Приложение к свидетельству № 65843
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Система автоматизированная измерительная Пленка
Назначение средства измерений
Система автоматизированная измерительная Пленка (далее по тексту - система)
предназначена для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и
Дельта) пленочных структур, а также для определения толщины прозрачных пленок и
слабоабсорбирующих покрытий.
Описание средства измерений
Принцип действия системы основан на регистрации изменений параметров света,
прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. Методика подразумевает изменения
поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и
Дельта. Источником света является гелиево-неоновый лазер (HeNe laser) с круговой
поляризацией и фиксированной длиной волны (632,8 нм), с диаметром светового пятна 1 мм.
В состав системы входят:
- оптическая система, состоящая из диска гониометра, излучающего плеча, приёмного
плеча, предметного столика с механизмом юстировки по наклону и высоте, автоколлиматора с
окуляром и объективом микроскопа;
- контроллер (блок управления);
- компьютер (ПК), работающий на базе Windows, и соединенный с контроллером при
помощи кабеля;
- калибровочная эллипсометрическая пластина.
Общий вид системы представлен на рисунке 1.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения
знака поверки представлены на рисунках 2, 3.
Рисунок 1 - Общий вид системы:
1 - гониометр, 2 - плечо излучения, 3 - плечо регистрации излучения,
4 - автоколлиматор с объективом, 5 - столик приборный, 6 - ПК, 7 - блок управления
(контроллер)
5
1
4
2
7
6
3
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2 - Блок управления (контроллер) с обозначением мест пломбирования
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в системе осуществляется с помощью специального
программного обеспечения СЕ400АДВ. Программное обеспечение служит для настройки
системы, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных,
анализ и обработку полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью
клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Места пломбирования
Рисунок 3 - Внешний вид обратной стороны гониометра с обозначением мест нанесения
маркировки (2) и знака поверки (1)
1
2
Лист № 3
Всего листов 5
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:
-
Значение
СЕ400АДВ
не ниже 1.13
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма
исполняемого кода)
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого
диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению
исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием
пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-
изготовителя с помощью специального оборудования.
Защитапрограммногообеспеченияотнепреднамеренныхипреднамеренных
изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 2.
от 0,001 до 6,000
от 0,01 до 2,00
±0,1
120
Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
от 0 до 90
от 0 до 360
±0,1
±0,1
Метрологические характеристики
Диапазон измерения величины эллипсометрических
углов, градус:
-Пси
-Дельта
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерения величин эллипсометрических углов,
градус:
-Пси
-Дельта
Технические характеристики
Длина волны лазера HeNe, нм
Диаметр светового пятна, мм
632,8
1
от 40 до 90, с шагом установки 5
65
Угол падения луча света (ручной гониометр), градус
Диапазон показаний толщины, мкм:
- для прозрачных пленок
- для слабоабсорбирующих покрытий
(полисиликон)
Допускаемое отклонение показаний толщины
пленок и покрытий (определяется по
калибровочным образцам изготовителя), мкм
Время измерений (в зависимости от режима
измерений), мс, не более
Потребляемая мощность, В·А, не более
Электропитание осуществляется от сети переменного
тока с напряжением, В
частотой, Гц
от 100 до 240
50/60
Лист № 4
Всего листов 5
Значение характеристики
800×550×600
260×320×160
30
Наименование характеристики
Габаритные размеры, мм, не более
- системы
- блока управления (контроллера)
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
- относительная влажность, не более %
от +20 до +24
80
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации
и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
Количество, шт
1
Таблица 3
Наименование
Система автоматизированная измерительная Пленка зав. номер 0001 в
составе:
- гониометр с излучающим и приёмным плечами
- источник света (лазер гелиево-неоновый)
- приборный столик
- встроенная цифровая камера
Блок управления (контроллер)
Калибровочная эллипсометрическая пластина
Персональный компьютер
Методика поверки
Руководство по эксплуатации
1
1
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу МП 017.М44-17 «Система автоматизированная измерительная
Пленка. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «27» марта 2017 г.
Основные средства поверки:
1 Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в
диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики
номер Значение эллипсометрических углов на длине волны
632.8 нм, градус
Типисерийный
пластины
ПсиДельта
L118SW-100, №1108-4ECS11,60149,52
L118SW-2000, №1108-21ECS29,40274,96
Расширенная неопределенность измерений эллипсометрических углов
Пси - 0,05 градусов.
Дельта - 0,08 градусов.
Возможно применение других средств поверки, не приведенных в перечне, но
обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств
измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус гониометра из состава системы (место нанесения
указано на рисунке 3).
Лист № 5
Всего листов 5
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к системе
автоматизированной измерительной Пленка
ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ).
Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов»
Техническая документация ООО «АСК Экспресс»
научно-
средств
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Автоматизированные системы контроля
Экспресс» (ООО «АСК Экспресс»)
ИНН 7720552103
Адрес: 111123, г. Москва, ш. Энтузиастов, дом 64, оф. 310
Телефон: +7(495) 504-15-11
E-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33, факс: 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
