Untitled document
Приложение к свидетельству № 63148
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установкидляизмеренияимпульсныхвольт-амперныххарактеристик
AmCAD BILT
Назначение средства измерений
Установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT
(далее по тексту - установки) предназначены для измерений вольт-амперных характеристик
полевых полупроводниковых компонентов и интегральных схем на пластине и в корпусе.
Описание средства измерений
Принцип работы установок заключается в задании и измерении напряжения на затворе и
стоке, и измерении силы тока в цепи затвора и стока исследуемой полупроводниковой
структуры.
Установки имеют два режима работы - импульсный и статический.
Максимальная мощность ограничена значением, при котором не происходит перегрев
исследуемой структуры. В статическом режиме задается постоянное напряжение и
производится непрерывное измерение силы тока. Импульсный режим позволяет обеспечить
значительно более высокие по сравнению со статическим режимом значения напряжения и
силы тока, и, соответственно, более высокую мощность в импульсе без опасности перегрева
исследуемого объекта путем задания оптимальных временных параметров импульсов -
длительности и скважности.
Установкисостоятизблокауправления,измерительногозондазатвораи
измерительного зонда стока. Соединение между блоком управления и зондами осуществляется
кабелями с разъемами SUB-D.
Блок управления обеспечивает питание зондов, управление временными параметрами,
диапазонами и значениями задаваемого напряжения, диапазонами измерений напряжения и
силы тока, задание, вывод и отображение измерительной информации на внешний компьютер.
Измерительные зонды подсоединяются к исследуемой полупроводниковой структуре с
использованием входящих в комплект поставки приспособлений.
Общий вид установок с измерительными зондами показан на рисунке 1, вид передней и
задней панели блока управления на рисунках 2 и 3.
Рисунок 1 - Общий вид установки с измерительными зондами
Лист № 2
Всего листов 6
Рисунок 2 - Вид передней панели блока управления
Рисунок 3 - Вид задней панели блока управления
Номенклатура поставляемых по заказу измерительных зондов:
- зонды затвора AM212, AM213;
- зонды стока AM221, AM222, AM223, AM231, AM232, AM241.
Программное обеспечение
Программноеобеспечениеустанавливаетсянавнешнийкомпьютер,который
взаимодействует с блоком управления по интерфейсам USB, LAN, GPIB. Программное
обеспечение является целостным и выполняет функции создания и редактирования
амплитудных и временных параметров задаваемого напряжения, параметров измерений
напряжения и силы тока, а также обработку и документирование измерительной информации.
Класс риска программного обеспечения “A” по WELMEC 7.2 Issue 5 (что соответствует
уровнюзащитыотнепреднамеренныхипреднамеренныхизменений«низкий» по
Р 50.2.077-2014). Идентификационные данные программного обеспечения приведены в
таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОMT930 IVCAD
Номер версии (идентификационный номер) ПО3.5 и выше
Цифровой идентификатор ПО -
место пломбирования (защитный стикер)
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
Лист № 3
Всего листов 6
Метрологические и технические характеристики
Метрологические характеристики измерительных зондов представлены в таблицах 2 - 6,
общие технические характеристики установок - в таблице 7.
Значения погрешности даны для длительности импульсов свыше 500 мкс.
В формулах таблиц 2 - 6:
U - значение измеряемого напряжения, D
U
- верхний предел диапазона напряжения;
I - значение измеряемой силы тока, D
I
- верхний предел диапазона силы тока.
Таблица 2 - Измерительные зонды затвора AM212, AM213
Диапазон выходного напряжения, В
Максимальная сила тока в статическом режиме, мА
Максимальная сила тока в импульсном режиме, мА
Максимальная мощность в статическом режиме, Вт
Максимальная мощность в импульсном режиме, Вт
Максимальная частота переключений, кГц
Минимальная длительность импульсов, нс
Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В
AM212AM213
±20
30050
1000 1000
1,5 1,0
10 10
500
200 400
2; 20
Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, мА1; 10; 100; 100010; 1000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В
верхний предел диапазона, ВAM212AM213
2±(5∙10
-4
∙U + 3∙10
-4
∙D
U
)±(5∙10
-4
∙U + 4,5∙10
-4
∙D
U
)
20 ±(5∙10
-4
∙U + 2,15∙10
-4
∙D
U
)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, мА
верхний предел диапазона, мА
1
10
100
1000
AM212
±(4∙10
-3
∙I + 8∙10
-3
∙D
I
)
±(4∙10
-3
∙I + 1,2∙10
-3
∙D
I
)
±(4∙10
-3
∙I + 8∙10
-3
∙D
I
)
±(5∙10
-3
∙I + 1,2∙10
-3
∙D
I
)
AM213
-
±(2∙10
-3
∙I + 2∙10
-3
∙D
I
)
-
±(2∙10
-3
∙I + 2∙10
-4
∙D
I
)
Таблица 3 - Измерительные зонды стока AM221, AM231
AM221
от 0 до 250
3
10
Диапазон выходного напряжения, В
Максимальная сила тока в статическом режиме, А
Максимальная сила тока в импульсном режиме, А
Средняя максимальная мощность в статическом режиме, Вт
Средняя максимальная мощность в импульсном режиме, Вт
AM231
от 0 до 120
4
10
80
50
Пиковая мощность в импульсном режиме, Вт
Максимальная частота переключений, кГц
Минимальная длительность импульсов, нс
Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В
Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, А
2000
100
200500
25; 250 12; 120
1; 10
напряжения, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
± (2∙10
-3
∙U + 2∙10
-3
∙D
U
)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, А
верхний предел диапазона 1 А ±(1∙10
-3
∙I + 1∙10
-3
∙D
I
)
верхний предел диапазона 10 А ±(4∙10
-3
∙I + 4∙10
-3
∙D
I
)
Лист № 4
Всего листов 6
Таблица 4 - Измерительные зонды стока AM222, AM232
AM222AM232
Диапазон выходного напряжения, В
Максимальная сила тока в статическом режиме, А
Максимальная сила тока в импульсном режиме, А
Средняя максимальная мощность в статическом режиме, Вт
Средняя максимальная мощность в импульсном режиме, Вт
от 0 до 120
4
30
80
50
Пиковая мощность в импульсном режиме, Вт
Максимальная частота переключений, кГц
Минимальная длительность импульсов, нс
Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В
Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, А
2000 3000
100
400 500
12; 120
3; 30
напряжения, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
±(2∙10
-3
∙U + 2∙10
-3
∙D
U
)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, А
верхний предел диапазона 3 А ±(3∙10
-3
∙I + 3∙10
-3
∙D
I
)
верхний предел диапазона 30 А ±(6∙10
-3
∙I + 5∙10
-3
∙D
I
)
±(2∙10
-3
∙U + 2∙10
-3
∙D
U
)
±(2∙10
-3
∙I + 2∙10
-3
∙D
I
)
от минус 5 до 15
200
2
100
200
15
20; 200
Таблица 5 - Измерительный зонд стока AM223
Диапазон выходного напряжения, В
Максимальная сила тока, мА
Максимальная мощность, Вт
Максимальная частота переключений, кГц
Минимальная длительность импульсов, нс
Верхний предел диапазона измерений напряжения, В
Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
напряжения, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
силы тока, мА
Таблица 6 - Измерительный зонд стока AM241
Диапазон выходного напряжения, В
Максимальная сила тока в статическом режиме, А
Максимальная сила тока в импульсном режиме, А
Максимальная мощность, Вт
Средняя максимальная мощность в статическом режиме, Вт
Пиковая мощность в импульсном режиме, Вт
Максимальная частота переключений, кГц
Минимальная длительность импульсов, нс
Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В
Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, А
от 0 до 1000
3
30
2
90
3600
250
400
40; 200; 1000
0,03; 0,3; 3; 30
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В
верхний предел диапазона 40 В ±(1∙10
-3
∙U + 1∙10
-3
∙D
U
)
верхние пределы диапазонов 200; 1000 В ±(2∙10
-3
∙U + 2∙10
-3
∙D
U
)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, А
верхние пределы диапазонов 0,03; 0,3 А±(1∙10
-3
∙I + 1∙10
-3
∙D
I
)
верхний предел диапазона 3 А±(3∙10
-3
∙I + 3∙10
-3
∙D
I
)
верхний предел диапазона 30 А±(6∙10
-3
∙I + 5∙10
-3
∙D
I
)
Лист № 5
Всего листов 6
Таблица 7 - Общие технические характеристики
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм
блок управления420 х 485 х 180
измерительный зонд120 х 80 х 30
Масса, кг, не более
блок управления18,0
измерительный зонд0,5
Потребляемая мощность от сети 220 В / 50 Гц, Вт, не более300
Рабочие условия применения
температура окружающей среды, °Cот 20 до 28
относительная влажность воздуха при температуре до 28 °C, %до 70
Электромагнитная совместимостьпо ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014
Безопасностьпо ГОСТ IEC 61010-1-2014
Знак утверждения типа
наносится на заднюю панель корпуса в виде наклейки и на титульный лист руководства по
эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплектность установок приведена в таблице 8.
по заказу
к зондам
Кол-во, шт.
1
по заказу
по заказу
1
2
1
1
Таблица 8 - Комплектность установок AmCAD BILT
Наименование и обозначение
Блок управления AmCAD BILT
Измерительные зонды затвора AM212, AM213
Измерительные зонды стока AM221, AM222, AM223, AM231, AM232, AM241
Кабель сетевой
Кабель соединительный SUB-D, входит в комплект поставки зонда
Адаптер SUB-D/BNC, входит в комплект поставки зонда
Адаптер SMB-BNC
Контактные приспособления
AM249-1: выходы с гнездами “banana” 4 мм (для зонда AM241)
AM249-2: выходы с разъемом “SHV” (для зонда AM241)
AM249-3: выходы для корпуса T0247 (для зондов AM212, AM241)
AM249-4: выходы для корпуса T0220 (для зондов AM213, AM241)
Компакт-диск или флеш-накопитель с программой MT930 IVCAD
Руководство по эксплуатации (на компакт-диске)
Методика поверки МП AmCAD-2016
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу МП AmCAD-2016 «ГСИ. Установки для измерения импульсных
вольт-амперныххарактеристикAmCADBILT.Методикаповерки»,утвержденному
ФГУП «ВНИИМС» 24.06.2016 г.
Рекомендуемые средства поверки:
- мультиметр цифровой Keysight 34410A, Госреестр № 33921-07;
- мера электрического сопротивления универсальная однозначная МС 3080М, номинал 0,1 Ом;
класс точности не ниже 0,005; Госреестр № 61295-15
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в документе «Установка для измерения импульсных
вольт-амперных характеристик AmCAD BILT. Руководство по эксплуатации».
Лист № 6
Всего листов 6
Нормативные документы, устанавливающие требования к установкам для измерения
импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT
1 ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие
технические условия.
2 ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
3 ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная
поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне
1·10
-16
÷ 30 А.
4 ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерений, управления и
лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие
требования.
5 ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных
приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
Изготовитель
Компания “Amcad Engineering”, Франция
Адрес: Parc Easter Technopole, 20 rue Atlantis, 87068 Limoges Cedex, France
Тел. +33 (0) 555 040 531, факс +33 (0) 555 040 531
Е-mail:
Заявитель
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5
Тел./факс (495)926-71-85
Е-mail:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.