Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Системы измерительные для БИС и СБИС J750E (J750Ex), ГРСИ 65940-16
Номер госреестра:
65940-16
Наименование СИ:
Системы измерительные для БИС и СБИС
Обозначение типа:
J750E (J750Ex)
Производитель:
Фирма "Teradyne Inc.", США
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
на 5 шт. с зав.№ 1241E3561, 1334E3654, 1441E3819, J750IV15001, J750IV15002
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 64415
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 7
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Системы измерительные для БИС и СБИС J750E (J750Ex)
Назначение средства измерений
Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex (далее по тексту - системы)
предназначены для измерений и контроля вольт-амперных параметров больших интегральных
схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).
Описание средства измерений
Принцип действия систем основан на методах функционального и параметрического
контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую БИС (СБИС) подается
входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается
с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится
генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных
каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор
сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код и
производится его сравнение с ожидаемыми данными с отображением результатов контроля.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет
измеренияпараметровБИС(СБИС)вопределеннойтестовойпоследовательности.
Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 200 МГц для системы
J750Ex и 100 МГц для системы J750E. Максимальная длина тестовой последовательности
составляет 64 Мбит векторов в линейном режиме для системы J750Ex и 16 Мбит для системы
J750E. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы:
формированиетестовой последовательности,контрольожидаемыхсостояний,
двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из
режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой
последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с
регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала.
Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов
выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются
независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения
двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов
импульса определяется четырьмя временными метками на драйвер. Для контроля ожидаемых
состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры
компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по
каждому каналу.
Временныеинтервалыконтроляуровнейнапряженияопределяетсяодним
стробирующим импульсом или двумя стробирующими импульсами в режиме окна. Для
формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля
используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням
напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по
каждому каналу.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PPMU на
каждом канале. Параметры источника-измерителя PPMU задаются независимо по каждому
каналу. Также используется общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном
модуле и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение
постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы
постоянного тока (напряжения).
Лист № 2
Всего листов 7
Дляформированиятребуемыхпараметровпитанияобъектовпредназначены
измерительные источники питания DPS с 8-ю каналами на каждой плате.
Конструктивно система состоит из:
- измерительного головного блока, включающего в себя: инструментальное шасси,
печатные платы (измерительные модули), источники питания постоянного тока, систему
охлаждения, вакуумную систему прижима, систему входного питания по переменному току и
блок игольчатых пробников;
- управляющий ПЭВМ;
- трансформаторного блока;
- дополнительных принадлежностей для самотестирования и калибровки.
На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная
оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
Системы имеют два варианта исполнения цифровых канальных модулей:
- на J750E устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100, максимальное
количество 8 шт.;
- на J750Ex устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100 или 64-х
канальный модуль HSD200, максимальное количество 8 шт.
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью
программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов
программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного
обеспечения, входящего в комплект поставки.
Внешний вид системы приведен на рисунке 1.
Внешний вид измерительного головного блока с указанием мест защиты от
несанкционированного доступа в виде пломбировки (а), нанесения знака утверждение типа (б)
и знака поверки (в) приведены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид системы
Лист № 3
Всего листов 7
Программное обеспечение
Метрологически значимая часть программного обеспечения (ПО) систем представляет
собой специализированное ПО «IG-XL, J750Maint».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в
таблице 1.
IG-XL.exe
v. 3.50.50
Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО
ИдентификационныеЗначение
данные (признаки)
ИдентификационноеJ750Maint.exeIG-XL.exeJ750Maint.exe
наименование ПО
Номер версии ПО v. 7.40.03v. 3.40.18v. 7.60.50
(идентификационны
й номер) ПО
Цифровой 92499c608f68eb 8893aec7d283706 a563347d95518
идентификатор ПО e1936ccff77813 291040f7a695827 0fdca9a5495417
cfdd98bee0e
4081c77323a3
1b1dd6473377
bc28a3f3
Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены
с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений.
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует
уровню защиты «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 2.
±0,01
Значение
100
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
Наименование характеристики
Частота опорного сигнала, МГц
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
воспроизведения частоты опорного сигнала, МГц
Диапазон воспроизведения напряжения низкого уровня VIL
выходных сигналов, В:
- для канального модуля HSD100
- для канального модуля HSD200
от -1 до +6
от -1 до +6,5
Рисунок 2 - Измерительный головной блок
(б)
(в)
(а)
Лист № 4
Всего листов 7
±(1,6∙10 ∙U+14 мВ),
где U - воспроизводимое
напряжение
измерителя PMU
±(4,3∙10 ∙U+18,0 мВ),
напряжение
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон воспроизведения напряжения высокого уровня VIH
выходных сигналов, В:
- для канального модуля HSD100 от 0 до +7,1
- для канального модуля HSD200 от -1 до +6,5
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
воспроизведения напряжения низкого и высокого уровней VIL±15
и VIH выходных сигналов (для HSD100 и HSD200), мВ
Диапазонвоспроизведенияиизмерениянапряжения
постоянного тока параметрического источника-измерителя
PPMU, В:
- для канального модуля HSD100от -2 до +7
- для канального модуля HSD200от -1,5 до +6,5
Пределыдопускаемойабсолютной погрешности
-3
воспроизведениянапряжения постоянного тока
параметрического источника-измерителя PPMU (для HSD100,
HSD200), мВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
-3
напряжения
P
постоянного тока параметрического источника-
где U - измеряемое
(для HSD100, HSD200), мВ
Пределывоспроизведениясилыпостоянноготока
параметрического устройства PPMU, А:
для канального модуля HSD100±200∙10
-6
; ±2∙10
-3
для канального модуля HSD200 ±20∙10
-6
; ±200∙10
-6
;
±2∙10
-3
; ±50∙10
-3
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
воспроизведения силы постоянного тока параметрического
источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА:
на пределе ±2 мА ±(2,5∙10
-3
∙I+17,0 мкА)
на пределе ±200 мкА ±(2,0∙10
-3
∙I+1,7 мкА),
где I - воспроизводимое
значение силы тока
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
воспроизведения силы постоянного тока параметрического
источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА):
- на пределе ±50 мА±(6∙10
-3
∙I+400 мкА)
- на пределе ±2 мА ±(1∙10
-3
∙I+14 мкA)
- на пределе ±200 мкА ±(1,0∙10
-3
∙I+1,4 мкA)
- на пределе ±20 мкА ±(1∙10
-3
∙I+140 нA),
где I - воспроизводимое
значение силы тока
Пределы измерения силы постоянного тока параметрического
источника-измерителя PPMU, А:
- для канального модуля HSD100±2∙10
-3
; ±200∙10
-6
; ±20∙10
-6
;
±2∙10
-6
; ±200∙10
-9
- для канального модуля HSD200
±50∙10
-3
; ±2∙10
-3
; ±200∙10
-6
;
±20∙10
-6
; ±2∙10
-6
Лист № 5
Всего листов 7
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристикиЗначение
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
силыпостоянноготокапараметрическогоисточника-
измерителя PPMU для HSD100, мкА (нА):
- на пределе ±2 мА±(5,8∙10
-3
∙I+16,0 мкА)
- на пределе ±200 мкА ±(5,2∙10
-3
∙I+8 мкА)
- на пределе ±20 мкА±(5,1∙10
-3
∙I+0,16 мкА)
- на пределе ±2 мкА ±(10∙10
-3
∙I+40 нА)
- на пределе ±200 нА ±(14∙10
-3
∙I+8 нА),
где I - измеряемое
значение силы тока
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
силыпостоянноготокапараметрическогоисточника-
измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА):
- на пределе ±50 мА±(6,0∙10
-3
∙I +400 мкА)
- на пределе ±2 мА ±(1,0∙10
-3
∙I+14 мкA)
- на пределе ±200 мкА ±(1,0∙10
-3
∙I+1,4 мкA)
- на пределе ±20 мкА ±(1,0∙10
-3
∙I+140 нA)
- на пределе ±2 мкА ±(1,0∙10
-3
∙I+28 нA),
где I - измеряемое
значение силы тока
Пределывоспроизведенияиизмерениянапряжения
постоянного тока параметрического источника-измерителя±2; ±5; ±10; ±24
BPMU (для HSD100, HSD200), В
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока
параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100,
HSD200), мВ:
- на пределе ±2 В±(1∙10
-3
∙U+1,5 мВ) -
на пределе ±5 В±(1∙10
-3
∙U+3,0 мВ) -
на пределе ±10 В±(1∙10
-3
∙U+8,0 мВ) -
на пределе ±24 В ±(1∙10
-3
∙U+18,0 мВ),
где U - воспроизводимое
значение напряжения
постоянного тока
Пределы воспроизведения силы постоянного тока ±200∙10
-6
; ±2∙10
-3
;
параметрического устройства BPMU (для HSD100, HSD200), А ±20∙10
-3
; ±200∙10
-3
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
воспроизведения силы постоянного тока параметрического
источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мкА:
- на пределе ±200 мкА±(1,0∙10
-3
∙I+0,25 мкА)
- на пределе ±2 мА ±(1,0∙10
-3
∙I+1,6 мкА)
- на пределе ±20 мА ±(1∙10
-3
∙I+16 мкА)
- на пределе ±200 мА ±(1∙10
-3
∙I+160 мкА),
где I - воспроизводимое
значение силы тока
Пределы измерения силы постоянного тока параметрического ±2∙10
-6
; ±20∙10
-6
; ±200∙10
-6
;
источника-измерителя BPMU:±2∙10
-3
; ±20∙10
-3
; ±200∙10
-3
Лист № 6
Всего листов 7
Значение
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристики
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
силыпостоянноготокапараметрическогоисточника-
измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), нА (мкА):
- на пределе ±2 мкА
- на пределе ±20 мкА
- на пределе ±200 мкА
- на пределе ±2 мА
- на пределе ±20 мА
- на пределе ±200 мА
±(5∙10
-3
∙I+110 нА)
±(2∙10
-3
∙I+120 нА)
±(2,0∙10
-3
∙I+0,3 мкА)
±(1∙10
-3
∙I+2 мкА)
±(1∙10
-3
∙I+20 мкА)
±(1∙10
-3
∙I+200 мкА),
где I - измеряемое
значение силы тока
830х690х740
800x540x1120
940х1120х910
250
227
55
3 фазы+земля
50±2
380±19
4,36
Габаритные размеры (длина
´
ширина
´
высота)
систем, мм, не более:
- измерительный головной блок
- трансформаторный блок
- инженерная тележка
Масса систем, кг, не более:
- измерительный головной блок
- трансформаторный блок
- инженерная тележка
Параметры электропитания:
- 4-х проводная схема подключения
- частота переменного тока, Гц
- напряжение в сети переменного тока, В
Потребляемая мощность систем, кВ∙А, не более
Рабочие условия эксплуатации систем:
- температура окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха, %, не более
- атмосферное давление, кПа
от +10 до +25
80
от 84 до 107
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки и на титульный
лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки приведен в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
Наименование
Измерительный головной блок
Трансформаторный блок
Инженерная тележка
Управляющий ПЭВМ
Специальное программное обеспечение СПО «IG-XL, J750Maint»
Эксплуатационная документация
Методика поверки
Кол-во, шт.
1
1
1
1
1
1
1
Лист № 7
Всего листов 7
Поверка
осуществляется по документу МП 65940-16 «Инструкция. Системы измерительные для БИС и
СБИС J750E и J750Ex фирмы «Teradyne Inc.», США. Методика поверки», утвержденному
начальником ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России 31.08.2016 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458А (рег. № 25900-03);
- частотомер электронно-счетный 53181A (рег. № 26211-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус головного измерительного блока в виде наклейки
и в свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы, устанавливающие требования к системам измерительным для
БИС и СБИС J750E и J750Ex
ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие
технические условия».
ГОСТ 8.027-2001 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы».
ГОСТ 8.022-91 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная
поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне
1·10
-16
÷ 30 А».
Изготовитель
Фирма «Teradyne, Inc.», США
Адрес: 600 Riverpark Drive, North Reading, MA 01864, USA
Тел.: +1/978370-2700
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Совтест АТЕ» (ООО «Совтест АТЕ»)
Адрес: Россия, 305000, г. Курск, ул. Володарского, д. 49а
Телефон: (4712) 54-54-17, факс: (4712) 56-35-50; E-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноебюджетноеучреждение«Главныйнаучный
метрологический центр» Министерства обороны Российской Федерации
(ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России)
Адрес: 141006, Московская область, г. Мытищи, ул. Комарова, 13
Телефон: (495) 583-99-23; факс: (495) 583-99-48
Аттестат аккредитации ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России по проведению испытаний
средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311314 от 13.10.2015 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 36905-12 | Преобразователи измерительные мощности | ЭП8530М | ООО "МНПП "Электроприбор", Беларусь, г.Витебск | 1 год | Перейти |
| 29858-17 | Преобразователи пневматические разности давлений | ДПП-2М | ООО СКБ "Приборы и системы", г.Рязань | 3 года - для преобразователей с пределами допуск. осн. привед. погрешности ±0,5 %, ±1,0 %; 5 лет - с пределами допуск. осн. привед. погрешности ±1,5 % | Перейти |
| 65132-16 | Шунты измерительные коаксиальные | ШК-5, ШК-20, ШК-63 | ФГУП "Опытный завод Всероссийского электротехнического института им.В.И.Ленина" (ВЭИ), г.Москва | 2 года | Перейти |
| 65494-16 | Система информационно-измерительная диспетчеризации и коммерческого учета природного газа и водорода в ПАО "Новолипецкий металлургический комбинат" в составе информационно-измерительной системы диспетчеризации и учета энергоресурсов комбината ИИСДУ "ЭНЕРГО" ПАО "НЛМК" (ИИСДУ "ГАЗ" ПАО "НЛМК") | Нет данных | ПАО "Новолипецкий металлургический комбинат" (НЛМК), г.Липецк | 1 год | Перейти |
| 60954-15 | Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии АИИС КУЭ ЕНЭС ПС 500 кВ "Пересвет" | Нет данных | ОАО "Федеральная сетевая компания Единой энергетической системы" (ФСК ЕЭС), г.Москва | 4 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений