Приложение к свидетельству № 63562
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Trial листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометры OptoTL-250
Назначение средства измерений
Интерферометры OptoTL-250 (далее - интерферометры) предназначены для
измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание средства измерений
Интерферометры построены по вертикальной схеме двухлучевого интерферометра
Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной
волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный
пучок диаметром 250 мм. После расширителя установлена насадка с плоской
клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом
контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом,
чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок лазерного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно
разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый
пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй – после
прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости приемника создается интерференционная
картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины,
Анализ интерференционных картин осуществляется методом Фурье преобразования с
помощью специального программного обеспечения с последующим определением
параметров формы контролируемой поверхности.
Опломбирование корпуса интерферометра от несанкционированного доступа не
предусмотрено.
Рисунок 1 – Внешний вид интерферометров
Место
нанесения
знака
утверждения
типа
Цифровой идентификатор ПО
Лист № 2
Всего листов 3
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) FastInterf версии
v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы FastInterf расположены в заранее скомпилированных
бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для
пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать
отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОFastInterf
Номер версии (идентификационный номер) ПО v.1.43.0 и выше
72ADBB724304AE87D
27574DBBE1E1805
ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения
метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить
неавторизованное использование ПО.
Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р
50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометров
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкмот 0,08 до 1,26
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
отклонений от плоскостности, мкм
- на диаметре до 120 мм включ. ±0,06
- на диаметре св. 120 до 250 мм ±0,08
Диапазон измеряемых диаметров, ммот 25 до 250
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 3А
Длина волны лазера, нм, не более 633
Мощность, мВт, не более 4
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических
вибраций, Гц, не более30
Параметры электропитания
Напряжение переменного тока, Вот 200 до 240
Частота, Гц от 49 до 51
Масса, кг, не более 200
Габаритные размеры, мм, не более
- длина790
- ширина590
- высота 1020
Условия эксплуатации
- температура окружающей среды, °Сот +20 до +24
- относительная влажность, % от 50 до 80
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом, а так
же методом наклейки на торец корпуса интерферометра.
Лист № 3
Всего листов 3
Комплектность средства измерений
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
Наименование
Интерферометр
Компьютер с ПО
USB-ключ
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Кол-во
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 65127-16 «Интерферометры OptoTL-
250. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в апреле 2016 г.
Основноесредствоповерки:мерыотклоненийотплоскостности, рег. №
48279-11.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения о методе измерений содержатся в документе «Интерферометры OptoTL-
250. Руководство по эксплуатации».
Нормативныеи технические документы, устанавливающие требования к
интерферометрам
ЕТВС.692289.000 ТУ «Интерферометры OptoTL-250. Технические условия».
Изготовитель
Закрытое Акционерное общество «Опто-Технологическая Лаборатория» (ЗАО
«Опто-Технологическая Лаборатория»)
ИНН 7804158463
Адрес: 194044, г.Санкт-Петербург, ул. Менделеевская, 9
Тел./факс: +7 (812) 347-76-90, +7 (812) 347-76-90
Адрес электронной почты:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел./факс: +7 (495) 437-55-77, +7 (495) 437-56-66
Адрес электронной почты:
Адрес в Интернет:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п. «_____» ____________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
