Приложение к свидетельству № 63925/1
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии PHOENIX L300i
гелиевые серии PHOENIX
измерений потоков гелия
L300i (далее по
при проведении
Назначение средства измерений
Течеискатели масс-спектрометрические
тексту - течеискатели) предназначены для
неразрушающего контроля герметичности.
Описание средства измерений
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр,
настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется
потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или
вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на
регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе,
высоковакуумныйнасос.Подключениеиспытуемогообъектаквакуумнойсистеме
течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца, расположенного на
верхней панели корпуса течеискателя. Давление в испытуемом объекте должно быть
не более 150 Па. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным
источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по
окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе массы
гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного
коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала. При выборе
другой массы, изменяется проводимость ионного фильтра на выбранный газ. Управление
работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью
панели управления, состоящей их ЖК-дисплея и управляющих кнопок.
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу течеискателя: FINE и
GROSS, переключения между которыми осуществляется в автоматическом режиме или в
ручном режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели могут применяться для обнаружения мест нарушения герметичности
различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её
гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
Течеискатели имеют 3 модификации, отличающиеся конструктивным исполнением,
модификациями модулей, входящих в их состав, и скоростью форвакуумной откачки, которая
определяется количеством и типом насосов, входящих в состав вакуумной системы
течеискателя.
Течеискатель PHOENIX L300i в качестве форвакуумного насоса имеет пластинчато-
роторный насос.
Течеискатель PHOENIX L300i DRY в качестве форвакуумного насоса имеет
диафрагменный насос. Течеискатель PHOENIX L300i DRY имеет дополнительный клапан, для
регулирования входного давления при подаче газа через турбомолекулярный насос (ТМН),
клапан открывается постепенно.
Течеискатель PHOENIX L300i MODUL не имеет вакуумного насоса предварительной
откачки, данный прибор может использоваться только с дополнительным внешним насосом.
Дополнительный насос необходимо подключать к выходному порту DN 25 ISO-KF.
Течеискатели PHOENIX L300i и PHOENIX L300i MODUL могут работать в режиме
разделения потока, проверяемый объем вакууммируется основным и дополнительным
насосами.
Лист № 2
Всего листов 4
Течеискатель имеет функцию обнуления фонового уровня. Эта функция исключает
зарегистрированный фоновый сигнал, позволяя детектировать течи с меньшим натеканием,
расположенным ниже фонового уровня.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателей приведены на рисунке 1.
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное
изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении
неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности
различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её
гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО служит для управления работой течеискателя. ПО выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов,
клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка
на пик гелия);
- прием и обработка измерительной информации от модуля масс-спектрометрического
анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
102Bhex
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного ПО
Идентификационные данные (признаки) ПО
Модификация течеискателя
PHOENIX
L300i
PHOENIX L300i
MODUL
Значение
PHOENIX
L300i DRY
MС68 SW
не ниже 3.24
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная
сумма исполняемого кода)
Информация о версии ПО доступна через меню прибора: номер версии отображается на
дисплее течеискателя.
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических
характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений
течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя
Место знака
поверки
Лист № 3
Всего листов 4
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 2.
от 1·10 до 1·10
5
15000
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики течеискателей
Значения характеристики для модификации
Наименование характеристикиPHOENIXPHOENIXPHOENIX
L300iL300i DRYL300i MODUL
Диапазон измерений потока газа в вакуумеот 5·10
-13
от 3·10
-12
от 5·10
-13
по входу течеискателя, Па·м
3
/с* до 1·10
-2
до 1·10
-2
до 1·10
-2
Диапазон показаний потока газа в вакууме
-8-2
при работе способом щупа, Па·м
3
/с
Пределы допускаемой относительной
погрешности измерений, % от измеряемой
величины (где Qнпи - значение нижнего
предела измерений, Qизм - значение
измеренного потока, Па·м
3
/с)
- в режиме FINE:±(0,15 + Q
нпи
/Q
изм
)·100
- в режиме GROSS: ±50
Время установления выходного сигнала,
мин, не более
Питание от сети переменного тока
- напряжение, В220±11
- частота, Гц50±2,5
Скорость форвакуумной откачки, м
3
/ч2,51,6-
Габаритные размеры, мм, не более
длина495
ширина314
высота456
Потребляемая мощность, В·А, не более420
Средняя наработка до метрологического
отказа, ч
Средний срок службы, лет10
Масса, кг, не более4039,530
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур
окружающего воздуха, °Сот +10 до +40
- относительная влажность воздуха (без
конденсации), %, не более80
- атмосферное давление, кПаот 79,5 до 106,7
Примечание: * Производная единица величины потока газа в вакууме Па∙м
3
/с образована в
соответствии с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений),
полученного из уравнения состояния идеального газа.
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом
наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Комплектность средства измерений
Таблица 3 - Комплектность
Течеискатель соответствующей модификации1 шт.
Руководство по эксплуатации1 экз.
Методика поверки МП 231-0035-20161 экз.
Лист № 4
Всего листов 4
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0035-2016 «Течеискатели масс-спектрометрические
гелиевыеPHOENIXL300i.Методикаповерки»,утвержденномуФГУП«ВНИИМ
им. Д.И. Менделеева» 11.07.2016 г.
Основные средства поверки:
- государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в
диапазоне от 10
-12
до 1 Па∙м
3
/с ГВЭТ 49-2-2006, (2.1ZZВ.0032.2014), СКО: в диапазоне
от 10
-12
до 10
-9
Па·м
3
/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10
-9
до 1 Па·м
3
/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия
эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям
масс-спектрометрическим гелиевым серии PHOENIX L300i
1 ГОСТ 28517-90«Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод
течеискания. Общие требования»
2 ГОСТ Р 53177-2008«Вакуумнаятехника.Определениехарактеристикмасс-
спектрометрического метода контроля герметичности»
3 Техническая документация Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, Германия
Изготовитель
Leybold GmbH, Германия
Адрес: Bonner Str. 498 D-50968 Köln
Тел: +49 2233 963 14-0, факс: +49 2233 963 14-34
Заявитель
ООО «Лейфикон Вакуум Сервис», г. Москва
ИНН 7743664967
Адрес: 115088, Москва, ул. Угрешская, д. 2, стр.25, офис 10, этаж 1
Тел./факс: +7 (495) 229-23-10
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс (812) 713-01-14
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению
испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 23.03.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
