Приложение к свидетельству № 65528
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие электронные EVO 18
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие электронные EVO 18 (далее по тексту - микроскопы)
предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопов основан на взаимодействии электронного пучка с
поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности
объекта, изображение которого формируется микроскопами.При этом каждая точка
поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей
точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью
объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того,
какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное
конкретное изображение.
Микроскопы состоят из камеры для образца, электронно-оптической колонны EVO,
статическогодемпфера,насосапредварительноговакуумированияиперсонального
компьютера, с помощью которого осуществляется управление микроскопом.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную
плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально
ориентированной поверхности объекта.
Микроскопыукомплектованытремядетекторами,позволяющимиполучать
электронно-микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые
отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны
микроскопа, а также детектором отраженных электронов.
Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного
диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз
контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки
представлены на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных EVO 18
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для
обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть программного обеспечения
средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав
доступа паролем.
Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального
компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями
предприятия – изготовителя.
Рисунок 2 - Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки
микроскопов сканирующих электронных EVO 18
Место нанесения
знака поверки
Место размещения
маркировки
Лист № 3
Всего листов 5
Уровеньзащитыпрограммногообеспечения«средний»всоответствиис
Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОSmartSEM
Номер версии (идентификационный номер ) ПО 5.09 и выше
Цифровой идентификатор ПО -
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 0,463 до 100,000
от 0,020 до 2000,000
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Диапазон показаний линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
линейных размеров, %
±5
от +22 до +24
65
Значение
от 5 до 10
6
860
36
25
822х980х1783
180х180х160
427х250х290
220±22
50,0±0,5
от 2 до 3
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон регулирования увеличения, крат
Масса, кг, не более
-
Платформа и колонна
-
Статический демпфер
-
Насос предварительного вакуумирования
Габаритные размеры, (ДхШхВ), мм, не более
-
Платформа и колонна
-
Статический демпфер
-
Насос предварительного вакуумирования
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Потребляемая мощность, кВт
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность воздуха при 25 °С, %, не более
- избыточное давление воздуха в помещении относительно
атмосферного давления, Па
Температура хранения, °С
100±4
от -10 до +70
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель
корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Платформа микроскопа сканирующего электронного EVO 18
Колонна микроскопа сканирующего электронного EVO 18
Компьютер с сетевым источником питания
Количество
1 шт.
1 шт.
1 шт.
Лист № 4
Всего листов 5
Наименование
Компьютерный стол
Статический демпфер
Насос предварительного вакуумирования
Программное обеспечение SmartSEM v. 5.09
Руководство по эксплуатации
Методика поверки МП 047.М44-16
Количество
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 диск
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 047.М44-16 «Государственная система обеспечения единства
измерений.МикроскопысканирующиеэлектронныеEVO18.Методикаповерки»,
утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2016 г.
Основные средства поверки:
1Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в
Федеральном информационном фонде: 33598-06).
Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: не более
±0,05 мкм.
2Объект-микрометрОМО(регистрационныйномервФедеральном
информационном фонде: 590-63).
Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между
серединами десяти делений 0,1 мм.
Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных
значений:
- между серединами соседних делений: ±0,001 мм;
- между серединами десяти делений: ±0,002 мм.
3Мера периода рельефная S106 (регистрационный номер в Федеральном
информационном фонде: 44966-10).
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных
направлений: 0,463 мкм.
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешностишагапериодическойструктуры: ±0,020 мкм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на заднюю панель прибора, как показано на рисунке 2.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим
электронным EVO 18
ГОСТ Р 8.763-2011 Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м
и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd.», Великобритания
Адрес: 511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон: +44 (0)1223 401 450
Факс: +44 (0)1223 401 501
Web-сайт:
E-mail:
Лист № 5
Всего листов 5
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ОПТЭК» (ООО «ОПТЭК»)
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26
Телефон: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
Web-сайт:
E-mail:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений»
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
