Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые MSE, ГРСИ 68915-17
Номер госреестра:
68915-17
Наименование СИ:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Обозначение типа:
MSE
Производитель:
Фирма "Shimadzu Corporation", Япония
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
23.10.2022
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 67539
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE
Назначение средства измерений
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE (далее по тексту -
течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего
контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и
объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов,
содержащих гелий.
Описание средства измерений
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр,
настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется
потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или
вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на
регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный
насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с
помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней
панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются
ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле
по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе
массы гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать
ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.
При выборе другой массы, изменяется проводимость ионного фильтра на выбранный газ.
Течеискатели настроены на регистрацию изотопа гелия
4
He.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений
осуществляется с помощью панели управления, состоящей из ЖК-дисплея и пленочной
клавиатуры.
Течеискатели могут применяться для обнаружения мест нарушения герметичности
различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение
её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу: «Точный тест», «Грубый
тест» переключение между которыми осуществляется как в ручном, так и в автоматическом
режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели имеют 5 модификаций, отличающиеся конструктивным исполнением,
массой, габаритными размерами, скоростью форвакуумной откачки насосов, входящих в состав
вакуумной системы течеискателя.
Модификация MSE-2200S является базовой. Модификация MSE-2203S дополнительно
оснащена внешним форвакуумным насосом и тележкой. Модификация MSE-3200S и MSE-4200S
могут быть дополнительно дооснащены форвакуумными насосами. Модификация MSE-2201S
оснащена встроенным сухим форвакуумным насосом.
Пломбировка корпуса течеискателя не предусмотрена.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателей приведены на рисунках 1 - 3.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 - Внешний вид
течеискателя модификации
MSE-2203S
Рисунок 2 - Внешний вид
течеискателей
модификаций MSE-2200S
и MSE-2201S
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное
изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении
неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности
различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение
её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО служит для управления работой течеискателя. ПО выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов,
клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка
на пик гелия);
- прием и обработка измерительной информации от модуля масс-спектрометрического
анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного ПО
Идентификационныеданные (признаки) ПОЗначение
MSE-MSE-MSE-MSE-MSE-
Модификация течеискателя
2200S2201S2203S3200S4200S
Идентификационное наименование ПО DLS-2000S
Номер версии (идентификационный номер) ПОне ниже 5.00A1
Информация о версии ПО доступна через меню прибора: номер версии отображается
на дисплее течеискателя.
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических
характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений
течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Рисунок 3 - Внешний вид
течеискателей
модификаций MSE-3200S
и MSE-4200S
Место знака
поверки
Лист № 3
Всего листов 5
Метрологические и технические характеристики
от 1·10до 1·10
от 1·10до 1
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики течеискателей
Значения
Наименование характеристики MSE- MSE- MSE- MSE- MSE-
2200S 2201S 2203S 3200S 4200S
Диапазон измерений потока газа
-12-2
в вакууме по входутечеискателя, Па·м
3
/с*
Диапазон показаний потока газа
-13
в вакууме по входутечеискателя, Па·м
3
/с*
Диапазон показаний потока газа
в вакууме при работе способом щупа,от 1·10
-8
до 1
Па·м
3
/с
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений, % от
измеряемой величины (где Q
нпи
-
значение нижнего предела измерений,
Q
изм
- значениеизмеренногопотока,
Па·м
3
/с)
- в режиме «Точный тест»±(0,30 + Q
нпи
/Q
изм
)·100
- в режиме «Грубый тест» ±50
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па∙м
3
/с образована в соответствии
с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного
из уравнения состояния идеального газа.
1,8(30)
1,8(30)
24000
от +8 до +38
Таблица 3 - Основные технические характеристики течеискателей
Значения
Наименование характеристики MSE- MSE- MSE- MSE- MSE-
2200S 2201S 2203S 3200S 4200S
Время установления выходного сигнала,
мин, не более
10
220±10
50±1
6,6(110)15(250)1,8(30)
280
508
529
45
600
1008
870
240
280 340 600
575 980 1008
529 750 725
58 100170
660
8
Питание от сети переменного тока
- напряжение, В
- частота, Гц
Скорость форвакуумной откачки, м
3
/ч
(л/мин)
Габаритные размеры, мм, не более
ширина
высота
глубина
Масса, кг, не более
Потребляемая мощность, В·А, не более
Средняя наработка до метрологического
отказа, ч
Средний срок службы, лет
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур
окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха
(без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа
80
от 84,0 до 106,7
Лист № 4 Trial
листов 5
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом
наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Течеискатель соответствующей модификации
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
ОбозначениеКол-во
в соответствии с заказом 1 шт.
-1 экз.
МП 231-0043-20171 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0043-2017 «Течеискатели масс-спектрометрические
гелиевые серии MSE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
25.05.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме
в диапазоне от 10
-12
до 1 Па∙м
3
/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10
-12
до 10
-9
Па·м
3
/с
не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10
-9
до 1 Па·м
3
/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия
эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям
масс-спектрометрическим гелиевым серии MSE
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания.
Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометри-
ческого метода контроля герметичности
Техническая документация Shimadzu Corporation, Япония
Изготовитель
Shimadzu Corporation, Япония
Адрес: Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto 604-8511, Japan
Web-сайт:
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Современное вакуумное оборудование»
(ООО «Современное вакуумное оборудование»)
ИНН 7705965473
Адрес:115088, Москва, ул. Угрешская, д. 2, стр.22
Телефон: +7 (495) 663-30-39, факс:+7 (495) 663-30-67
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 5
Всего листов 5
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению испытаний
средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 23.03.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 14649-95 | Масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой | ELEMENT, SOLA | Фирма "Finnigan MAT", США | 1 год | Перейти |
| 49773-12 | Комплекс измерения масс | U-Gd твэл КИМ U-Gd | ИЦ ОАО "Машиностроительный завод", г.Электросталь | 6 месяцев | Перейти |
| 18331-02 | Хроматографы жидкостные с масс-селективным детектором | Agilent 1100 Series LC/MSD, Agilent 1100 Series LC/MSD Trap VL & SL | Фирма "Agilent Technologies", США | 1 год | Перейти |
| 18331-99 | Хроматографы жидкостные с масс-селективным детектором | 1100 Series LC/MSD | Фирма "Hewlett Packard", США | 1 год | Перейти |
| 17542-98 | Масс-спектрометрическая газоаналитическая система | Гранат | Центр физ.-техн. исследований "Аналитик", г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений