Приложение к свидетельству № 62779
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Комплекс специализированный метрологический СпМК
Назначение средства измерений
Комплекс специализированный метрологический СпМК (далее СпМК) предназначен
для измерений перемещений в диапазоне от 5·10
-9
до 1·10
-6
м.
Описание средства измерений
Принцип действия СпМК основан на интерференционном методе.
В состав СпМК входят следующие составные части:
- интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) (далее
интерферометр);
- видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 (далее видеоконтрольное устройство);
- наностол в составе:
- пьезоплатформа P-611.1S;
- контроллер E-665.SR;
- программное обеспечение PIMikroMove;
- стол виброизоляционный АФЕК.301216.006;
- персональная электронно-вычислительная машина (далее ПЭВМ);
- программное обеспечение (далее ПО) МКНД.60102-01 в составе:
- программа LIDM;
- программа PicoAD.
Интерферометр размещается на столе виброизоляционном и предназначен для
измеренияперемещений.Длявизуализациипроцессаизмеренийиспользуется
видеоконтрольное устройство.
ПЭВМ, входящая в состав СпМК, представляет собой программный модуль,
обеспечивающий выполнение технологического цикла автоматизированной подготовки и
ввода настроек, обработки данных, а также формирование отчетной информации. ПЭВМ
поставляется с комплектом программного обеспечения.
Для калибровки интерферометра в состав СпМК включен наностол.
Общий вид СпМК представлен на рисунке 1. Внешний вид интерферометра из состава
СпМК представлен на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 – Общий вид СпМК
Рисунок 2 – Внешний вид интерферометра из состава СпМК
(1 – место нанесения знака поверки)
1
Лист № 3
Всего листов 5
Программное обеспечение
В состав СпМК входит программное обеспечение LIDM, состоящее из программ
LIDM и PicoAD, и программное обеспечение из состава наностола PIMikromove. ПО LIDM
предназначено для обработки данных и визуализации результатов измерений. ПО
PIMikromove предназначено для управления пьезоплатформой.
ПО соответствует среднему уровню защиты от непреднамеренных и преднамеренных
изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Идентификационные данные
(признаки)
Значение
LIDM
PicoAD
PIMikroMove
Номер версии (идентификационный
номер) ПО*
1.0.0.0
1.0
2.18.0.0
Цифровой идентификатор ПО
(контрольная сумма исполняемого
кода)
9AC60B26
(рассчитан по
алгоритму
CRC 32)
0BC70D44
(рассчитан по
алгоритму
CRC 32)
4F657106
(рассчитан по
алгоритму
CRC 32)
Таблица 1
* - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице 1.
Принормированииметрологическиххарактеристикбылоучтеновлияние
программного обеспечения.
от 5
⋅
10
-9
до 1·10
-6
±5
±2
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики СпМК представлены в
таблице 2.
Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Диапазон измерений перемещений, м
от 0 до 100·10
-6
300
1700х1100х1100
Пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
измерений перемещений при многократных измерениях
(не менее пяти раз), нм
Диапазон перемещений пьезоплатформы P-611.1S, м
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
перемещений пьезоплатформы P-611.1S при
многократных измерениях (не менее пяти раз), нм
Масса, кг, не более
Габаритные размеры, мм, не более
Питание от сети переменного тока с параметрами:
- напряжение, В
- частота, Гц
Потребляемая мощность, Вт, не более
Средний срок службы, лет
Средняя наработка на отказ, ч
220±22
50±1
500
5
10000
Лист № 4
Всего листов 5
Условия эксплуатации:
- диапазон температур окружающего воздуха,
о
С
- диапазон относительной влажности воздуха, % -
диапазон атмосферного давления, кПа
20±5;
65±15;
от 86 до 106.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист
руководства по эксплуатации.
Комплектность средства измерений
Комплектность СпМК представлена в таблице 3.
1 шт.
Таблица 3
Количество
Наименование
Интерферометр с блоком цифровой обработки
МКНД.1.180.005 (ЛИН-01)
Видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17
Наностол
Стол виброизоляционный АФЕК.301216.006
Персональная электронно-вычислительная машина
Программное обеспечение
Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ
Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ
Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1
Методика поверки МП 2511/0009-15
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляетсяподокументуМП2511/0009-15«Комплексспециализированный
метрологический СпМК. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им.
Д.И. Менделеева» в ноябре 2015 г.
Основные средства поверки:
- компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и
нанодиапазоне № 01-2010 из состава Государственного первичного эталона единицы длины
– метра ГЭТ 2-2010.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методика измерений приведена в документе «Руководство по эксплуатации
АФЕК.401143.002 РЭ1», 2015 г..
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
специализированному метрологическому комплексу СпМК
1. ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств
измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
2. Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ.
Лист № 5
Всего листов 5
Изготовитель
АО «НИИ ТП»
ИНН: 7715784155
Адрес: 127490, г. Москва, ул. Декабристов, владение 51
Телефон: (499) 181-20-12
Факс: (499) 204-79-66, (499) 204-91-81
E-mail:
Испытательный центр
ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Телефон: (812) 251-76-01
Факс: (812) 713-01-14
Е-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению испытаний
средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 01.01.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.«____»_________2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
