Untitled document
Приложение к свидетельству № 62649/1
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
(в редакции, утвержденной приказом Росстандарта № 1969 от 22.08.2019 г.)
Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS
Назначение средства измерений
Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS (далее –
системы Quantax EDS) предназначены для измерений массовой доли элементов от бериллия до
америция в различных твердых (монолитные и порошки) веществах и материалах, а также
анализа состава тонких слоев и частиц.
Описание средства измерений
Принцип действия системы Quantax EDS основан наметоде рентгеновского
микроанализа, сущность которого заключается в возбуждении атомов анализируемого вещества
электроннымпучком(зондом)высокойэнергиисодновременнойрегистрацией
характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества.
Система Quantax EDS работает по энергодисперсионному принципу, в соответствии с
которым происходит одновременная регистрация всех участков рентгеновского спектра. Для
осуществления указанного принципа детектор системы Quantax EDS снабжен сверхтонким
входным окном из дюрбериллия толщиной 8 мкм или из полимера с толщинами 3 и 5 мкм для
регистрации сверхлегких элементов.
Система Quantax EDS выполнена по модульному принципу и включает в себя
конструктивно законченные блоки. В состав системы Quantax EDS входят:
- энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения XFlash®;
- блок обработки спектрометрического сигнала (электронный блок);
- программное обеспечение ESPRIT;
- серверный компьютер (компьютер типа IBM PC).
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего
электронного микроскопа, на который устанавливается система Quantax EDS.
В качестве детектора характеристического рентгеновского излучения системы Quantax
EDS используется энергодисперсионный кремниевый дрейфовый детектор (SDD).
Энергии рентгеновского излучения регистрируются с помощью полупроводникового
детектора XFlash® и обрабатываются электроникой блока обработки спектрометрического
сигнала.
УправлениеработойсистемыQuantaxEDSиобработкаданныхизмерений
осуществляется с помощью серверного компьютера (компьютера типа IBM PC) и
специализированного программного обеспечения Esprit, при этом вывод информации о
массовых долях анализируемых элементов осуществляется на монитор компьютера, а значения
массовых
долей элементов могут выводиться на USB-накопитель при задании в программном
обеспечении системы Quantax EDS соответствующей команды.
Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств,
которые могут привести к искажению результатов измерений, корпус детектора и блока
обработки сигнала системы Quantax EDS снаружи опломбированы.
Фото общего вида системы Quantax EDS без детектора приведено на рисунке 1.
Отдельное фото детектора системы Quantax EDS представлено на рисунке 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2 – Отдельное фото детектора системы Quantax EDS
Место нанесения знака поверки
в виде наклейки
Рисунок 1 – Общий вид системы Quantax EDS без детектора
1 – блока обработки сигнала (электронный блок) системы;
2 – монитор серверного компьютера;
3 – системный блок серверного компьютера
Место для пломбирования
1
2
3
Лист № 3
Всего листов 5
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем Quantax EDS
приведены в таблице 1.
Значение
ESPRIT
не ниже 1.8
1)
-
Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
_
_
__
_
__
_
__
_
__
_
_
_
1)
Версия программного обеспечения может иметь дополнительные цифровые
суффиксы
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияниепрограммногообеспеченияучтеноизготовителемпринормировании
метрологических характеристик системы Quantax EDS.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Спектральное разрешение линии К
α
Mn (5,9 кэВ), эВ
Значение
от 121 до 145
(зависит от площади
кристалла детектора)
600 000
0,5
от 0,1 до 100,0
10
5,0
2,0
1,0
±35
±30
±10
±5,0
Максимальная скорость счета, имп/с
Предел допускаемого относительного СКО выходного сигнала, %
Диапазон измерений массовой доли элементов, %
Предел допускаемого СКО случайной составляющей
относительной погрешности измерений массовой доли
элементов
1)
, %, в поддиапазоне измерений:
- от 0,1 до 1,5 % включ.
- св. 1,5 до 10,0 % включ.
- св. 10,0 до 20,0 % включ.
- св. 20,0 до 100,0 % включ.
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
массовой доли элементов
1)
, %, в поддиапазоне измерений:
- от 0,1 до 1,5 % включ.
- св. 1,5 до 10,0 % включ.
- св. 10,0 до 20,0 % включ.
- св. 20,0 до 100,0 % включ.
________________
1)
Показатель точности измерений массовой доли элементов определяется при
использовании дополнительного модуля программного обеспечения для измерений со
стандартными образцами
Таблица 3 – Технические характеристики
Наименование характеристики
Активная площадь детектора, мм
2
Значение
от 10 до 100
(10, 30, 60, 100)
Лист № 4
Всего листов 5
160×90×124
495×270×165
250/330/400
Значение
110/240±11/24
60/50±1
3,75
7
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристики
Параметры электрического питания:
- напряжение сетевого питания, В
- частота питающей сети, Гц
Габаритные размеры, мм, не более:
- детектора без учета длины «пальца» (Длина×Ширина×Высота)
- блока обработки сигнала (Длина×Ширина×Высота)
- типичная длина «пальца» детектора (зависит от электронного
микроскопа, на который устанавливается система)
Масса, кг, не более:
- детектора
- блока обработки сигнала
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха, %, не более
- атмосферное давление, кПа
Средний срок службы, лет, не менее
от 0 до +35
90
от 84,0 до 106,7
10
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» в виде наклейки.
Комплектность средства измерения
XFlash®
-
1 шт.
1 шт.
Обозначение
Количество
ESPRIT
--
1 шт.
1 шт.
1 экз.
Таблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование
Система рентгеновского энергодисперсионного
микроанализа Quantax EDS в составе:
- энергодисперсионный детектор рентгеновского
излучения
- блок обработки спектрометрического сигнала
(электронный блок)
- программное обеспечение
- серверный компьютер (компьютер типа IBM PC)
1)
Руководство по эксплуатации, включающее
Руководство пользователя программного обеспечения,
на русском языке и в подлиннике
Методика поверки
МП 79-223-2015
с изменением № 1
1 экз.
________
________
1)
Поставляется по отдельному заказу.
Поверка
осуществляется по документу МП 79-223-2015 с изменением № 1 «ГСИ. Системы
рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS. Методика поверки»,
утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26.04.2019 г.
Основные средства поверки:
- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных – ГСО 4506-92П/4510-92П
(комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образцы с индексами ЛГ32, ЛГ 34 (рекомендуемые элементы: C,
Si, Cr, Ni, W, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов
от 0,002 до 0,06 %, образец с индексом ЛГ 36 (рекомендуемый элемент: Mn с содержанием
1,97 %), абсолютная погрешность аттестованного значения 0,03 %;
Лист № 5
Всего листов 5
- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) – ГСО 6319-92/
6323-92, образцы с индексами 1711, 1715 (рекомендуемые элементы: Sn, Pb, Si, Al, Cu, Zn),
абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,02 до 0,7 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки в виде клейма наносят на свидетельство о поверке и (или) в виде наклейки
непосредственно на средство измерений.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к системам
рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS
Техническая документация изготовителя «Bruker Nano GmbH», Германия
Изготовитель
«Bruker Nano GmbH», Германия
Адрес: Am Studio 2D 12489 Berlin, Germany
Телефон: +44 791 7304235, факс: +49 30 670990-30
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Брукер» (ООО «Брукер»)
ИНН 7736189100
Адрес: 119017, г. Москва, ул. Пятницкая, д. 50/2, стр. 1
Телефоны: +7 (495) 517-92-84, +7 (495) 517-92-85, факс: +7 (495) 517-92-86.
E-mail:
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Уральскийнаучно-
исследовательский институт метрологии»
Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Телефон: +7 (343) 350-26-18, факс: +7 (343) 350-20-39/
Е-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств измерений
в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от 10.11.2015 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииА. В. Кулешов
М.п.«___» ______________ 2019 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.