Приложение к свидетельству № 61970
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометр GPI XP/D
Назначение средства измерений
Интерферометр GPI XP/D (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от
плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институтах, оптическом
приборостроении.
Описание средства измерений
Прибор построен по схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника
света в нем используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический
расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 150 мм. После
расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность
которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь закрепляют в специальную оправу, при этом контролируемая
поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался
автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок электромагнитногоизлучения спомощьюконтролируемойпластины
пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой.
Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй – после
прохождения через контролируемую пластину.
Врезультатеинтерференциивплоскостиматричногоприемникасоздается
интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Для
автоматизацииизмеренийнаприбореиспользуетсяспециальныйэлектронныйблок
управления, в котором реализован метод фазовых шагов для автоматической расшифровки
интерферограмм. Анализ интерференционных картин и определение на его основе параметров
формы контролируемой поверхности или отраженного от нее волнового фронта выполняется по
специальной программе с помощью ПК.
Рисунок 1 – Внешний вид интерферометра GPI XP/D
Лист № 2
Всего листов 3
Программное обеспечение
Прибор оснащен программным обеспечением MetroPro версии v.8.2. Вычислительные
алгоритмы MetroPro расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут
быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют
удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометра GPI XP/D
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОMetroPro
Номер версии (идентификационный номер) ПО v.8.2 и выше
Цифровой идентификатор ПО
Код доступа
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или
изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является отсутствие возможности установки его на компьютер, к
которомунеподключенконтроллервидеоизмерительнойсистемы,чтопозволяет
предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспеченияприбора соответствует уровню «высокий» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
±0,03
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометра GPI XP/D
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкмот 0,06 до 2,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
отклонений от плоскостности, мкм
Диапазон измеряемых диаметров, ммот 50 до 150
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 3А
Длина волны лазера, не более, нм 633
Мощность, не более, мВт 5
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических
вибраций, не более, Гц30
Параметры электропитания
Напряжение, Вот 230 до 240 вкл.
Частота, Гц от 50 до 60 вкл.
Масса, не более, кг 41
Габаритные размеры, не более, мм
- длина992
- ширина308
- высота308
Условия эксплуатации:
Нормальная область значения температуры,
°
С
20±2
Относительная влажность воздуха, не более, %
95
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом, а также на
торец корпуса прибора методом наклейки.
Лист № 3
Всего листов 3
Комплектность средства измерений
Таблица 3 - Комплектность средств измерений
Наименование
Интерферометр GPI XP/D
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Кол-воПримечание
1 шт.
1 экз.
1 экз
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 63646-16 «Интерферометр GPI XP/D.
Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в мае 2015 г.
Основные средства поверки:
- мера отклонений от плоскостности
Æ
200 мм, (№ ГР 48279-11).
Знак поверки в виде оттиска клейма поверителя и голографической наклейки наносится
на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений
содержатся в документе «Интерферометр GPI XP/D. Руководство по эксплуатации».
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
интерферометру GPI XP/D
Техническая документация фирмы-производителя.
Изготовитель
Zygo Corporation, США
Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-1291, USA
Tel: 800-994-6669
Fax: 860-347-8372
E-mail:
Заявитель
Университет ИТМО
Адрес: 197101, г. Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д. 49
Тел./факс: 8(812)457-15-49
E-mail:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийский
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
