Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
65060-16
Наименование СИ:
Профилометры оптические
Обозначение типа:
ContourGT-K
Производитель:
Компания "Bruker Nano Inc.", США; Компания "Bruker AXS SAS", Франция
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
09.09.2021
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 63487
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 7
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Профилометры оптические ContourGT-K
по тексту –
ипроведения
профилометры)
бесконтактного
Назначение средства измерений
Профилометры оптические ContourGT-K (далее
предназначеныдляизмеренийлинейныхразмеров
неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.
Описание средства измерений
Принцип действия профилометров основан на интерференции световых пучков
лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия.
Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с
помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный
компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки
восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю
поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков
сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
В профилометрах реализовано два метода исследования: интерферометрия фазового
контраста и вертикальная сканирующая интерферометрия.
В методе вертикальной сканирующей интерферометрии используется источник
оптического излучения с широким спектром (белый светодиод). В основе метода лежит
вертикальное перемещение объектива встроенным приводом с одновременной регистрацией
изображения камерой. Каждая точка поверхности оказывается в фокусе, модуляция
интерферирующих сигналов достигает максимума, после чего спадает по мере выхода
объектива из зоны фокуса. Высота каждой точки поверхности определяется системой по
положению объектива в области максимальной модуляции.
В методе интерферометрии фазового контраста используется источник оптического
излучения с узким спектром (зеленый светодиод). В этом методе во время цикла измерения
система прецизионного позиционирования объектива изменяет оптическую длину пути луча.
Каждое такое изменение приводит к сдвигу интерференционных полос. Данные сдвиги
регистрируются камерой в виде серии интерферограмм, которые с помощью программной
обработки преобразуются в топографию поверхности.
В составе профилометра находится три вида тубусных линз (1.0X, 0.55X, 2.0X) и три
интерферометрических объектива (5x, 20x, 50x). Используя различные комбинации объективов
и тубусных линз, можно получить объективы с различными увеличениями. В основе измерений
при использовании объективов с увеличением 2,75x крат, 5x крат, 10x крат лежит оптическая
схема интерферометра Майкельсона, при использовании объективов с увеличениями 11x крат,
20x крат, 27,5x крат, 40x крат, 50x крат, 100x крат - интерферометра Миро.
Лист № 2
Всего листов 7
Пломбирование профилометров не предусмотрено.
Программное обеспечение
Профилометрыфункционируютподуправлениемспециальногопрограммного
обеспечения (ПО) Vision64, установленного на внешний компьютер. ПО управляет
настройками оборудования, анализирует данные и обеспечивает графическое представление
результатов. Оно предоставляет возможности полной настройки представления данных и
позволяет сохранять результаты анализа в базу данных. Настройки измерений и анализа
сохраняются в конфигурационных файлах для дальнейшего использования.
Место нанесения маркировки
Рисунок 1 – Общий вид профилометров оптических ContourGT-K с указанием
места нанесения маркировки
Рисунок 2 – Профилометр оптический ContourGT-K (вид сзади) с указанием мест
нанесения маркировки и знака поверки
Место нанесения
знака поверки
Место нанесения маркировки
Лист № 3
Всего листов 7
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПО Vision64
Номер версии (идентификационный номер )ПО 5.41 и выше
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма -
исполняемого кода)
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО-
Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального
компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями
предприятия – изготовителя.
Защитапрограммногообеспеченияотнепреднамеренныхипреднамеренных
изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.
5
от 19,9 до 1800
Значение характеристики
2409/2048
1220/1060
613/425
316/242
228/173
154/118
126/95
126/95
53/45
от 0,1 до 95300000
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2
Наименование характеристики
Поле зрения объектива по осям X/Y, мкм
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Предел среднего квадратического отклонения измерений поля
зрения для всех объективов по осям X/Y, %
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали для
всех объективов(ось Z), нм
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали для
всех объективов(ось Z), нм
Пределы допускаемой относительно погрешности измерений
линейных размеров по вертикали (ось Z), %
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
±15
±17
±16
±15
±9
±14
±11
±12
±9
Лист № 4
Всего листов 7
от 1 до 2048
от 1 до 1060
от 1 до 500
от 1 до 400
от 0,5 до 300
от 0,5 до 240
от 0,4 до 150
от 0,3 до 120
от 0,2 до 50
от 100 до 1000
от 100 до 1000
от 100 до 600
от 100 до 600
от 100 до 300
от 3 до 240
от 3 до 150
от 3 до 120
от 3 до 40
от 1 до 2048
от 1 до 1060
от 1 до 425
от 1 до 242
от 0,5 до 173
от 0,5 до 118
от 0,4 до 95
от 0,3 до 95
от 0,2 до 45
от 100 до 1000
от 100 до 1000
от 100 до 600
от 100 до 600
от 100 до 300
от 3 до 240
от 3 до 150
от 3 до 120
от 3 до 40
Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси
X, Y), мкм
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси
X, Y), мкм
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси
X, Y), мкм
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси
X, Y), мкм
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Лист № 5
Всего листов 7
±(0,004 – 0,0011)
±15
±3
±1
±1
±1
от 0,025 до 953
от 0,014 до 0,18
47
492
´
754
´
534
60
220
60
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), %
2,75 x-20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Диапазон показаний шероховатости (высотных параметров
Ra, Rz), мкм
Диапазон измерений шероховатости (высотных параметров
Ra, Rz), для всех объективов, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), мкм
2,75 x
5 x
10 x
11 x
20 x
27,5 x
40 x
50 x
100 x
Вертикальная скорость сканирования, мкм/с, не более
Габаритные размеры (Ш
´
В
´
Д), мм, не более
Масса, кг, не более
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с
напряжением, В
частотой, Гц
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºC
- относительная влажность воздуха, %, не более
-атмосферное давление, кПа
20±3
80
100±4
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на
нижнюю панель профилометров методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
Таблица 3
Наименование и обозначение
Профилометр оптический ContourGT-K
Слайдер для тубусных линз*
Тубусная линза 1.0X*
Тубусная линза 0.55X*
Тубусная линза 2.0X *
Объектив интерферометрический 5x*
Объектив интерферометрический 20x*
Объектив интерферометрический 50x*
Турель на 5 объективов*
Калибровочный стандарт высоты ступенек (8 мкм) *
Количество, шт.
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
Лист № 6
Всего листов 7
Ультра гладкое зеркало*1
Виброизоляционный стол размером 30
´
30 дюймов*
1
Основание для образцов1
Компрессор*1
Компьютер*1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки МП 043.М1-151
_________
*определяется опционально по согласованию с заказчиком
Поверка
осуществляется по документу МП 043.М1-15 «ГСИ. Профилометры оптические ContourGT-К.
Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 01.08.2015 г.
Основные средства поверки:
1 Объект-микрометр ОМО/ОМП
Метрологические характеристики:
Расстояние между соседними штрихами (0,01±0,002) мкм
Длина всей шкалы (1±0,003) мкм
2 Мера периода линейная TGZ3 из состава государственного вторичного эталона
единицы шероховатости Rmax, Rz в диапазоне значений от 0,001 до 400 мкм, единицы
шероховатости Ra в диапазоне значений от 0,001 до 100 мкм по ГОСТ 8.296-2015
(Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0070.2015
от 16.07.2015)
Метрологические характеристики:
Номинальное значение периода структуры меры 3,0 мкм
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры не более
± 0,01 мкм
3 Набор мер из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области
измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0.02 до 1.8 мкм и Ra номинального
значения 0,0015 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального
информационного фонда 2.1.ZZA.0034.2015)
Метрологические характеристики:
SHS – 180 QC
Номинальное значение периода структуры меры 19,9 нм
Доверительные границы результата измерений ±0,8 нм
SHS –1800 QC
Номинальное значение периода структуры меры 179,4 нм
Доверительные границы результата измерений ±2,0 нм
SHS 1,8 QC
Номинальное значение периода структуры меры 1781нм
Доверительные границы результата измерений ±11 нм
4 Мера профильная ПРО-10
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения параметра шероховатости Ra от 0,005 до 100 мкм
Пределы допускаемого среднеквадратического отклонения параметра Ra, ± 3%
Знак поверки наносится на заднюю панель корпуса профилометров (место нанесения
указано на рисунке 2)
Сведения о методиках (методах) измерений
«Профилометры оптические ContourGT-K. Руководство по эксплуатации», раздел 3
Лист № 7
Всего листов 7
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам
оптическим ContourGT-K
Техническая документация компании «Bruker AXS SAS/Bruker Nano Surfaces Division»,
США
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от
0,001 до 750 мкм
Изготовители
Компания «Bruker Nano Inc.», США
3400 East Britannia, Suite 150 Tucson, AZ 85706, USA
Телефон: +1-520-741-1044
Факс: +1-800-366-9956
E-mail:
,
Компания «Bruker AXS SAS», Франция
77447 4 Allee Hendrik Lorentz , Champs-sur-Marne, Marne-la-Vallee, France
Тел.: +33(0) 1 60 95 90 00
Факс+33 (0) 1 60 17 50 20
E-mail:
,
Заявитель
ООО «ОПТЭК»
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
ИНН: 770101001
E-mail:
Web:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.«___» ________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 42485-15 | Машины измерительные двухкоординатные оптические сканирующие | VideoCad | Фирма "Dr.Heinrich Schneider Messtechnik GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 13027-89 | Ваттметры поглощаемой мощности оптические | ОМ3-99 | ОАО "Мытищинский электротехнический завод", г.Мытищи | 2 года | Перейти |
| 22718-02 | Источники излучения оптические измерительные | OLS-5, OLS-6 | Фирма "Acterna Eningen GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 19880-07 | Спиртомеры оптические | Иконэт-МП | ЗАО фирма "Сигма-Оптик ЛТД", пос.Менделеево | 1 год | Перейти |
| 9919-85 | Головки измерительные пружинно-оптические | 1П, 2П | ОА "Измерон", г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений