Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL, ГРСИ 65492-16
Номер госреестра:
65492-16
Наименование СИ:
Интерферометры
Обозначение типа:
µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL
Производитель:
Компания "Trioptics GmbH", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
27.10.2021
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 63947
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометры μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R,
VERTICAL, UNIVERSAL
Назначение средства измерений
Интерферометры μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R,
VERTICAL, UNIVERSAL (далее по тексту - интерферометры) предназначены для измерений
двумерной карты высоты профиля поверхности (топограммы) отражающих объектов относи-
тельно начальной точки, выбираемой оператором, в микро- и нанодиапазоне.
Описание средства измерений
Принцип действия интерферометров основан на интерференции световых пучков
лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта.
В основе приборов лежит оптическая схема неравноплечного интерферометра Тваймана-Грина.
В интерферометрах световой поток от лазерного источника, пройдя через коллими-
рующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в
предметное и опорное плечи интерферометров. В предметном плече располагается объектив и
исследуемый объект, в опорном - плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского
зеркаласветовыепучкисходятсянасветоделительнойпризме.Интерференционное
изображение строится объективом в плоскости регистратора - видеокамеры.
Расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига,
вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки
интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта
(топограмма).
Интерферометры представлены следующими моделями:
μPhase PLANO DOWN - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм,
расположенных снизу;
μPhase PLANO/ SPHERO UP - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм,
расположенных сверху;
μPhase ST+R - для измерения объектов размером от 2 до 50 мм, расположенных сверху;
μPhase VERTICAL - для измерения объектов размером от 2 до 150 мм, расположенных
снизу;
μPhase UNIVERSAL - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположен-
ных горизонтально.
Конструктивно интерферометры состоят из: интерферометрических датчиков μPhase
500/ 1000; источника излучения (HeNe-лазер); стойки настольной установки; объектива
и персонального компьютера.
В зависимости от размера и поверхности испытываемого объекта в состав интерферо-
метров могут входить различные объективы:
- для плоской испытываемой поверхности μLens PLANO 2, μLens PLANO 10, μLens
PLANO 50, μLens PLANO 100, μLens PLANO 150, где цифры обозначают максимально возмож-
ный диаметр испытываемого образцы, мм;
- для сферической поверхности µLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), µLens SPHERO
10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), µLens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), µLens SPHERO 10 f/1.0 NA =
0.50 (60°), µLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), µLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°),
µLens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), µLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), µLens SPHERO
50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), µLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°) где цифры 10 и 50 обозначают
максимальный диаметр измеряемого образца в мм, f/5.4, f/4.1, f/3.0, f/1.5, f/1.0, f/0.7 - диафраг-
менное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град); Interfero4 4” f/11
Лист № 2
Всего листов 6
NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4”
f/3.3NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°),
Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75 NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60
NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°),
F-Aplanar 10-4” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5
NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1NA=0.45 (53°),
F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6”
f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-6” f/0.75 NA=0.67 (83°), где цифры 4”, 6” - обозначают
максимальный диаметр измеряемого образца в дюймах, f/11, f/7.2, f/4.8, f/3.3, f/2.2, f/1.1, f/1.0,
f/0.75 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град).
Для ограничения доступа внутрь корпуса приборов производится их пломбирование.
Пломбируется место соприкосновения передней и задней панелей корпуса на боковой стороне
прибора.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам интерферометров, интер-
ферометрические датчики пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соот-
ветственно.
абв
гд
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров μPhase моделей: а - PLANO DOWN, б - PLANO/
SPHERO UP, в -ST+R, г - VERTICAL, д - UNIVERSAL с указанием мест нанесения
маркировки, знака поверки (М) и пломбирования (М)
Место нанесения
маркировки
Лист № 3
Всего листов 6
Программное обеспечение
Интерферометры функционируют под управлением программного обеспечения (ПО)
μShape, предназначенного для управления прибором в режимах калибровки, измерения и обра-
ботки результатов. ПО разделено на две части: метрологически значимая часть ПО содержится
в виде библиотек на жестком диске ПЭВМ; интерфейсная часть ПО запускается на ПЭВМ и
служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений.
ПО μShape представлено следующими версиями, различающимися функциональными
возможностями:
- базовая (Basic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования
плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов;
- офтальмологическая (Ophthalmic) - стандартный пакет программного обеспечения для
тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов с дополнительной
функцией по определению бокового смещения инструмента на станках алмазно-токарных стан-
ках с однолезвийным инструментом;
- профессиональная (Professional) - профессиональный пакет программного обеспече-
ния с расширенными функциями, такими как: вычисление полиномов Цернике-Лежандра,
аберраций Зайделя или других статистических значений;
- индивидуальная (Customized) - индивидуальный пакет программного обеспечения,
который можно сконфигурировать под индивидуальный стиль работы по требованию Заказчи-
ка.
Метрологически значимая часть программного обеспечения размещается в энергонеза-
висимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному
обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также
наличием пароля. ПО имеет несколько уровней допуска для пользователей: «Пользователь на
производстве», «Пользователь в лаборатории», «Руководитель», «Администратор».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного
обеспечения указаны в таблице 1.
-
Значение
μShape
6.26 и выше
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняе-
мого кода)
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО
-
Защитапрограммногообеспеченияотнепреднамеренныхипреднамеренных
изменений соответствует «среднему» уровню защиты в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Наименование
характеристики
0,032
Таблица 2
Значение характеристики
PLANO
DOWN
PLANO/
SPHERO
ST+RVERTICAL UNIVERSAL
от 2 до 300 от 2 до 300 от 2 до 50 от 2 до 150от 2 до 300
Размер поля зрения, мм
Нижний предел измере-
ний топограммы относи-
тельных высот профиля
поверхности, мкм, не
более
Лист № 4
Всего листов 6
Наименование
характеристики
UNIVERSAL
±0,032
0,632
Габаритные размеры
(высота × ширина × глу-
бина), мм, не более*
Масса, кг, не более*
от 20 до 150
от +19 до +21
70
DOWNSPHERO
Значение характеристики
PLANOPLANO/
ST+RVERTICAL
10,000
20,000
Верхний предел измере-
ний топограммы относи-
тельных высот профиля
поверхности, мкм, не
менее
- с датчиком μPhase 500
- с датчиком μPhase 1000
Пределы допускаемой
абсолютной погрешно-
сти измерения топо-
граммы относительных
высот профиля поверх-
ности, мкм
Длина волны источника
излучения, мкм
Электропитание осуще-
ствляется от сети пере-
менного тока с напряже-
нием, В
частотой, Гц
300×1800×
300 -
1000
´
21000
´
700
220±22
50±0,5
760×360×
200×200×350 -
360 -
1000
´
350
1500
´
1000
´
1000 1100
´
360
´
420
´
360
от 30 доот 5 доот 20 до
300150100
от 30 до 80
Условия эксплуатации:
- температура окружаю-
щей среды,
°
С
- относительная влаж-
ность воздуха, %, не бо-
лее(безконденсации
влаги)
* может варьировать в зависимости от комплектации по требованию заказчика
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации печатным способом и в виде
наклейки на заднюю панель корпуса интерферометрических датчиков методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
В состав интерферометров входят элементы указанные в таблице 3.
Лист № 5
Всего листов 6
1
1
1
Таблица 3
Наименование
Количество,
шт.
1
1
1
1
1
1
1
Интерферометры μPhase моделей Trial DOWN, PLANO/ SPHERO UP,
ST+R, VERTICAL или UNIVERSAL в составе:
- источника излучения (HeNe-лазер)
- интерферометрический датчик μPhase 500 или 1000*
- объектив μLens PLANO 2, μLens PLANO 10, μLens PLANO 50, μLens
PLANO 100, μLens PLANO 150, µLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°),
µLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), µLens SPHERO 10 f/1.5 NA =
0.34 (40°), µLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), µLens SPHERO 10
f/0.7 NA = 0.71 (90°), µLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), µLens
SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), µLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34
(40°), µLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), µLens SPHERO 50 f/0.7
NA = 0.71 (90°), Interfero4 4” f/11 NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2
NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8NA=0.10 (12°), Interfero4 4” f/3.3
NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9 NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5
NA=0.33 (39°), Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75
NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40
NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4”
f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6”
f/5 NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2 NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1
NA=0.45 (53°), F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6”
f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-
6” f/0.75 NA=0.67 (83°)*
- стойка настольной установки
Световолоконный кабель
Набор кабелей
Персональный компьютер
USB-флэш-диск с программным обеспечением
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
________
* согласно требованию Заказчика
Поверка
осуществляется по документу МП 065.М44-15 «ГСИ. Интерферометры μPhase моделей PLANO
DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL. Методика поверки»,
утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 сентября 2015г.
Основные средства поверки:
Меры шероховатости с параметром R
а
из состава государственного вторичного эталона
единицы длины в области измерения параметров шероховатости R
max
в диапазоне от 0,02
до 1,8 мкм и R
а
номинального значения 0,0015 мкм (регистрационный номер 2.1.ZZA.00342015)
Основные метрологические характеристики:
R
a
- 0,0015 мкм
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус интерферометра (место нанесения указано
на рисунке 1)
Лист № 6
Всего листов 6
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферомет-
рам μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL,
UNIVERSAL
ГОСТ 8.420-2002 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений от-
клонений от прямолинейности и плоскостности
Техническая документация Компании «Trioptics GmbH», Германия
Изготовитель
Компания «Trioptics GmbH», Германия
Адрес: Hafenstraße 35-39 22880 Wedel, Germany
Тел.: +49 4103 18006-0; факс: +49 4103 18006-20
E-mail:
,
Заявитель
ЗАО НПФ «УРАН»
ИНН 7805269568
Адрес: 198099, Россия, г. Санкт-Петербург, ул. Промышленная, д. 5
Тел./факс: 8 (812) 335-09-75, 335-09-76
E-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел./факс: (499) 792-07-03
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измере-
ний в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 9528-84 | Интерферометры | ИТ-100 | ОАО "ЛОМО", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 10082-85 | Интерферометры для поверки долемикрометровых головок | ИДГ-1 | Опытный завод "Эталон", г.Москва | Нет данных | Перейти |
| 9571-84 | Интерферометры шахтные | ШИ-12 | Оптико-механический завод, г.Азов | 6 месяцев | Перейти |
| 22357-02 | Интерферометры контактные вертикальные компьютеризированные | ИКПВ-К | ФГУП ММПП "Салют", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 8728-82 | Интерферометры шахтные | ШИ-11 | Оптико-механический завод, г.Азов | Нет данных | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений