Приложение к свидетельству № 67677
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300
Назначение средства измерений
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее - микроскоп) предназначен
для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов,
а также суспензий микро- и наночастиц, нанесенных на полимерную или углеродную пленку-
подложку.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на прохождении параллельного пучка ускоренных
электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на неоднородностях
структуры или состава объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной
непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее
фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует
определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную
измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-
темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с
блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует
главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным
механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор
сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе
специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное
обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.
Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны
входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий
изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом
второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится
объектодержатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение
изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном,
в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен
оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения
на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе
специализированного компьютера.
ПломбированиемикроскопаэлектронногопросвечивающегоTITAN80-300не
предусмотрено.
Лист № 2
Всего листов 4
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «Titan» является специализированным ПО микроскопа
и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки
результатов измерений. ПО «Titan» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ
и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные
данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных
изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий»
в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны
в таблице 1.
Цифровой идентификатор ПО
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Значение
Titan
1.6.4
c7477b08еa314е3d2b2c65е435
890d2е3213dc52d306644bbad1
3f8625a994a8
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопа приведены в
таблице 2.
Лист № 3
Всего листов 4
±(0,4+0,06L)
±6
±4
Значение
от 0,0003 до 10
от 45 до 1550000
200, 300
от 340 до 400
10
1430 × 2140 × 235
700x800x1800
1200х600х1300
880х760х1990
680х660х860
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой погрешности измерений линейных
размеров при ускоряющем напряжении 300кВ
- в диапазоне от 0,0003 мкм до 0,05 включ. мкм, нм
- в диапазоне от св. 0,05 мкм до 1 мкм включ., %
- в диапазоне от св. 1 мкм до 10 мкм, %
(где L - линейный размер, нм)
Диапазон регулировки увеличений, крат
Значения ускоряющего напряжения, кВ
Напряжение питания от трехфазной сети переменного
тока частотой 50 Гц, В
Максимальная потребляемая мощность, кВ
×
А
Габаритные размеры (длина х ширина х высота)
основных блоков, мм, не более:
- консоль микроскопа с колонной
- стойка TEM/Acc
- стойка питания микроскопа
- генератор высокого напряжения
- система охлаждения
Условия эксплуатации:
-температура окружающего воздуха,
о
С
- относительная влажность воздуха, %, не более
от +19 до +21
80
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист
эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплектность представлена в таблице 3.
Таблица 3
Наименование
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Количество
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 69049-17 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN
80-300. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.
Основные средства поверки:
- Государственный стандартный образец параметров шаговой структуры в тонком слое
монокристаллического кремния ГСО 10030-2011.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Лист № 4
Всего листов 4
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
электронному просвечивающему TITAN 80-300
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Изготовитель
Фирма «FEI Ltd.», США
Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124, USA
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Национальный исследовательский
центр «Курчатовский институт» (НИЦ «Курчатовский институт»)
Адрес: 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, д.1
Тел./факс: (499) 196-95-39
E-mail:
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств
поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс (495) 935-97-77
E-mail:
Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа регистрационный номер RA.RU.311409 (приказ Росаккредитации
от 19.11.2015 г. № А-9775).
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
