Приложение к свидетельству № 66389
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS
Назначение средства измерений
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS (далее по тексту - микроскоп)
предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа в контактном режиме основан на взаимодействии
кантилевера с исследуемой поверхностью. Острие кантилевера находится в непосредственном
соприкосновении с поверхностью, при этом силы притяжения и отталкивания, действующие со
стороны образца, уравновешиваются силой упругости консоли кантилевера. Поддерживая с
помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между кантилевером и поверхностью
образца, регистрируют положение острия кантилевера. Над остриём кантилевера расположена
зеркальная площадка, на которую падает и от которой отражается луч лазера. Когда кантилевер
опускается и поднимается на неровностях сканируемой поверхности, отраженный луч отклоняется,
и это отклонение регистрируется фотодетектором. Далее, путем оцифровки оптического отраженного
излучения, происходит определениегеометрических параметровповерхностиисследуемого объекта.
В режиме прерывистого контакта кантилевер совершает колебательные движения по
синусоидальному закону. Когда кантилевер и образец находятся близко друг к другу во время
каждого колебательного цикла, остриё проходит через потенциал взаимодействия, в который
входят компоненты дальнодействующего притяжения и краткосрочного отталкивания. Силы,
возникающие между острием и образцом, вызывают изменения в амплитуде и фазе
колеблющегося кантилевера, что позволяет исследовать мелкие морфологические особенности.
Микроскоп состоит из координатного столика, сканера, детектора, гранитного моста
основы микроскопа, компьютера, головного электронного блока, бокса управления столиком
XY, контроллера, виброизоляционной камеры.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены
на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2 - Место размещения маркировки,
нанесения знака поверки микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью компьютера с использованием
специализированного программного обеспечения PicoView (далее по тексту - ПО). В ПО
интегрированы окна для управления цифровыми камерами и отображения результата
изображений видео или стоп-кадров.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
Значение
PicoView
1.18.2 и выше
-
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 2000 до 10000
от 0,5 до 90000,0
от 20 до 600
от 0,05 до 1000,00
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, нм
Диапазон показаний линейных размеров в плоскости XY, нм
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), нм
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали (ось Z), нм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
линейных размеров, %:
- в плоскости XY
- по вертикали (ось Z)
±15
±10
Место нанесения
знака поверки
Место размещения
маркировки
Лист № 3
Всего листов 5
Значение
от 100 до 240
50/60
1,6
815
880
1410
250
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Потребляемая мощность, кВт, не более
Габаритные размеры, мм, не более
- высота
- ширина
- длина
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность воздуха, %, не более
- атмосферное давление, кПа
от +18 до +23
80
от 96 до 104
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на заднюю
панель корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.
Комплектность средства измерений
-
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
2 шт.
Обозначение
Количество
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS,
зав .№ US11440201 в составе:
-Координатный столик, зав. № 3913001
-Сканер, зав. № us08380210
-Детектор
-Гранитный мост основы микроскопа
-Компьютер, зав. № us13070194
-Монитор, зав. № cn-0ygp39-72872-44f-al4l,
зав. № cn-0ygp39-72872-44s-dcul
-Головной электронный блок, зав. № us11440201
-Бокс управления столиком XY
-Контроллер, зав. № us09490261
-Виброизоляционная камера, зав. № 130062
CD-диск с программным обеспечением
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
-
-
МП 002.М44-17
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 002.М44-17 «Государственная система обеспечения единства
измерений. Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS. Методика поверки», утвержденному
ФГУП «ВНИИОФИ» 23.01.2017 г.
Основные средства поверки:
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 (регистрационный номер в Федеральном
информационном фонде: 41678-09).
Номинальное значение высоты выступов в шаговых структурах: 20; 110 нм.
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты
выступов в шаговых структурах: ±2; ±10 нм.
Лист № 4
Всего листов 5
Номинальное значение шага периодической структуры мер: 3 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры:
±0,01 мкм.
2 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер
в Федеральном информационном фонде: 33598-06).
Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: ±0,05 мкм.
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах: от 100 до 1400 нм.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых
структурах: ±2 нм.
3 Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном
фонде: 590-63).
Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами
десяти делений 0,10 мм.
Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений:
- между серединами соседних делений: 0,001 мм;
- между серединами десяти делений: 0,002 мм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на переднюю панель корпуса микроскопа.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
атомно-силовому Keysight 5600LS
Техническая документация «Keysight Technologies Inc.», США
Изготовитель
«Keysight Technologies Inc.», США
Адрес: 4330 W Chandler Blvd, Chandler AZ 85226, United States
Телефон: + 1 800 829-4444
Факс:+ 1 800 829-4433
Web-сайт:
E-mail:
Заявитель
Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
ИНН: 7729571904
Адрес: 119330, Россия, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10Б
Телефон: +7(495) 739-50-05, факс: +7(495) 234-00-36
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 5
Всего листов 5
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений»
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
Телефон: +7(495) 437-56-33; факс: +7(495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
