Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM, ГРСИ 64047-16
Номер госреестра:
64047-16
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие зондовые
Обозначение типа:
SOLVER NEXT, TITANIUM
Производитель:
ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
18.05.2021
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 62404
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M)
предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых
тел.
Описание средства измерений
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ),
так и атомно-силового микроскопа (ACM) с использованием различных методик зондовой
микроскопии.
Принцип действия в режиме СТМ основан на эффекте туннелирования электронов через
узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием
микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом
смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о характере рельефа
проводящей поверхности образца.
В режиме АСМ реализуется принцип детектирования силы, действующей на острие
микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поверхность при этом может быть как
проводящей, так и не проводящей. Поддерживая с помощью обратной связи в процессе
сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца,
регистрируют координату измеряемой точки по вертикальной оси (Z). Тем самым, измеряют
параметры микрорельефа поверхности образца. Наряду с измерениями в абсолютных единицах
длины, в режиме компаратора микроскоп позволяет осуществлять сличение размеров элементов
микроструктуры на одном и том же образце. Этот режим позволяет исключить часть
погрешности измерений, связанную с передачей единицы длины микроскопу.
В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, который
представляет собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован
кантилевер с острием в виде микроиглы. В режиме СТМ в качестве микрозонда используется
металлическая игла из платино-иридиевого сплава или вольфрама.
В состав СЗМ входят специальный СЗМ - контроллер, базовый блок, персональный
компьютер. Конструктивно СЗМ выполнены в виде настольных приборов с отдельно
устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных
устройств и принадлежностей. Модели SOLVER NEXT и TITANIUM отличаются только
дизайном корпуса базового блока. Внешний вид C3M двух моделей представлен на рисунках 1
и 2. Cтрелками отмечены места размещения знака утверждения типа и поверительного клейма
(на задней стенке базового блока).
Рисунок 1- Внешний вид контроллера и базового блока C3M SOLVER NEXT
Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.
место нанесения
знака
утверждения типа
Лист № 2
Всего листов 4
Рисунок 2- Внешний вид контроллера и базового блока C3M TITANIUM
Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.
Программное обеспечение
ПО выполняет настройку СЗМ, оптимизацию его параметров, управление режимами
работы, выполнение сканирования, обработку результатов измерений и их хранение.
Идентификационные данные программного обеспечения СЗМ представлены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные
Идентификационное наименование
Номер версии (идентификационный номер)
Цифровой идентификатор
Алгоритм вычисления идентификатора
Значение
Программное обеспечение для СЗМ
NOVA-Pх
не ниже 3.4.0.16096
65c77e6fb18fb953cd3ac99bd832f08bad67df20
Sha1
Защитапрограммногообеспеченияотнепреднамеренныхипреднамеренных
изменений согласно Р 50.2.077-2014 соответствует высокому уровню.
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики СЗМ приведены в таблицах
2 -4.
Значение
от 0,01 до 90
± (0,01·L+3)
от 0,0005 до 9
± (0,05·L+4)
± (0,001·L +1)
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
Параметр
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных
размеров в плоскости XY, нм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных
размеров по оси Z, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
геометрических размеров в режиме сличения (компаратора) при
размерах объекта более 10 нм, по осям X и Y, нм
L - измеряемое значение длины, нм
место нанесения
знака
утверждения типа
Лист № 3
Всего листов 4
%
Таблица 3 - Основные технические характеристики
ПараметрЗначение
Угол между осями сканирования X и Y,…º от 88,5 до 91,5
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY,…º 5
Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи,
0,1
Отклонение от плоскостности сканирования в плоскости XY, нм, не более200
Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более 0,3
Разрешение по оси Z, нм, не более 0,1
Дрейф в плоскости XY, нм/с, не более 0,2
Дрейф по оси Z, нм/с, не более 0,15
Максимальное число точек сканирования по X и Y 4000 × 4000
Размеры исследуемых образцов (диаметр × толщина), мм, не более 20 × 10
Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, мм, не менее 5 × 5
от 95 до 121/
Напряжение питания переменного тока, В
от 187 до 242
Потребляемая мощность, В·А, не более 400
Габаритные размеры СЗМ контроллера (Д×Ш×В), мм, не более470×180×500
Габаритные размеры базового блока (Д×Ш×В), мм, не более220×330×500
Масса СЗМ контроллера, кг, не более 23
Масса базового блока, кг, не более 16
Срок службы, лет 10
Температура окружающей среды, ˚С
Таблица 4
Условия эксплуатации:
Относительная влажность при температуре плюс 25 ˚С, %, не более
Атмосферное давление, мм рт.ст.
Дрейф температуры, ˚С в час, не более
Амплитуда вибраций в полосе частот от 1 до 1000 Гц, мкм, не более
от плюс 15 до
плюс 25
от 50 до 80
от 730 до 790
1
0,5
Знак утверждения типа
наносится на средство измерений методом наклейки в соответствии с рисунками 1 и 2 и на
руководство по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 5
НаименованиеКол-во
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM1 шт.
Комплект соединительных кабелей1 шт.
Программное обеспечение (NOVA-Pх) на CD-диске1 шт.
Набор кантилеверов (измерительных зондов) 50 шт.
Набор для поверки и калибровки, включающий 3 меры: меру периода и высоты1 шт.
линейную TGQ1; меру периода линейную TDG01; меру периода и высоты линейную
TGZ1
Комплект рабочих принадлежности для СЗМ 1 шт.
Методика поверки 1 шт.
Лист № 4
Всего листов 4
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 64047-16 «Микроскопы сканирующие
зондовыеSOLVERNEXT,TITANIUM.Методикаповерки»,утвержденным
ФГУП «ВНИИМС» 11 марта 2016 г. Знак поверки наносится в виде голографической
наклейки на свидетельство о поверке.
Основные средства поверки:
- мера периода и высоты линейная TGQ1 (ГР№ 41680-09);
- мера периода линейная TDG01 (ГР№ 41676-09);
- мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГР № 41678-09).
Сведения о методиках (методах) измерений
Методики проведения измерений и их описание приведены в разделах 7-11
Руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующим зондовым SOLVER NEXT, TITANIUM
Технические условия ТУ 4254-004-40349675-2015.
Изготовитель
Обществосограниченнойответственностью«Научно-техническаякомпания»
(ООО «НТК»)
Адрес: 141400, область Московская, город Химки, улица Энгельса, д. 27, помещение 49
E-mail:
Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10
ИНН 7735588014
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 69909-17 | Приборы для определения белизны муки | СКИБ-М | ООО "НИЦ "Интеллектуальные сканирующие системы" (ИСС), г.Москва | 1 год | Перейти |
| 57711-14 | Микроскопы видеоизмерительные | MM1 Garant | Компания "Hoffmann GmbH Qualitatswerkzeuge", Германия | 2 года | Перейти |
| 12129-03 | Микроскопы инструментальные | ИМЦЛ 100х50,А | АО "Швабе - Оборона и Защита", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
| 28664-10 | Микроскопы сканирующие зондовые | Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE | ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 21623-06 | Калориметры дифференциальные сканирующие | DSC822e, DSC823e, DSC827e, FP90/85 | Фирма "Mettler-Toledo GmbH", Швейцария | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений