготовитель
«NanoFocus AG», Германия
Max-Planck-Ring 48, 46049 Oberhausen, Germany
Тел/Факс: +4920862000-0 / +4920862000-99
E-mail:
Заявитель
Закрытое акционерное общество Научно-производственная фирма «УРАН»
(ЗАО НПФ «Уран»)
ИНН 7805269568
198099, г. Санкт-Петербург, ул. Промышленная, д.5
Телефон: +7(812) 335-09-75
Факс: +7(812) 335-09-76
E-mail:
Лист № 8
Всего листов 8
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: (495) 437-56-33, факс: 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 59636-15 | Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные | SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP | Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания | 6 месяцев | Перейти |
| 563-72 | Микроскопы большие инструментальные | БМИ-1 | Нет данных | Нет данных | Перейти |
| 35698-07 | Микроскопы инструментальные | ИМЦЛ 200х75,Б | ОАО "ПО "Новосибирский приборостроительный завод", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
| 1354-60 | Микроскопы измерительные | МИ-1 | Организация Новосибирского совнархоза, г.Новосибирск | Нет данных | Перейти |
| 22102-01 | Микроскопы электронные просвечивающие | Morgagni, Tecnai 12, Tecnai 20, Tecnai 30 | Фирма "FEI Company/ Philips Electron Optics", Нидерланды | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений