Приложение к свидетельству № 61716
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340
Назначение средства измерений
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340
(далее по тексту – микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа
отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их
цифрового анализа с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности
исследуемого объекта.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопов лазерных МИМ с длинноходовым предметным столом,
основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного
зеркала и поверхности измеряемого микрообъекта.
Основой микроскопов МИМ является микроинтерферометр, построенный по схеме
Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод
дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на
пьезоэлементе(пьезозеркала),встроенноговопорноеплечомикроинтерферометра.
Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с
помощью высокочувствительной видеокамеры и обрабатываются на ПЭВМ. В результате
обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные
о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля
поверхности, изменяющиеся во времени – динамические параметры, с частотой до 3 Гц в
диапазоне от 0,03 до 3 мкм в латеральной плоскости и от
l
/350 до
l
/4 по высоте. Результаты
измерений отображаются на экране компьютера в виде топографических изображений
(псевдоцветных карт), а также двумерных профилей с текстовой (цифровой) информацией о
структуре и статистических параметрах рельефа измеряемого микрообъекта
Рисунок 1 – Общий вид микроскопов лазерных МИМ с длинноходовыми предметными
столами модель МИМ-340 с обозначением мест пломбирования, нанесения маркировки и знака
поверки
Места нанесения
маркировки и знака
поверки
Место
пломбирования
Лист № 2
Всего листов 5
Программное обеспечение
Для управления микроскопами МИМ предназначена рабочая станция с двумя
мониторами и установленным программным обеспечением: MIMSoft-3 – для настройки и
управления работой оптической системы микроскопов МИМ, MIM Visualizer – для анализа и
обработки результатов исследования; MIM Stage – для управления длинноходовым предметным
столом.
Программа MIM Soft-3 предназначена для управления оптической системой
микроскопов МИМ. Она позволяет использовать любые аппаратные и программные настройки
узлов оптической системы микроскопов МИМ для работы в различных режимах, а также
получать и сохранять исследовательские данные и настройки всех узлов оптической системы
микроскопов в специальном формате .tlk. Позволяет оптимизировать процедуру получения
изображений исследуемого образца микроструктуры в режимах измерения микрорельефа,
белого света, отражения в лазерном свете при различных поляризациях.
Программа MIM Stage предназначена для управления длинноходовым предметным
столом микроскопов МИМ и позволяет получать, использовать и сохранять аппаратные и
программные настройки элементов длинноходового предметного стола для работы приборов в
различных режимах перемещения длинноходового предметного стола, а также обеспечивает
взаимосвязь растровых и интерференционных датчиков перемещений с контроллерами
управления координатными приводами длинноходового предметного стола по особому
алгоритму, обеспечивающему минимальную ошибку позиционирования при подходе к точке с
заданными координатами
Программа MIM Visualizer предназначена для визуализации и обработки результатов
исследования материаловедческой микроструктуры на микроскопах МИМ. Программа
предназначена для редактирования фазовых изображений, калибровки масштаба изображения,
формирования «масштабного отрезка», измерения длин отрезков и углов, медианной
фильтрации изображения; построения профиля сечения фазового изображения в произвольном
направлении, восстановления скачков фазы λ/2, анализа гистограммы распределения высот и
вычитания фона, пространственного Фурье-преобразования изображения и вычитания шумов,
вычитания поверхностей первого и второго порядка, поворота изображения на произвольный
угол; построения и отображения трехмерного вида объекта.
f32c1789d26e20b5e8421
45f806431de
5e873a48492
8e754bae02d
1a573cd504
MD5
MD5
MD5
Значение
MIM Visualizer
MIM Soft-3
MIM Stage
Таблица 1
Идентификационные данные
(признаки)
Идентификационное наименование
ПО
Номер версии (идентификационный
номер )ПО
1.0.0.1
1.0.0.1
1.0.0.1
Цифровой идентификатор ПО
(контрольная сумма исполняемого
кода)
c9d8af31e15
720c4f9c0a5
6ab2aa9c14
Алгоритм хэширования
Программное обеспечение размещается в энергонезависимой памяти персонального
компьютера.Несанкционированныйдоступкпрограммномуобеспечениюисключён
посредством ограничения прав учетной записи пользователя.
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Лист № 3
Всего листов 5
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 2.
230±5
245±5
70±5
Значение характеристики
0,405
0,0003 – 0,2
0,01 – 0,1
0,1 - 8
Таблица 2
Наименование характеристики
Длина волны излучения, мкм
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали,
мкм
Диапазон измерения линейных размеров по вертикали,
мкм
Диапазон измерения линейных размеров в латеральной
плоскости (для объектива 100х), мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерения линейных размеров, нм:
- по вертикали
- в латеральной плоскости (для объектива 100х)
Время измерения одного кадра, с
±10
±100
0,30 ± 3,00
´
10
-2
Длина хода предметного стола, мм:
- по координате Х
- по координате Y
- по координате Z
1,0
0,01
220±22
50±0,4
1,0
1100
´
860
´
1600
900
Скорость перемещения предметного стола, мм/с, не
менее
- по координатам Х и Y
- по координате Z
Электропитание осуществляется от сети переменного
тока с напряжением, В
частотой, Гц
Потребляемая мощность, кВт, не более
Габаритные размеры, мм, не более
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность воздуха, не более, %
- атмосферное давление, мм рт. ст.
20±3
80 (при 25°С)
630 - 800
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и накорпус
микроскопа методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
Таблица 3
Наименование и обозначениеКоличество, шт.
Микроскоп лазерный МИМ с длинноходовым предметным столом 1
Станция рабочая iMac с монитором Apple Thunderbolt Display 1
Компакт-диск с руководством по эксплуатации 4001.00000000 РЭ1
Лист № 4
Всего листов 5
Поверка
осуществляется по документу МП057.М44-15 «ГСИ. Микроскопы лазерные МИМ с
длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Методика поверки», утвержденному
ФГУП «ВНИИОФИ» 15 апреля 2015 г.
Основные средства поверки:
1Эталон - мера периода и высоты линейная TGZ2 (ГР СИ № 41678-09) с
аттестованным значением абсолютной погрешности определения высоты выступов не более
± 0,005 мкм.
2Мера периода линейная TDG01 (ГР СИ № 41676-09), пределы абсолютной
погрешности определения высоты выступов не более ± 0,001 мкм.
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами модель
МИМ-340. Руководство по эксплуатации 4001.00000000 РЭ», раздел 8
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
лазерным МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340
ТУ 4431-131-07539541-2012 «Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми
предметными столами МИМ-340. Технические условия»
Продолжение таблицы 3
Наименование и обозначение
Паспорт 4001.00000000 ПС
Упаковка 4001.02000000– ящики для транспортировки
Компрессор винтовой АВАС GENESIS 5,5-13/270
2)
Кабель сетевой Hyperline PWC-IEC13-SHM-3.0-BK
Кабель USB 2.0 А/В (L=3 м)
Рым-болт М12.019 ГОСТ 4751
Количество, шт.
1
1
1)
1
1
1
4
Переходник 578342 NPQH-D-G14-Q8-P10, Festo
2)
1
Ниппель переходной D c уплотнителем 534145 D-1/4I-3/4A, Festo
2)
1
Пневмошланг полимерный 159666 PUN-8x1,25-BL, Festo1
Кран шаровой Base VT.217.N.05, Valtec (для подключения1
пневмошланга к компрессору)
Провод РПШ 4х1,5 (380) ТУ 16.К18-0011
Призма 4001.000001011
Стекло предметное 4001.00000102 100
Микрообъектив MPLFLN 100х/0,9, OLYMPUS 1
2)
Микрообъектив MPLFLN 2,5х/0,08, OLYMPUS 1
2)
Микрообъектив MPLFLN 5х/0,15, OLYMPUS 1
2)
Микрообъектив MPLFLN 10х/0,3, OLYMPUS 1
2)
CD-диск с программным обеспечением1
Методика поверки1
1) Упаковка возвратная
2) По заказу потребителя
Лист № 5
Всего листов 5
Изготовитель
Акционерноеобщество«Производственноеобъединение«Уральскийоптико-
механический завод» имени Э.С. Яламова» (АО «ПО «УОМЗ»)
ИНН 6672315362
620100, г. Екатеринбург, ул. Восточная, 33б
Тел.: +7(343) 229-81-09; Факс: +7(343) 254-81-09
E-mail:
Web:
научно-
средств
Испытательный центр
Федерального Государственного Унитарного Предприятия «Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » ________________ 2016 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
