Untitled document
Приложение к свидетельству № 66873
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 9
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установки динамические «Микрогаз-ФМ» – рабочие эталоны 1-го разряда
Назначение средства измерений
Установки динамические «Микрогаз-ФМ» – рабочие эталоны 1-го разряда (далее уста-
новки) предназначены для воспроизведения единицы объемной доли (массовой концентрации)
компонентов в воздухе или азоте, приведенных в таблицах 3 и 4, и ее передачи рабочим средст-
вам измерений в соответствии с ГОСТ 8.578-2014 ГСИ. Государственная поверочная схема для
средств измерений содержания компонентов в газовых средах.
Установки применяются в комплекте с рабочими эталонами - стандартными образцами
состава: газовыми смесями в баллонах под давлением и источниками микропотоков газов и
паров по ГОСТ 8.578-2014.
Описание средства измерений
Принцип действия установок с термодиффузионным каналом заключается в смешении
потоков исходного газа, проходящего в термостате с контролируемой температурой, и газа-
разбавителя, расход которых измеряется и регулируется с помощью регуляторов массового
расхода газа. В качестве исходного газа используются источники микропотоков (ИМ), пред-
ставляющие собой ампулу с проницаемой стенкой, заполненную жидкостью, сжиженным газом
или твердым веществом. При заданной температуре в термостате вещество диффундирует через
стенку ампулы в поток газа-разбавителя с постоянной скоростью, характеризующейся произво-
дительностью ИМ.
Принцип действия установок с динамическим каналом разбавления заключается в
смешении потоков исходного газа и газа-разбавителя, расход которых измеряется и регулиру-
ется с помощью регуляторов массового расхода газа. В качестве исходного газа используются
газовые смеси в баллонах под давлением.
Конструктивно установки представляют собой одноблочный прибор, построенный по
модульной схеме, в состав модуля входит газовая система и термостат (термодиффузионный
канал) или газовая система и смеситель (канал динамического разбавления) с микропроцессор-
ными устройствами управления.
На передней панели находится панель управления с цифровым дисплеем для
отображения информации. Управление возможно как ручное путем задания режима работы с
клавиатуры, так и автоматическое от программы с ПК.
В качестве газа-разбавителя используются газы поверочные нулевые (ПНГ): очищен-
ный воздух, полученный при помощи генератора чистого воздуха или азот газообразный
особой частоты по ГОСТ 9293-74.
Установки могут иметь до 4-х термодиффузионных каналов (термостатов) и до 4-х
каналов динамического разбавления. Газовые линии каналов выполнены из стали 12Х18Н10Т.
Конструктивное исполнение: мобильные (переносные с автономным питанием) и
лабораторные (настольные, стационарные).
Общий вид исполнения установок представлен на рисунках 1 и 2. При наличии
меньшего или большего числа термостатов и каналов потоков газов, внешний вид установок
может изменяться.
Исполнение установки – обыкновенное по ГОСТ 15150.
Установки не предназначены для приготовления взрывоопасных смесей.
Установки имеют следующие выходные сигналы:
– показания цифрового дисплея;
– цифровой выход RS-232.
Установки «Микрогаз-ФМ» выполнены на единой конструктивной и элементной базе
по блочному модульному принципу и trial различные модели, которые отличаются количеством
термодиффузионных каналов и каналов динамического разбавления (см. таблицу 1).
Лист № 2
Всего листов 9
Модель
Количество
диффузионных
каналов
Термодиффузионная
Комбинированная
Таблица 1 – Базовые модели установок динамических «Микрогаз-ФМ»
Количество
Конструктивноеканалов
исполнениединамического
разбавления
«Микрогаз-ФМ02»нет2
«Микрогаз-ФМ03» Разбавительнаянет3
«Микрогаз-ФМ04»нет4
«Микрогаз-ФМ10» 1 нет
«Микрогаз-ФМ20» 2 нет
«Микрогаз-ФМ30» 3 нет
«Микрогаз-ФМ40» 4 нет
«Микрогаз-ФМ11» 11
«Микрогаз-ФМ12» 12
«Микрогаз-ФМ13» 13
«Микрогаз-ФМ14» 14
«Микрогаз-ФМ21» 21
«Микрогаз-ФМ22» 22
«Микрогаз-ФМ23» 23
«Микрогаз-ФМ24» 24
«Микрогаз-ФМ31» 31
«Микрогаз-ФМ32» 32
«Микрогаз-ФМ33» 33
«Микрогаз-ФМ34» 34
«Микрогаз-ФМ41» 41
«Микрогаз-ФМ42» 42
«Микрогаз-ФМ43» 43
«Микрогаз-ФМ44» 44
«Микрогаз-ФМ02М» Разбавительнаянет2
«Микрогаз-ФМ10М» Термодиффузионная 1 нет
«Микрогаз-ФМ11М» Комбинированная 11
Примечание:
Две цифры в окончании названия лабораторных установок «Микрогаз-ФМХХ» свидетельст-
вуют о количестве (до 4-х) термостатов (первая цифра) и количестве разбавительных каналов
формирования потоков газа (вторая цифра);
В названии мобильных установок «Микрогаз-ФМХХМ» после двух цифр ставится дополни-
тельная буква «М».
Лист № 3
Всего листов 9
Рисунок 2 – Общий вид установки «Микрогаз-ФМ» лабораторного исполнения
Программное обеспечение
Установки имеют:
– встроенное программное обеспечение;
– автономное программное обеспечение.
Встроенное программное обеспечение (ПО) осуществляет следующие функции:
– управление работой термостатов и регуляторов массового расхода;
– расчет содержания и погрешности приготовления генерируемого компонента;
– отображение результатов измерения температуры в термостатах;
– отображениерезультатовизмерениярасходовгазоввканалахформированияпотоковгаза;
– передачу результатов измерений по интерфейсу цифровой связи с ПК;
– контроль целостности программных кодов ПО, настроечных и калибровочныхконстант;
– контроль общих неисправностей (связь, конфигурация).
Уровень защиты встроенного ПО в соответствии с Р 50.2.077-2014 – «средний».
Влияние встроенного ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Автономное ПО базируется на операционной системе Microsoft Windows иосуществляет
следующиефункции:
– управление работой термостатов и регуляторов массового расхода;
– расчет содержания и погрешности приготовления генерируемого компонента;
– функция приёма данных от установок;
– отображение результатов измерений на экран персонального компьютера (ПК);
– просмотр параметров установок.
К метрологически значимой части ПО относится файл «mik.exe».
Уровень защиты автономного ПО в соответствии с Р 50.2.077-2014 – «средний».
Влияние автономного ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Место пломбировки от несанкцио
нированного доступа и нанесения
знака поверки
Рисунок 1 – Общий вид установки «Микрогаз-ФМ» мобильного исполнения
Место пломбировки от несанкцио
нированного доступа и нанесения
знака поверки
Лист № 4
Всего листов 9
Идентификационные данные (признаки)
0xF7D839EF
d40ba00c
файл «mik.exe»
Алгоритм вычисления цифрового идентифика-
тора
CRC-32
CRC-32
*Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения должен быть не ниже
указанного в таблице.
Таблица 2 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (алгоритм)
Встроенное ПО
MICROGAZ
5.0
Автономное ПО
Микрогаз-ФМ
5.0
Метрологические и технические характеристики
Таблица 3 – Метрологические характеристики термодиффузионного канала
Диапазон воспроизведенияПределы допускаемой
Компонентмассовой концентрацииотносительной
целевого компонента
1)
, мг/м
3
погрешности
2)
, %
SO
2
, CS
2
, NO
2
, Cl
2
, HCl,от 4·10
-2
до 0,1 включ.±10
CH
3
SH, C
2
H
5
SH, C
4
H
9
SHсв. 0,1 до 30 включ.±8
св. 30 до 500±7
H
2
S, NН
3
от 4·10
-2
до 0,1 включ.±10
св. 0,1 до 30 включ. ±8
св. 30 до 250 ±7
CH
2
O от 4·10
-2
до 0,1 включ.±10
св. 0,1 до 30 включ.±8
св. 30 до 80±7
Органические соединения от 4·10
-2
до 0,1 включ.±10
св. 0,1 до 30 включ.±8
св. 30 до 1000±7
Примечания:
1)
Диапазоны воспроизведения массовой концентрации определены для следующих
условий:
– для одного термодиффузионного канала;
– для минимальных и максимальных значений производительности источников
микропотоков (ИМ) на конкретные вещества, приведенные в описании типа на ИМ;
– для минимальных и максимальных значений объемного расхода установки, равных 30 и
2500 см
3
/мин, соответственно.
Расчет массовой концентрации компонента в ГС (С в мг/м
3
) при использовании ИМ с
конкретными значениями производительности (G в мкг/мин) и объемного расхода
(Q дм
3
/мин) проводится по формуле
С=
G
Q
При использовании в установке более одного термодиффузионного канала значения
концентраций для одного компонента суммируются.
Лист № 5
Всего листов 9
2)
Пределы допускаемой относительной погрешности термодиффузионного канала
установлены при следующих условиях:
–прииспользованииисточниковмикропотоковИМутвержденноготипас
производительностью < 1 мкг/мин с относительной погрешностью не более 7 %,
≥ 1 мкг/мин с относительной погрешностью не более 5 %;
– при использовании в качестве газа-разбавителя очищенного воздуха от генератора
нулевого воздуха утвержденного типа (например, генератор ZAG7001 или модели 701)
для NO
2
, NH
3
, SO
2
, H
2
S в диапазоне до 1 мг/м
3
;
для остальных концентраций используется газ-разбавитель – очищенный воздух,
полученный при помощи генератора нулевого воздуха, азот газообразный особой чистоты
по ГОСТ 9293-74.
от 1,0·10
-4
до 1,0 10
-3
включ.
H
2
S, SO
2
, NO
2
,
NO, F
2
, NH
3
,
HCl, HF, Cl
2
, и
т.п.
св 1,0 10
-3
до 1
менее ±2,0
от 1,0·10
-4
до 1,0 10
-3
включ.
С
2
Н
6,
С
2
Н
4
, С
3
Н
8
,
С
3
Н
6
, С
4
Н
10
,
С
4
Н
8
, С
5
Н
12
, H
2
,
СН
4
,
св 1,0 10
-3
до 2,5
1)
менее ±2,0
±(св 2,0 до 3,0 включ.)
от 1,0·10
-4
до 1,0 10
-3
включ.
Ar, He
св 1,0 10
-3
до 2,5
включ.
X
B
Таблица 4 – Метрологические характеристики канала динамического разбавления
ДиапазонПределы допускаемойПределы допускаемой
воспроизведения относительной относительной
Компонентобъемной (молярной)погрешностипогрешности,%
доли компонента, % аттестации исходной
ГС, %
менее ±2,0
± 4
2
+(
Δ(X
B
)
P
×
100)
2
±(св. 2,0 до 3,0 включ.)
X
± 5
2
+(
Δ(X
B
)
P
×
100)
2
B
±(св. 3,0 до 4,0)
менее ±1,0
±(св. 1,0 до 2,0 включ.)
±(св. 2,0 до 4,0)
±6,0
±3,0
±4,0
±5,0
X
± 4
2
+(
Δ(X
B
)
P
×
100)
2
B
±(св. 2,0 до 3,0 включ.)
X
± 5
2
+(
Δ(X
B
)
P
×
100)
2
B
±(св. 3,0 до 4,0)
±6,0
менее ±1,0
±(св. 1,0 до 2,0 включ.)
±(св. 2,0 до 4,0)
±3,0
±4,0
±6,0
X
± 4
2
+(
Δ(X
B
)
P
×
100)
2
B
X
B
± 5
2
+(
Δ(X
B
)
P
×
100)
2
±(св 3,0 до 4,0)±6,0
менее ±1,0±3,0
±(св 1,0 до 2,0 включ.)±4,0
±(св 2,0 до 4,0)±6,0
Лист № 6
Всего листов 9
Компонент
от 1,0·10
-2
до 2,5
включ.
О
2
, N
2
от 1,0·10
-2
до 2,5
включ.
менее ±2,0
X
± 4
2
+(
Δ(X
ГР
)
×
100)
2
ГС
±(св. 2,0 до 3,0 включ.)
Диапазон
воспроизведения
объемной (молярной)
доли компонента, %
Пределы допускаемой
относительной
погрешности,%
Пределы допускаемой
относительной
погрешности
аттестации исходной
ГС, %
менее ±2,0
±(св 2,0 до 3,0 включ.)
±(св 3,0 до 4,0)
менее ±1,0
±(св 1,0 до 2,0 включ.)
±(св 2,0 до 4,0)
±3,0
±4,0
±6,0
±3,0
±4,0
±6,0
X
ГС
± 5
2
+(
Δ(X
ГР
)
×
100)
2
от 1,0·10
-4
до 1,0 10
-3
включ.
СО, СО
2
св.2,2 до 100
±(св 3,0 до 4,0) ±6,0
± менее 1,0 ±3,0
св 1,0 10
-3
до 2,5 ±(св. 1,0 до 2,0 включ.) ±4,0
±(св. 2,0 до 4,0) ±5,0
от 1 до 2,2 включ.
2)
менее ±1,0 ±3,0
(газ-разбавитель – ±(св. 1,0 до 2,0 включ.) ±4,0
СН
4
воздух)
3)
(газ-разбавитель –
±(св. 3,0 до 4,0)±5,0
азот)
Примечания: 1 Пределы допускаемой относительной погрешности канала динамического
разбавления установлены при следующих условиях:
1.1 При работе с ГС в баллонах под давлением - рабочими эталонами с объемной долей опре-
деляемого компонента для;
– NО, NO
2
, SO
2
, H
2
S, и NH
3
и другие химически активных газов в азоте (воздухе)
не более 2 %;
– СН
4
и другие углеводороды в азоте (воздухе) не более 50% НКПР (нижний концентрацион-
ныйпредел распространения пламени), значениякоторых приведенывГОСТР 52350.29.1-2010; –
для остальных газов: не более 5 %.
1.2 При использовании в качестве газа-разбавителя:
а) очищенного воздуха от генератора нулевого воздуха (например, фирмы Environnement s.a.,
мод ZAG7001 или других генераторов нулевого воздуха, зарегистрированных ФИФ по ОЕИ с
аналогичными характеристиками) или эталона сравнения – синтетического воздуха по
ГОСТ 8.578-2014 для следующих диапазонов:
NО, NO
2
, SO
2
, H
2
S, и NH
3
в диапазоне до 1 млн
-1
;
СН
4
, СО в диапазоне до 10 млн
-1
;
б) очищенного воздуха от генераторов чистого воздуха, зарегистрированных ФИФ по ОЕИ,
азота газообразного особой чистоты по ГОСТ 9293-74 (для СО
2
).
– (Х
в
)
р
и Х
в
- нормированное содержание компонента в газе-разбавителе и содержание компо-
нента, подлежащего воспроизведению, соответственно, млн
-1
.
2)
1)
Для создания ГС ≤ 50 % НКПР используется газ-разбавитель – воздух, для ГС > 50 %
НКПР в качестве газа-разбавителя применяется только азот. (НКПР - нижний концентрацион-
ный предел распространения пламени, значения которых приведены в ГОСТ Р 52136-2003).
Лист № 7
Всего листов 9
ДиапазонПределы допускаемойПределы допускаемой
воспроизведения относительной относительной
Компонентобъемной (молярной)погрешностипогрешности,%
доли компонента, % аттестации исходной
ГС, %
3)
2)
В процессе работы необходимо исключить возможность образования взрывоопасных
газовых смесей.
4)
3)
Верхний предел диапазона воспроизведения (100 %) справедлив только в случаях калиб-
ровки генераторов по метану с использованием ГСО 10540-2014.
Диапазоны измерений согласовываются с производителем при заказе.
Пределы допускаемой относительной
погрешности поддержания расхода в
термодиффузионных каналах и каналах
динамического разбавления в течение 6
часов непрерывной работы, %
±1,0
±1,0
±3
±3
от +30 до +80
от +30 до +40
±0,2
±0,2
Параметр
Микрогаз-ФМ02 –
Микрогаз-ФМ44
от 30 до 300
от 30 до 600
от 30 до 600
от 250 до 2500
Таблица 5 – Технические характеристики установок «Микрогаз-ФМ»
Значение
Микрогаз-ФМ02М,
Микрогаз-ФМ10М,
Микрогаз-ФМ11М
Диапазон измерений расхода через тер-
мостат (по воздуху или азоту, для 20 °Сот 30 до 300
2)
и 101,3 кПа.)
1)
, см
3
/мин
Диапазон измерений расхода по термо-
диффузионному каналу (по воздуху или-
азоту, для 20 °С и 101,3 кПа.)
1)
, см
3
/мин
3
см /мин:
от 10 до 100
от 100 до 1000
Диапазоны измерений расхода в каналах
динамического разбавления
1)
(по возду-от 10 до 100
ху или азоту, для 20 °С и 101,3 кПа.)
1)
,
от 500 до 5000
от 100 до 1000
св. 30 до 100 % от верхнего предела
диапазона измерений
±1,5
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений (задания) рас-
хода в термодиффузионных каналах и
каналах динамического разбавления
в диапазоне
от 10 до 30 % включ. от верхнего преде-
ла диапазона измерений±2,0±2,0
±1,5
от 2 до 500
от 2 до 100
Диапазон коэффициентов разбавления
Пределы допускаемой относительной
погрешности коэффициента разбавле-
ния, %
Диапазоны задания температуры в тер-
мостате, °С
Пределы допускаемой абсолютной по-
грешности задания температуры trial-
стата
Лист № 8
Всего листов 9
Параметр
Микрогаз-ФМ02 –
Микрогаз-ФМ44
±0,2
±0,2
Габаритные размеры, мм, не более
длина 490
ширина 650
высота 190
длина 330
ширина 410
высота 170
Значение
Микрогаз-ФМ02М,
Микрогаз-ФМ10М,
Микрогаз-ФМ11М
Пределы допускаемой абсолютной по-
грешности поддержания заданной тем-
пературы в термостате в течение 6 часов
непрерывной работы, °С
Время выхода на режим, ч, не более
по каналу динамического разбавления
по термодиффузионному каналу
1
3
0,5
3
Габаритные размеры камеры термоста-диаметр 12диаметр 12
та, мм, не более длина 185 длина 135
Масса, кг, не более 45 10
Напряжение питания, В
переменный ток постоянный ток
(230±23)от 11 до 15
-2,5
Потребляемая мощность, В А, не более300150
Величина потребляемого постоянного
тока, А, не более,
Частота переменного тока, Гцот 49 до 51-
Условия эксплуатации:
– температура окружающего воздуха, ºСот 15 до 25от 15 до 25
– атмосферное давление, кПаот 84,0 до 106,7от 84,0 до 106,7
– относительная влажность окружающего
воздуха, %, не более8080
Примечание:
1)
для каждого канала ;
2)
диапазон расходов для температуры термостата 30
о
С.
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на
табличку, расположенную на задней панели установки или на приборной панели для переносных
моделей.
Комплектность средства измерений
1 шт.
Количество
1 шт.
Таблица 6 - Комплектность установки «Микрогаз-ФМ»
Наименование изделия
Установка динамическая «Микрогаз-ФМ»
1)
Комплект ЗИП (внешние коммутируемые устройства - смесители, газо-
вые линии, фитинги)
Руководство по эксплуатации СКБД.229655.016 РЭ
Паспорт СКБД.229655.016 ПС
Методика поверки МП 242-2080-2017
Ведомость эксплуатационных материалов СКБД.229655.016 ВЭ
1 экз.
1 экз.
1 экз.
1
Ведомость ЗИП СКБД.229655.016 ЗИ1
Примечания:
1)
1)
исполнение установки определяется при заказе
2) Установки могут дополнительно комплектоваться внешними устройствами коммутации га-
зовых линий, генераторами нулевых газов, источниками газов – ГС или источниками микропо-
токов ИМ утвержденного типа, которые не оказывают влияния на заявленные метрологические
характеристики установок.
Лист № 9
Всего листов 9
Поверка
осуществляется по документу МП-242-2080-2017 «Установки динамические «Микрогаз-ФМ» -
рабочие эталоны 1-го разряда. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ
им. Д.И.Менделеева» 10 мая 2017 г.
Основные средства поверки:
– комплексы, входящие в состав Государственного первичного эталона единиц моляр-
ной доли и массовой концентрации компонентов в газовых средах ГЭТ 154-2011;
– эталоны сравнения – газовые смеси в баллонах под давлением и источники микропо-
токов газов и паров с содержанием определяемых компонентов по ГОСТ 8.578-2014.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевые панели установок, как указано на рисунках 1 и 2.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установкам
динамическим «Микрогаз-ФМ» - рабочим эталонам 1-го разряда
ГОСТ 8.578-2014 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
содержания компонентов в газовых средах
Технические условия ТУ 4215-011-22965525-013
Изготовитель
Обществосограниченнойответственностью«Специальноеконструкторское
бюро-хроманалитик» (ООО «СКБ-хроманалитик»)
ИНН 4312148095
Юридический адрес: 613043, Кировскаяобл, Кирово-Чепецкий р-н, д. Лобань, ул. Ручейная, 3
Тел.: (83361) 40-158
Е-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес:190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт:
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению
испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 23.03.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.