Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120, ГРСИ 66974-17
Номер госреестра:
66974-17
Наименование СИ:
Профилометр стилусный контактный
Обозначение типа:
AlphaStep D-120
Производитель:
Фирма "KLA-TENCOR", США
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 7321064
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 65495
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120
Назначение средства измерений
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр)
предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности,
а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.
Описание средства измерений
Принцип действия профилометра основан на измерении профиля поверхности
контактно-механическим способом. Основным чувствительным элементом профилометра
является игла с наконечником конической формы. Измеряемая поверхность располагается
горизонтально. На неё под некоторым давлением опускается игла вплоть до механического
соприкосновения. Процесс измерения состоит в перемещении иглы в горизонтальном
направлении. При этом игла, постоянно находясь в контакте с измеряемой поверхностью и
следуя за её рельефом, перемещается и в вертикальном направлении. Это перемещение
фиксируется с помощью высокочувствительного датчика и записывается в память компьютера.
Профилометр состоит из компьютера, сервопривода, стилуса, поворотной головки,
системы визуализации, вакуумного держателя образца.
Профилометр осуществляет трехмерный анализ поверхностей с последующей
визуализацией объекта.
В конструкции профилометра отсутствует пломбировка от несанкционированного
доступа.
Общий вид профилометра представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид профилометра
Лист № 2
Всего листов 4
Рисунок 2 - Место нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Профилометрпоставляетсясустановленнымуправляющимпрограммным
обеспечением (ПО), прошедшим полный цикл испытаний вместе с прибором. В комплект
поставки профилометра входит резервная копия комплекта ПО на компакт - диске.
Профилометр имеет автономное программное обеспечение (ПО), которое используется
для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений
и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
Значение
AlphaStep Development Series
2.1.0.4 и выше
-
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 21,4 до 1 800,0
от 1 до 500 000
±15
от 0,005 до 0,063
от 0,005 до 1,800
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), нм
Диапазон показаний линейных размеров (ось Z), нм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
линейных размеров (ось Z), %
Диапазон измерений шероховатости (параметр Ra), мкм
Диапазон показаний шероховатости (параметр Ra), мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
шероховатости (параметр Ra), %
±10
Лист № 3
Всего листов 4
Значение
10
-10
10
-7
120000
150 х 178
от 0,01 до 0,40
0,5
200
30
55
330
381
610
25
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Вертикальное разрешение для диапазона 2,5 мкм, м, не более
Вертикальное разрешение для диапазона 1,2 мм, м
Максимальное количество точек данных на один профиль
Диапазон перемещений предметного столика, мм
Скорость сканирования, мм/с
Точность позиционирования поверхности образца по осям
X-Y, мкм, не более
Максимальный диаметр образцов, мм
Максимальная высота образцов, мм
Максимальная длина сканирования, мм
Габаритные размеры, мм
- высота
- ширина
- длина
Масса прибора, кг, не более
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Потребляемая мощность, кВт, не более
Рабочая температура, °С
Температура хранения, °С
220±22
50,0±0,5
0,5
от +16 до +26
от -18 до +45
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель
корпуса профилометра методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование и обозначение
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120, зав. № 7321064
Компьютер Intel core i3-2120, Win 7 Pro SP1
Монитор Dell P170S, зав. № CN-059DJP-74445-189-AU9L
Виброизоляционный стол TMC vibration control
Газовый шкаф с баллоном с газом
Калибровочный стандарт высоты ступенек (1 мкм)
Калибровочный стандарт высоты ступенек (50 мкм)
Вакуумная помпа KNF Lab laboport
Программное обеспечение AlphaStep D-120 stylus profiler v2.1.0.4
Методика поверки МП 038.М44-16
Руководство по эксплуатации
Количество
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 диск
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 038.М44-16 «Государственная система обеспечения единства
измерений. Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120. Методика поверки»,
утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 05.10.2016 г.
Лист № 4
Всего листов 4
Основные средства поверки:
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур: 20; 110 нм.
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты
выступов в рельефе шаговых структур: ±2; ±10 нм.
2 Меры шероховатости ПРО - 10.
Параметры шероховатости Ra: 0,005; 0,008; 0,063 мкм. Пределы допускаемого среднего
квадратического отклонения: ±3 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на заднюю панель прибора.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометру
стилусному контактному AlphaStep D-120
Техническая документация KLA-TENCOR, США
Изготовитель
KLA- TENCOR, США
Адрес: One Technology Drive, Milpitas, California, 95035, U.S.A.
Телефон: +1-408-875-3000; Факс: +1-408-875-4144
E-mail:
Web-сайт:
Заявитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего
профессионального образования «Национальный исследовательский университет «Московский
институт электронной техники» (Национальный исследовательский университет «МИЭТ»,
НИУ МИЭТ)
Адрес: 124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, д. 1
Телефон: +7 (499) 731 44 41; Факс: +7 (499) 71022 33
E-mail:
,
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений»
Trial: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: +7 (495) 437-56-33; Факс: +7 (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 66974-17 | Профилометр стилусный контактный | AlphaStep D-120 | Фирма "KLA-TENCOR", США | 1 год | Перейти |
| 5082-75 | Интерферометр контактный | ИКАВ | ГУП РФ "Владимирский завод "Эталон", г.Владимир | Нет данных | Перейти |
| 52087-12 | Профилометр оптический | TMS-100 | Фирма "Polytec GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 22387-02 | Измеритель высоты профиля тиснения бумажного листа (профилометр) | Нет данных | ЗАО МГП "БумТехно", г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
| 48173-11 | Профилометр | Alpha-Step 200 | Фирма "KLA-Tencor Corporation", США | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений